硝酸吹白装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硝酸生产领域，尤其是一种硝酸吹白装置。
【背景技术】
[0002]近几年，随着电子产业飞速发展，芯片制造行业也在突飞猛进的发展，芯片的氧化膜越来越薄。制造芯片时，需要用硝酸对其进行清洗和腐蚀，硝酸纯度的高低对芯片的成品率起着关键性的作用。即，硝酸纯度越高，芯片的成品率越高。因此，人们非常渴望得到高纯度的硝酸。
[0003]在工业上有时候需要比较纯净的硝酸，尤其二氧化氮要少，否则副反应和副产物都会增加。在硝酸工业中，原则上会经过漂白处理，即用洁净空气吹除其中含有的二氧化氮，得到无色透明或略带黄色的液体；对硝酸浓度要求较高时还得减压蒸馏，并弃去黄色馏分。如果不经漂白工艺，则会得到工业发烟硝酸，而实际应用中，这种发烟硝酸极少销售和使用。传统的硝酸吹白工艺较为老旧，效率不高，而且存在设备简陋，操作不方便，存在安全隐患等问题。
【发明内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种结构简单，操作方便，吹白效率高，工作环境安全可靠的硝酸吹白装置。
[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硝酸吹白装置，包括密封设置的反应釜，所述反应釜上部开设有硝酸进口、真空口和纯水进口，硝酸进口、真空口和纯水进口处分别设有控制阀，所述硝酸吹白装置还包括:
[0006]吹气管，插设于反应釜顶部、且吹气管周壁与反应釜密封配合，该吹气管包括有位于反应釜外的吹气进口、及位于反应釜内的吹气出口，其中吹气出口延伸至反应釜底部；
[0007]洗气瓶，该洗气瓶瓶口处插设有进气管和出气管，其中出气管和吹气管的吹气进口通过管路相连通；
[0008]真空栗，该真空栗进气口与真空口通过管路相连通。
[0009]本实用新型的有益效果是:通过硝酸进口将发烟硝酸送入反应釜内，关闭硝酸进口处的控制阀，然后通过纯水进口将纯水加入到反应釜内稀释发烟硝酸，关闭纯水进口的控制阀，打开真空栗使反应釜内形成真空；通过洗气瓶进气管，反应釜内吸入空气，洗气瓶内填充有纯水，对吸入空气中的杂质进行过滤；通过吹气管，洗气后的空气混入稀释后的硝酸内，并带走二氧化氮气体。本实用新型结构简单，操作方便，吹白效率高，吹白过程都在密封的反应釜内进行，工作环境安全可靠。
[0010]为了让洗气后的空气更加充分地混入稀释后的硝酸内，则吹气管的吹气出口处安装有喷头，该喷头上开设有若干喷孔。
[0011 ] 在吹白过程中，反应爸内将产生大量热量，则反应爸内还安装有冷却管，该冷却管的两端部分别贯穿反应釜侧壁、且延伸至反应釜外，冷却管一端进冷却水，另一端出冷却水，从而对反应釜内部进行降温冷却。
[0012]为了提高冷却效率，反应釜内的冷却管呈螺旋结构设置。
[0013]为了方便反应釜内吹白后的硝酸放料，反应釜底部开设有放料口，该放料口处安装有控制阀。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型实施例的结构示意图，省略了真空栗。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作进一步描述:
[0016]如图1所示，本实施例包括密封设置的反应釜1、洗气瓶2和真空栗(未画出)，反应釜1上部开设有硝酸进口 11、真空口 12和纯水进口 13，反应釜1底部开设有放料口 14，硝酸进口 11、真空口 12、纯水进口 13和放料口 14处分别设有用于控制各口开闭的控制阀。在反应釜1顶部插设有吹气管3，该吹气管3周壁与反应釜1密封配合，吹气管3包括有位于反应釜1外的吹气进口 31、及位于反应釜1内的吹气出口 32，其中吹气出口 32延伸至反应釜1底部。洗气瓶2瓶口处插设有进气管21和出气管22，其中出气管22和吹气管3的吹气进口 31间通过管路相连通；真空栗进气口与真空口 12通过管路相连通。其中，洗气瓶2为现有常规技术，在此不做赘述。为了让洗气后的空气更加充分地混入稀释后的硝酸内，则吹气管3的吹气出口 32处安装有喷头33，该喷头33上开设有若干喷孔。在吹白过程中，反应釜1内将产生大量热量，则反应釜1内还安装有冷却管4，该冷却管4的两端部分别贯穿反应爸1侧壁、且延伸至反应爸1外，冷却管4在反应爸1内的部分呈螺旋结构设置，冷却管4 一端进冷却水，另一端出冷却水，从而对反应釜1内部进行降温冷却。
[0017]本实用新型中，通过硝酸进口 11将发烟硝酸送入反应釜1内，关闭硝酸进口处的控制阀，然后通过纯水进口 13将纯水加入到反应釜1内稀释发烟硝酸，关闭纯水进口 13的控制阀，打开真空栗使反应釜内形成真空；通过洗气瓶2进气管21吸入空气，空气经洗气瓶2从出气管22出来，经由吹气管3进入反应釜1，洗气瓶2内填充有纯水，对吸入空气中的杂质进行过滤；通过吹气管3，洗气后的空气混入稀释后的硝酸内，并带走二氧化氮气体。本实用新型结构简单，操作方便，吹白效率高，吹白过程都在密封的反应釜内进行，工作环境安全可靠。
【主权项】
1.一种硝酸吹白装置，包括密封设置的反应釜，其特征是，所述反应釜上部开设有硝酸进口、真空口和纯水进口，硝酸进口、真空口和纯水进口处分别设有控制阀，所述硝酸吹白装置还包括: 吹气管，插设于反应釜顶部、且吹气管周壁与反应釜密封配合，该吹气管包括有位于反应釜外的吹气进口、及位于反应釜内的吹气出口，其中吹气出口延伸至反应釜底部； 洗气瓶，该洗气瓶瓶口处插设有进气管和出气管，其中出气管和吹气管的吹气进口通过管路相连通； 真空栗，该真空栗进气口与真空口通过管路相连通。2.根据权利要求1所述的硝酸吹白装置，其特征是:所述吹气管的吹气出口处安装有喷头，该喷头上开设有若干喷孔。3.根据权利要求1所述的硝酸吹白装置，其特征是:所述反应釜内还安装有冷却管，该冷却管的两端部分别贯穿反应釜侧壁、且延伸至反应釜外。4.根据权利要求3所述的硝酸吹白装置，其特征是:所述反应釜内的冷却管呈螺旋结构设置。
【专利摘要】本实用新型公开了一种硝酸吹白装置，包括密封设置的反应釜，所述反应釜上部开设有硝酸进口、真空口和纯水进口，硝酸进口、真空口和纯水进口处分别设有控制阀，所述硝酸吹白装置还包括：吹气管，插设于反应釜顶部、且吹气管周壁与反应釜密封配合，该吹气管包括有位于反应釜外的吹气进口、及位于反应釜内的吹气出口，其中吹气出口延伸至反应釜底部；洗气瓶，该洗气瓶瓶口处插设有进气管和出气管，其中出气管和吹气管的吹气进口通过管路相连通；真空泵，该真空泵进气口与真空口通过管路相连通。本实用新型结构简单，操作方便，吹白效率高，吹白过程都在密封的反应釜内进行，工作环境安全可靠。
【IPC分类】C01B21/46
【公开号】CN204958400
【申请号】CN201520602263
【发明人】阮岳峰
【申请人】浙江尚能电子材料有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年8月11日