一种低污染环保型化学机械抛光液的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及抛光液技术领域，尤其涉及一种低污染环保型化学机械抛光液。
【背景技术】
[0002]半导体加工过程中，最初的半导体基片(衬底片)抛光沿用机械抛光、例如氧化镁、氧化锆抛光等，但是得到的晶片表面损伤是及其严重的。而单纯的化学抛光，抛光速率较快，表面光洁度高，损伤低，完美性好，但表面平整度和平行度差，抛光后表面一致性差;单纯的机械抛光表面一致性好，表面平整度高，但表面光洁度差，损伤层深。
【发明内容】
[0003]为解决上述存在的问题，本发明提供一种低污染环保型化学机械抛光液。
[0004]本发明解决上述技术问题采用的技术方案为:一种低污染环保型化学机械抛光液，由以下质量份数的原料制成:
四硼酸钠11-15份，异丙醇3-6份，氮化硼6-7份，苯甲酸钠5-7份，氧化铈12-18份，氢氧化铝1-4份，硬脂酰胺6-9份，磷酸二铵5-7份，三聚磷酸钠3-4份，液态石蜡9-12份，乙二胺四乙酸6-8份，草酸钠4-6份。
[0005]上述的低污染环保型化学机械抛光液，由以下质量份数的原料制成:
四硼酸钠13份，异丙醇5份，氮化硼6.4份，苯甲酸钠6份，氧化铈15份，氢氧化铝2份，硬脂酰胺8份，磷酸二铵6份，三聚磷酸钠3.5份，液态石蜡11份，乙二胺四乙酸7份，草酸钠5份。
[0006]本发明解决技术问题所带来的有益效果在于:本发明可以获得较为完美的表面，又可以得到较高的抛光速率，得到的平整度比其他方法高两个数量级，污染性小，环保性强。
【具体实施方式】
[0007]下面结合具体实施例对本发明做进一步详细说明。
[0008]实施例1
一种低污染环保型化学机械抛光液，由以下质量份数的原料制成:
四硼酸钠11份，异丙醇3份，氮化硼6份，苯甲酸钠5份，氧化铈12份，氢氧化铝I份，硬脂酰胺6份，磷酸二铵5份，三聚磷酸钠3份，液态石蜡9份，乙二胺四乙酸6份，草酸钠4份。
[0009]实施例2
一种低污染环保型化学机械抛光液，由以下质量份数的原料制成:
四硼酸钠13份，异丙醇5份，氮化硼6.4份，苯甲酸钠6份，氧化铈15份，氢氧化铝2份，硬脂酰胺8份，磷酸二铵6份，三聚磷酸钠3.5份，液态石蜡11份，乙二胺四乙酸7份，草酸钠5份。
[0010]实施例3
一种低污染环保型化学机械抛光液，由以下质量份数的原料制成:
四硼酸钠15份，异丙醇6份，氮化硼7份，苯甲酸钠7份，氧化铈18份，氢氧化铝4份，硬脂酰胺9份，磷酸二铵7份，三聚磷酸钠4份，液态石蜡12份，乙二胺四乙酸8份，草酸钠6份。
[0011]上述虽然对本发明的【具体实施方式】进行了描述，但并非对本发明保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本发明的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本发明的保护范围以内。
【主权项】
1.一种低污染环保型化学机械抛光液，其特征在于:由以下质量份数的原料制成: 四硼酸钠11-15份，异丙醇3-6份，氮化硼6-7份，苯甲酸钠5-7份，氧化铈12-18份，氢氧化铝1-4份，硬脂酰胺6-9份，磷酸二铵5-7份，三聚磷酸钠3-4份，液态石蜡9-12份，乙二胺四乙酸6-8份，草酸钠4-6份。2.根据权利要求1所述的低污染环保型化学机械抛光液，其特征在于:由以下质量份数的原料制成: 四硼酸钠13份，异丙醇5份，氮化硼6.4份，苯甲酸钠6份，氧化铈15份，氢氧化铝2份，硬脂酰胺8份，磷酸二铵6份，三聚磷酸钠3.5份，液态石蜡11份，乙二胺四乙酸7份，草酸钠5份。
【专利摘要】本发明公开了一种低污染环保型化学机械抛光液，由以下质量份数的原料制成：四硼酸钠11-15份，异丙醇3-6份，氮化硼6-7份，苯甲酸钠5-7份，氧化铈12-18份，氢氧化铝1-4份，硬脂酰胺6-9份，磷酸二铵5-7份，三聚磷酸钠3-4份，液态石蜡9-12份，乙二胺四乙酸6-8份，草酸钠4-6份。本发明可以获得较为完美的表面，又可以得到较高的抛光速率，得到的平整度比其他方法高两个数量级，污染性小，环保性强。
【IPC分类】C09G1/02
【公开号】CN105505228
【申请号】CN201510912925
【发明人】李盛明
【申请人】青岛宏宇环保空调设备有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年12月11日