一种湿敏电容及其制备方法与流程

文档序号:11410226阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种湿敏电容及其制备方法,所述湿敏电容由基片、下电极、感湿聚酰亚胺涂层和上电极组成;其中,感湿聚酰亚胺由有机硅二胺、芳香族二胺与芳香族二酐反应而成。制备方法包括:用清洗液清洗基片后,放入干燥箱中烘干,干燥,随后真空蒸镀制作下电极,JP‑6导电胶引下电极引线,再旋涂感湿聚酰亚胺前驱体溶液,亚胺化,真空蒸镀制作上电极,切片,去离子水冲洗,干燥,筛选,表面修饰,JP‑6导电胶引上电极引线,制得湿敏电容。本发明具有灵敏度高、湿滞小、制造工艺简单、成本低等优点,具有良好的市场化前景。

技术研发人员:吉淳;张平;钱锠铖
受保护的技术使用者:上海长望气象科技股份有限公司
文档号码:201510405840
技术研发日:2015.07.10
技术公布日:2017.09.26

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