技术特征：
1.一种抗反射涂料组合物，其特征在于，所述涂料组合物包含固含组分和溶剂b；其中，所述固含组分包括消光树脂a，所述消光树脂a的重均分子量不超过20000。2.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述消光树脂a由基体树脂和发色化合物制备得到。3.根据权利要求2所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述基体树脂选自丙烯酸树脂、酚醛树脂、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酯、聚芴、聚芴衍生物、聚硅氧烷、聚硅烷、聚碳硅烷中的至少一种。4.根据权利要求3所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述基体树脂选自丙烯酸树脂。5.根据权利要求4所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为至少一种丙烯酸酯单体聚合制备。6.根据权利要求4所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为同一种丙烯酸酯单体的聚合物。7.根据权利要求4所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为不同种丙烯酸酯单体的聚合物。8.根据权利要求7所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为含环氧基或羟基的丙烯酸酯单体a1中的至少一种与含羟基的丙烯酸酯单体a2中的至少一种的聚合物，其中，所述a1和a2各不相同。9.根据权利要求7所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述丙烯酸树脂为含环氧基或羟基的丙烯酸酯单体a1中的至少一种与不含羟基或环氧基的丙烯酸酯单体a3中的至少一种的聚合物。10.根据权利要求8所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述a1和所述a2摩尔比为1：(0.1～5)。11.根据权利要求9所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述a1和所述a3摩尔比为1：(0.1～5)。12.根据权利要求8或9所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述a1与发色化合物的摩尔比为1：(0.8～1)。13.根据权利要求2所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述发色化合物选自萘或其衍生物、蒽或其衍生物、香豆素或其衍生物、荧光素或其衍生物、罗丹明、曙红、苝或其衍生物、芴或其衍生物、茋或其衍生物、菲或其衍生物中的至少一种。14.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述固含组分还包含催化剂c，其中，所述催化剂c为有机酸盐。15.根据权利要求14所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述催化剂c占固含组分的重量百分比为1～20wt％。16.根据权利要求14所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述有机酸盐选自对甲苯磺酸盐、十二烷基苯磺酸盐、草酸盐、邻苯二甲酸盐、萘磺酸盐中的一种或多种。17.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述固含组分还包含交联剂d，其中，所述交联剂d选自甘脲
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醛树脂、三聚氰胺
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醛树脂、苯代三聚氰胺
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醛树脂、脲醛树脂中的一种或多种。
18.根据权利要求17所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述交联剂d占固含组分的重量百分比为3～40wt％。19.根据权利要求18所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述交联剂d选自三聚氰胺
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醛树脂、苯代三聚氰胺
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醛树脂中的至少一种和甘脲
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醛树脂、脲醛树脂中的至少一种组成的组。20.根据权利要求19所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述交联剂d中甘脲
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醛树脂、脲醛树脂中的至少一种和三聚氰胺
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醛树脂、苯代三聚氰胺
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醛树脂中的至少一种的重量比为(1～9)：1。21.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述涂料组合物包含1
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20wt％固含组分和80
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99wt％溶剂b。22.根据权利要求1所述的抗反射涂料组合物，其特征在于，所述消光树脂a占固含组分的重量百分比为50～95wt％。23.一种根据权利要求1～22任意一项所述的抗反射涂料组合物在光刻工艺中的应用。