专利名称：超净高纯级甲苯提取装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种超净高纯级甲苯提取装置，属于微电子化学品生产设备技术 领域。
背景技术：
甲苯在微电子领域，作为清洗去油剂使用。甲苯为无色透明可燃液体，工业甲苯由 煤焦油分流或石油的芳烃化制得，其中含有苯、二甲苯、甲基噻吩等杂质，用于微电子领域 时，必须将工业级甲苯中的上述杂质去除。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能去除甲苯中杂质，满足微电子 领域使用要求的超净高纯级甲苯提取装置。本实用新型的目的是这样实现的一种超净高纯级甲苯提取装置，其特征在于 它包括原料罐、浓硫酸罐、碱液罐、反应罐、废酸罐、废碱罐、干燥器、精馏塔、冷凝器、过滤器 和成品罐；所述原料罐、浓硫酸罐和碱液罐出口分别与所述反应罐进口相连接，所述反应罐 出口分别与废酸罐、废碱罐和干燥器进口相连接，所述干燥器出口与精馏塔进口相连接，所 述精馏塔顶端出口与冷凝器进口相连接，所述冷凝器出口与过滤器进口相连接，所述过滤 器出口与成品罐相连接。本实用新型的有益效果是本实用新型超净高纯级甲苯提取装置，在反应罐中经过浓硫酸洗、碱洗后再干燥、 蒸馏，有效去除苯、二甲苯、甲基噻吩等杂质，制备的超净高纯级甲苯可满足微电子领域使 用要求。
图1为本实用新型超净高纯级甲苯提取装置的结构示意图。其中原料罐1、浓硫酸罐2、碱液罐3、反应罐4、废酸罐5、废碱罐6、干燥器7、精馏塔8、 冷凝器9、过滤器10、成品罐11。
具体实施方式
参见图1，本实用新型涉及的一种超净高纯级甲苯提取装置，主要由原料罐1、浓 硫酸罐2、碱液罐3、反应罐4、废酸罐5、废碱罐6、干燥器7、精馏塔8、冷凝器9、过滤器10 和成品罐11组成；所述原料罐1、浓硫酸罐2和碱液罐3出口分别与所述反应罐4进口相连接，所述 反应罐4出口分别与废酸罐5、废碱罐6和干燥器7进口相连接，所述干燥器7出口与精馏塔8进口相连接，所述精馏塔8顶端出口与冷凝器9进口相连接，所述冷凝器9出口与过滤 器10进口相连接，所述过滤器10出口与成品罐11相连接。所述冷凝器9出口与精馏塔8直接设置有回流管路。工作时，先将浓硫酸与原料甲苯混合搅拌，使其在反应罐中充分反应，然后将反应 后的算放入废酸罐，重复反应多次，然后在反应罐中加入碱液洗涤，分离出废碱，再经过干 燥、蒸馏、过滤后得到超净高纯级甲苯，纯度可达99. 5%以上。
权利要求一种超净高纯级甲苯提取装置，其特征在于它包括原料罐(1)、浓硫酸罐(2)、碱液罐(3)、反应罐(4)、废酸罐(5)、废碱罐(6)、干燥器(7)、精馏塔(8)、冷凝器(9)、过滤器(10)和成品罐(11)；所述原料罐(1)、浓硫酸罐(2)和碱液罐(3)出口分别与所述反应罐(4)进口相连接，所述反应罐(4)出口分别与废酸罐(5)、废碱罐(6)和干燥器(7)进口相连接，所述干燥器(7)出口与精馏塔(8)进口相连接，所述精馏塔(8)顶端出口与冷凝器(9)进口相连接，所述冷凝器(9)出口与过滤器(10)进口相连接，所述过滤器(10)出口与成品罐(11)相连接。
专利摘要本实用新型涉及一种超净高纯级甲苯提取装置，其特征在于它包括原料罐(1)、浓硫酸罐(2)、碱液罐(3)、反应罐(4)、废酸罐(5)、废碱罐(6)、干燥器(7)、精馏塔(8)、冷凝器(9)、过滤器(10)和成品罐(11)；原料罐(1)、浓硫酸罐(2)和碱液罐(3)出口分别与反应罐(4)进口相连接，反应罐(4)出口分别与废酸罐(5)、废碱罐(6)和干燥器(7)进口相连接，干燥器(7)出口与精馏塔(8)进口相连接，精馏塔(8)顶端出口与冷凝器(9)进口相连接，冷凝器(9)出口与过滤器(10)进口相连接，过滤器(10)出口与成品罐(11)相连接。本实用新型有效去除苯、二甲苯、甲基噻吩等杂质，制备的超净高纯级甲苯可满足微电子领域使用要求。
文档编号C07C7/00GK201770627SQ20102028158
公开日2011年3月23日 申请日期2010年8月2日 优先权日2010年8月2日
发明者戈士勇 申请人:江阴市润玛电子材料有限公司