悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置的制作方法

专利名称：悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种搬出用物品与搬入用物品的交接方法以及用于实 施该方法的装置，该搬出用物品装载于设置在沿悬挂式升降搬运台车(以下称之为"OHT (Overhead Hoist Transport)的工序内以及工序间 环状轨道的规定处，对插拔自如地收纳于物品(FOUP (Front—Opening Unified Pod)等)内的衬底(晶片、液晶板等)进行各种处理(清洗、 CVD (Chemical Vapor Deposition)除外)的工作台(以下称之为"处 理工作台")的物品搬入/搬出小舟上，该搬入用物品位于该搬出用物品 的上方，并为向由OHT台车夹持的上述处理工作台搬运的物品。而且， 本发明尤其适合于收纳箱FOUP(Front—Opening Unified Pod)的搬运。
背景技术：
近年来，多数采用沿洁净室中的工序内以及工序间环状轨道配置， 在对晶片施行各种表面处理(形成薄膜、光刻、清洗、蚀刻、检测等) 的一连串处理工作台施行必要处理用的OHT台车，并用OHT台车搬运 收纳有上述晶片的FOUP。衬底的处理工序采用在收纳衬底的FOUP上安装的标签予以管理， 标签的内容也随着衬底处理工序的进展逐步更新。衬底处理工序由附着 于FOUP的标签信息特定，以后的必要处理根据该标签信息由计算机管 理。此时，各处理工作台根据处理种类的不同而使所需处理的时间有所 不同，因此需要调整工序时间，并设置用于使FOUP暂时待机的堆垛器。该堆垛器配备多个FOUP装载用架；和向规定的架搬入FOUP 或者从规定的架搬出FOUP的堆垛起重机。另外，上述堆垛器以及施行各种处理的处理工作台沿OHT台车的环状轨道配置。并且，该环状轨道根据半导体制造设备的规模而设置多个。各环状 轨道由工序内环状轨道与联系工序间环状轨道而构成。在这些轨道上，OHT台车受到稳定的行驶控制，经常沿固定方向行驶，搬运收纳了晶片 等基板的FOUP搬运至规定的堆垛器或者处理工作台。而且，使用OHT台车作为洁净室内的FOUP搬运装置的原因在于 能够确保增加把沿该OHT台车行驶路线配置的担任各种处理的多个处 理工作台、或者FOUP的暂时待机用堆垛器等各设备配置于地面上的设 计自由度，以及安全方面的问题。可是，OHT台车一边夹持FOUP —边在上述工序内环状轨道或者 工序间环状轨道上行驶，为了对插拔自如地收纳在该FOUP上的多枚(例 如，25枚)晶片等衬底按照工艺步骤的必要处理(形成薄膜、光刻、清 洗、蚀刻、检测等)，使OHT台车在与规定的工作台的FOUP用搬入/ 搬出小舟对向的位置停止。接着，下降夹持着的FOUP，将其装载在上述规定工作台的搬入/ 搬出小舟上。在该处理工作台的搬入/搬运小舟上所装载的FOUP收纳的衬底， 借助于工作台处装备的机械手，每次一枚引入工作台内部，接受规定的 处理。处理该基板所需的时间因处理的种类而各不相同，但需要相应的时间，因此搬完了 FOUP的OHT台车在装载FOUP后，根据搬运系统控 制器指示执行其它搬运指令，从而防止系统整体运转效率的降低。但是，处理工作台的处理结束以后，FOUP的操作如以下(1) (5)的顺序。(1) 处理工作台在搬运系统控制器处理完成后对FOUP发出退 回要求。(2) 系统控制器向该处理工作台附近待机的空OHT台车发出 退回指令。(3) 接到了退回指令的OHT台车到达该处理工作台后，夹持装 了搬入/搬出小舟的FOUP，将其搬运至系统控制器所指示的搬运目标 地。(4) 系统控制器确认来自该处理工作台完成处理的FOUP退回 以后，向将在堆垛器等中保管的新FOUP搬运至该处理工作台的轨道上 待机的其它空OHT台车发出指令。(5) 接收到搬运指令的OHT台车把堆垛器等中保管的新FOUP 搬运至该处理工作台。因而，从处理工作台退回处理完了的FOUP的OHT台车与供给新 FOUP的OHT台车要有所区别。另一方面，如果用一台OHT台车就能够实行由该处理工作台处理 完了的FOUP的退回与供给的话，则可以期待实现退回与供给操作的简 化以及搬运时间的縮短。但是，如果按现有技术实施上述方案的话，则在搬运堆垛器等中保管的新FOUP的OHT台车，要将FOUP下降装载于处理工作台的搬入/ 搬出小舟时，就会在该小舟上发生与尚未退回的处理完了的FOUP相碰 撞的事故。因此，为规定处理工作台的FOUP搬入/搬出小舟上所装载并收纳 了在该处理工作台的处理结束后的衬底的FOUP与由OHT台车所夹持 并收纳了将要在该处理工作台进行处理的衬底的FOUP的交换，难以用 一台OHT台车来实现。可是，作为用一台OHT台车施行这样的FOUP交换的技术，已有 下述专利文献1。该专利文献1公开了一种将在规定的处理工作台FOUP搬入/搬出 小舟上所装载的、内部保有各衬底的该处理工作台的处理完成的FOUP 和收纳有在该规定的处理工作台将要接受上述处理的衬底的FOUP进行 交换的技术。具体而言，举出五个例子，设定具有一对FOUP夹持用钩爪机构的 OHT台车为主体的实施方式。以下，说明这些实施方式的概要。实施方式1:如专利文献1的图3所示，OHT台车1沿其行驶方向配备一对FOUP 夹持用的钩爪机构18a、 18b。而且，以可分别一个个夹持、打开控制的 方式构成两个卡头(FOUP) 20a、 20b。并且，处理设备2具有卡头搬入/搬出用小舟8。在该卡头搬入/搬 出用小舟8上，配备有在OHT台车1的行驶方向可进退能移动的，并 能将卡头内的衬底定位于每次一枚施行规定处理的装运小舟21的承受 工作台46。借助上述结构，首先，在通过钩爪机构18b夹持收纳有用图3的处理装置2对衬底进行预定处理的卡头20b的状态下，OHT搬运台车1 从沿OHT台车1的行驶路线设置的堆垛器或者其它处理装置，到达卡 头搬入/搬出用小舟8的上方位置。接着，伴随升降皮带16的放出，夹片机构17下降，收纳处理装置 2处理完了的衬底，并通过钩爪机构18a夹持在承受工作台45上装载的 卡头20a。在这种情况下，稍微上升夹片机构17，使承受工作台46与卡头20a 之间形成空隙，向上述卡头20b的下方部移动承受工作台45，下降夹片 机构，把卡头20b装载于承受工作台45上，从而解除由钩爪机构18b 实现的卡头20b的夹持状态。以上作动中，能够在承受工作台46上，交换收纳有用处理装置2 完成处理的衬底的卡头20a与收纳有用处理装置2进行预定处理的衬底 卡头20b。实施方式2:省略实施方式1中图3所示的承受工作台46，实现专利文献1图6 所示的结构简单化。通常，OHT台车反方向行驶会显著增大台车碰撞的危险性且降低 搬运效率，作为常识这是被禁止的。在该实施方式2中，需要用专利文 献1图5中位于"B"的钩爪机构夹持收纳有预定处理的衬底的卡头20b， 并在不同的处理设备2中，卡头夹持与装载的交换操作每一次均追加返 回堆垛器等工序，导致难以连续性地实施。实施方式3:如专利文献1的图7所示，在实施方式l的结构中，位于"A"、"B"的钩爪机构18a、 18b分别可以由独立的升降皮带15a、 16b独立 升降控制地构成。借助如上所述的结构，提高设备的自由度，多个装载装置不会影响 到其它的装载装置，从而能够自如地运行，其结果是，容易定位、OHT 台车的搬运效率得以提高。实施方式4:如专利文献1的图8所示，基本结构与上述实施方式2相同，且与 上述实施方式2同样，位于"A" 、 "B"的钩爪机构18a、 18b可以分 别由独立的升降皮带16a、 16b构成独立升降控制。实施方式5:借助专利文献1图10所示的结构，在OHT台车1容纳卡头18的 状态下，还构成能将卡头的位置从"A"位移动到"B"位的结构。通过该附加结构，在上述实施方式2、 4所示的结构中(没有实施 方式1、 3所示的沿OHT搬运台车1的行驶方向及其相反方向自如移动 的承受工作台的结构)，即使暂时返回堆垛器，但在连续不同的处理装 置2中，也可以实现收纳有完成处理的衬底的卡头20a与收纳有预定处 理的衬底的卡头20b的交换。日本专利文献l:特开2005—22539发明内容如上所述，沿工序内轨道配置，对FOUP内的衬底施行除清洗、 CVD外多种类之中特定处理的各处理工作台，都具有FOUP用搬入/搬 出小舟。用OHT台车给该FOUP用搬入/搬出小舟搬入收纳有相应处理工作 台预定处理衬底的FOUP。接着，对收纳于FOUP内的衬底每次一枚施行规定处理，如果全部 衬底完成规定处理、返回FOUP内的话，则为了堆垛或者其后的处理， 用OHT台车将该FOUP搬运至其它规定的处理工作台。但是，处理工作台的FOUP用搬入/搬出小舟上，由OHT台车实现 的FOUP搬入/搬出操作中，夹持收纳有该处理工作台正要接受处理的衬 底的FOUP的OHT台车，是难以直接交换该夹持的FOUP与装载于该 处理工作台收纳有处理完了的衬底的FOUP。因此， 一个处理工作台的FOUP用搬入/搬出小舟中，分别需要用 另一台OHT台车进行搬出收纳处理完了衬底的FOUP和搬入收纳有未 处理衬底的FOUP。因而，在一个处理工作台的全部衬底完成规定处理后，收纳这些衬 底并装到处理工作台的FOUP用搬入/搬出小舟上的FOUP，通过在工序 间环状轨道行驶中没有夹持FOUP的空HOT台车搬出。然后，收纳有在该处理工作台预定处理的衬底的FOUP，通过在工 序内环状轨道行驶中的其它OHT台车，搬入该处理工作台的FOUP用 搬入/搬出小舟。其结果，导致在处理工作台的FOUP用搬入/搬出小舟的FOUP搬 入、搬出时损失了相当的时间，存在降低FOUP收纳衬底的处理效率的 可能性。上述专利文献1具有以解决上述问题为主要目标的技术。该专利文献1上所公开的技术，其特征在于能够同时进行搬出和搬 入，搬出装载在规定处理工作台的FOUP用搬入/搬出小舟上，而其内部收纳的全部衬底且用该处理工作台处理完了的衬底的FOUP，搬入收纳 了在该工作台正要接受处理的衬底的FOUP至上述FOUP用搬入/搬出 小舟上。为了实现上述技术方案，OHT台车如专利文献的图3、图6、图7、 图8所示，沿OHT台车的运行方向，使用具有两个FOUP夹持用的夹 片器装置的特殊规格的OHT台车。进而， 一旦不返回堆垛器而连续地向接受不同处理的处理工作台转 移，如专利文献1的图3、图7所示，因此需要在OHT台车1的行驶方 向上设置移动自如的承受工作台45，或者如图10所示，需要在被OHT 搬运台车夹持的状态下，使夹持状态的FOUP移动的结构。如上所述，专利文献l上公开的技术，能够利用唯一一台OHT台 车进行装载在规定处理工作台的FOUP用搬入/搬出小舟上，收纳有规定 处理完成的衬底的FOUP和收纳有正要接受规定处理的衬底的FOUP的 交换操作。但是因此，不能使用如上所述的通用性较高的OHT搬运台车，造 成OHT搬运台车的成本增加，同时需要附加移动FOUP的极其复杂的 机构。因此，本发明的目的在于，提供一种使用一台通用的OHT台车来 承担一个FOUP的升降/搬运，可交换收纳有在处理工作台处理完成的衬 底的FOUP和收纳有在该处理工作台正要接受处理的衬底的FOUP的授 受方法以及用于施行该方法的装置，该收纳有处理完成的衬底的FOUP 装载在沿工序内环状轨道配置、对收纳于FOUP内的衬底施行必要处理 的处理工作台的FOUP用搬入/搬出小舟上，该收纳有正要接受处理的衬底的FOUP被该OHT台车所夹持。为了解决上述问题，根据本发明的第一方面，提供一种悬挂式升降 搬运(OHT)台车上的物品交接方法，其中，该交接方法具有以下工序:使用上述夹持部夹持向规定工作台的搬入用物品并使之下降，装载 于第一、第二部件沿上下方向排列的悬挂式暂时保管架的第一部件的工 序；使用上述夹持部夹持在上述规定工作台的物品搬入/搬出小舟上装 载的搬出用物品并使之上升，装载于上述悬挂式暂时保管架的第二部件 的工序；使用上述夹持部夹持在上述悬挂式暂时保管架的第一部件上装载 的搬入用物品并使之下降，装载于上述物品搬入/搬出小舟的工序；以及使用上述夹持部夹持在上述悬挂式暂时保管架的第二部件上装载 的搬出用物品并使之上升的工序。根据本发明的第一方面，通过仅升降控制只有一台上述OHT台车 就能够兼顾由沿工序内环状轨道在规定方向上受行驶控制的OHT台车 夹持并装载在规定处理工作台正要接受处理的物品与在上述规定处理 工作台的物品搬出/搬入小舟上装载并在规定处理工作台处理完了的物 品的交换以及悬挂式暂时保管架的功能。因而，能够共同使用向规定处理工作台的物品搬入/搬出小舟的物 品搬入用OHT台车与从该物品搬入/搬出小舟的物品搬出用OHT台车。 而且，OHT台车也可以是使用一台夹持、升降、搬运一个物品的通用结 构。进而，不需要制造特殊规格的OHT台车。所以，能够有效施行向 处理工作台的物品搬入/搬出小舟上搬入未处理物品以及搬出处理后的 物品。本发明的第二方面记载的OHT搬运台车上的物品交接方法，其中， 上述物品为插拔自如地收纳半导体衬底的收纳箱，12上述工作台还可以是配置于沿上述悬挂式升降搬运台车的环状轨 道的适当处，并收纳于上述收纳箱内的半导体衬底表面处理设备。根据本发明的第二方面，先前引用第一方面所涉及的发明效果自不 待言，如果搬出在规定处理工作台的收纳箱(FOUP)用搬入/搬出小舟 上装载，并收纳有在该处理工作台处理后的衬底的收纳箱的话，就不会迟延以后将收纳有在该处理工作台正要接受处理的衬底的FOUP装载在 上述FOUP用搬入/搬出小舟上。因而，能够更有效地对FOUP内收纳的衬底施行各种处理(形成薄 膜、光刻、清洗、蚀刻、检测等)。本发明的第三方面，提供一种悬挂式搬运台车上的物品交接装置，其中，包括悬挂式升降搬运台车，其具有夹持搬入/搬出用物品的夹持部；至少一个工作台，其具有沿上述悬挂式升降搬运台车行驶路线的规 定处设置，并装载上述搬出用物品的搬入/搬出小舟；以及暂时保管架，其具有沿上下方向配置的第一部件与第二部件，并位 于上述各工作台的上述搬入/搬出小舟的上方，上述暂时保管架的第一部件、第二部件分别具有第一滑板、第二滑板，上述第一滑板、第二滑板分别是，仅在施行保管/取出上述搬入用物品时，使上述第一滑板进退，以 便向悬挂式升降搬运台车交接物品，仅在施行保管/取出上述搬出用物品时，使上述第二滑板进退，以 便向悬挂式升降搬运台车交接物品，除此以外时，提供悬挂式升降搬运台车的物品交接装置，允许驱动 控制悬挂式升降搬运台车的升降作动。本发明第三方面的发明，是用于实施有关第一方面发明的装置，就发明效果而言，与上述第一方面的发明效果等同，所以避免重复其说明。 本发明的第四方面记载的OHT搬运台车上的物品交接装置，其中，上述物品为插拔自如地收纳半导体衬底的收纳箱(FOUP)，上述工作台为沿上述悬挂式升降搬运台车的环状轨道适当处配置， 并作为收纳于上述收纳箱内的半导体衬底表面处理设备的第三方面所 记载的悬挂式升降搬运台车上的物品交接装置。根据第发明的第四方面，先前引用第三方面的发明效果自不待言， 也可达到与第二方面等同的效果。


图1为表示应用本发明的系统俯视图。图2为用于实施本发明的主要部分结构图。 图3为表示本发明所涉及的悬挂式架的架板示意结构图。 图4为表示用于说明本发明方法的悬挂式架上的FOUP装载情况典 型图。标号说明2 工序内环状轨道5 处理工作台5a FOUP用搬入/搬出小舟7 OHT台车7d升降皮带7f 钩爪机构9a、 9b FOUP10 悬挂式架装置10b、 10c 架部件10bx、 10cx固定板10by、 10cy滑板20 OHB控制器具体实施方式
以下，边参考附图边说明本发明的优选实施方式。首先，说明附图的概要，图1为表示应用本发明的系统俯视图，图 2为用于施行本发明的主要部分结构图，图3为表示本发明所涉及的悬 挂式架的架板示意结构图，图4为表示用于说明本发明方法的悬挂式架 上的FOUP装载情况典型图。接着，参考图1说明应用本发明的系统整体结构。图1中，1为间场，并行设立连续的多个区域。各间场1中铺设有 后述的行驶导向OHT台车的工序内环状轨道2。各工序内环状轨道2 经由分岔轨道3通过工序间环状轨道4保持联系。OHT台车构成为，可 按照规定的方向行驶上述轨道2、 3和4。5为处理工作台，沿工序内环状轨道2配置。处理工作台对收纳于 FOUP的晶片等半导体衬底施行形成薄膜、光刻、清洗、蚀刻、检测等 的某项处理。而且，将处理工作台5配置成沿各间场l铺设的工序内环 状轨道2，尽可能地与处理的顺序相符合。另外，各个处理工作台5具 有FOUP用搬入/搬出小舟5a。该FOUP用搬入/搬出小舟5a用OHT台 车，承担搬入收纳有预定进行规定处理的衬底的FOUP，承担搬出收纳 有规定处理完了的衬底的FOUP。6为堆垛器，它配置于工序内环状轨道2的适当处。堆垛器6保管 收纳有全部处理完了的衬底的FOUP，或者保管待机的收纳有预定进行 规定处理的衬底的FOUP。而且，堆垛器6具有FOUP用搬入小舟6a 与搬出小舟6b。7为OHT台车，它具有沿上述工序内环状轨道2、分岔轨道3以及 工序间环状轨道4向规定方向的驱动功能和夹持状态下对FOUP的升降 /夹持功能。8为系统控制器，管理OHT搬运台车7行驶线路的指示或 防碰撞的防止控制等OHT搬运台车的行驶控制。另外，参考表示本发明主要部分结构的图2、图3来说明实施方式 的具体例。图2中，9a、 9b为FOUP， FOUP9a装载在处理工作台5的 FOUP用搬入/搬出小舟5a上。并且，该FOUP9a内部收纳的未在该处理工作台施行规定处理的衬 底，通过未图示的机械手每次处理一片，全部衬底在规定处理结束后， 接着处于对预定规定处理的其它处理工作台5或者堆垛器6 (参考图1) 施行搬运的待机状态。上述OHT台车7包括与工序内环状轨道2、分岔轨道3以及工 序间环状轨道4 (图2状态表示工序内环状轨道2)均配合的驱动/行驶机构7a;台车位置调整机构7b;升降机构7C;升降皮带7d;夹片机构7e以及钩爪机构7f。而且，具体点说如专利文献1所示，上述驱动/行驶机构7a接收非 接触式供电的电力，按线性电动机原理获得推动力，通过系统控制器8 (参考图l)实现的行驶控制得以限制行驶方向。上述FOUP9收纳有在规定的处理工作台5预定接受处理的衬底。 并且，该FOUP9b位于与处理工作台5的FOUP用搬入/搬出小舟5a相 对应的位置。此时，FOUP9b使用搬运台车7的钩爪机构7f，通过夹持 该FOUP9b的法兰部从而夹持OHT台车。IO为悬挂式架装置(以下称之为"OHB (Overhead Hoist Buffer)， 对从顶棚向下方延伸的柱状体10a设置上下两层的架部件10b、 10c。并且，该架部件10b由固定板10bx以及滑板lOby构成，架部件10c由固 定板10cx以及滑板10cy构成。上述架部件10b、 10c为相同结构，以架部件10b为例参考图4说 明其详细的结构。图4中，10d为活动销，该活动销10d仅当FOUP9a、 9b正常地装载在滑板10by的平面上时，嵌合于该FOUP9a、 9b的底面 上所形成的孔内。该活动销10d与FOUP底面上形成的孔正常的嵌合状 态是通过滑板10by的表面上设置的传感器10e测定的。10f为齿轮，它设置于固定板10bx侧的适当处，使用未图示的带电 动机减速器由OHB控制器20 (参考图1)控制旋转速度以及旋转方向。10g为线性齿轮，设置于滑板10by底面部分就是该滑板10by的进 退方向，与上述齿轮10f相啮合的位置。而且，虽然省略滑板10by对固定板10bx的导向机构细节，但可以设置适当的公知装置。通过该结构，滑板10by、 10cy如图2的虚线部分可知，从收容于 OHB10的位置向OHT台车7侧进退。上述结构中，对于沿图1整体结构中的一个间场1铺设的工序内环 状轨道3行驶的OHT台车7， 一直夹持FOUP9b到达预定处理衬底的处 理工作台5，并且，如图2所示，已经将收纳有在该处理工作台5处理 完了衬底的FOUP9a装到处理工作台5的FOUP用搬入/搬出小舟5a上 的情况，也参考图4说明上述FOUP9a与FOUP9b的配置交换作动。作动1: OHB10的架部件10b的滑板10by延伸至图2虚线的位置。作动2:放出OHT台车7的升降皮带7d，把FOUP9b装载于上述架部件10b上的滑板10by。作动3:由传感器10e确定，如果图3示出的活动销10d与FOUP9b 的底面为适当配合的状态，解除OHT台车7的钩爪机构7f与FOUP9b 的法兰的配合，巻绕升降皮带7d，使钩爪机构7f稍微上升。作动4:上述滑板10by通过图3所示齿轮10f的驱动，使上述滑板 10by沿着与固定板10bx重叠的方向滑动。此时的OHB10变成图4(A)的状态。作动5:放出OHT台车7的升降皮带7d，钩爪机构7f下降并到达 处理工作台5的FOUP用搬入/搬出小舟5a上的FOUP9a的法兰部，用 钩爪机构7f夹持FOUP9a。作动6:通过巻绕升降皮带，使FOUP9a至少上升至FOUP9a的底 面位置高于架部件10c的滑板10cy的平面位置。作动7:在此状态下，OHB的架部件10c的滑板10cy延伸至虚线 的位置。作动8:由传感器10e确定，如果图3所示的活动销10d与FOUP9a 的底面为适当配合的总状态，解除OHT台车7的钩爪机构7f与FOUP9a 的法兰的配合，巻绕升降皮带7d，使钩爪机构7f稍微上升。作动9:上述滑板10by通过图3所示的齿轮10f的驱动，使上述滑 板10by沿着与固定板10ax重叠的方向滑动。此时的悬挂式架装置10 变成图4 (B)的状态。作动10:巻绕升降皮带7d，使钩爪机构7f上升至最高位。作动ll:OHBlO的架部件10b的滑板10by在装载了 FOUP9b的状态下延伸至虚线的位置。作动12:放出OHT台车的升降皮带7d，使钩爪机构7f下降至滑 板10by上装载的FOUP9a的法兰部，用钩爪机构7f夹持FOUP9a。作动13:稍微巻绕升降皮带7d，使FOUP9a向上方移动一点，解 除FOUP9a与活动销10d的配合。作动14:上述滑板10by通过图3所示齿轮10f的驱动，使上述滑 板10by沿着与固定板10bx重叠的方向滑动。作动15:放出升降皮带7d,下降FOUP9a，使该FOUP9a装载在 处理工作台5的FOUP用搬入/搬出小舟5a上。此时的OHB10变成图4 (C)的状态。作动16:解除FOUP9a的法兰与钩爪机构7f的配合，使OHT搬运 台车7至少上升至钩爪机构7f的最底部位置高于装载在滑板10cy上的 FOUP9a的法兰最高部位置。作动17: OHB10的架部件10c的滑板10cy在装载有FOUP9a的状 态下延伸至虚线的位置。作动18:下降钩爪机构7f，夹持滑板10cy上装载的FOUP9a的法兰部，并再次上升。作动19:上述滑板10cy通过图3所示齿轮10f的驱动，使上述滑 板10cy沿着与固定板10cx重叠的方向滑动。此时的OHB10变成图4(D)的状态。上述各作动1 19按照来自OHB控制器20的信号依次连续地进 行，因此能够有效迅速地实现在处理工作台5的FOUP用搬入/搬出小 舟5a上装载，而其内部收纳有在该处理工作台5完成了规定处理的衬 底的FOUP9a与收纳有在这些处理工作台5的正要接受处理的衬底的 FOUP9a的交换。以上，说明了本发明的最佳实施方式，但本发明并不局限于这些也 可以有各种各样的实施方式，例如图2中，OHB10通过在垂直于工序内 环状轨道2的方向上悬挂于顶棚的柱状体10a来构成自顶棚悬挂的结 构，但即使形成OHB10与工序内环状轨道2平行而且将柱状体10a的 上方支撑部作为工序内环状轨道，并将OHB10设置于工序内环状轨道2 的正下方的结构也毫无问题。从洁净室的空间利用方面来看，根据场合， 有时在该工序内环状轨道正下方设置悬挂架装置也是有益的。另外，OHB控制器20为用一个OHB控制器控制多个OHB，但也 可以分别配置一个个OHB，独立控制每一台OHB。虽然参照特定的实施方式详细地说明了本发明，但是很显然，本领 域的技术人员能够在不脱离本发明的构思和范围作出各种变化和修改。本申请基于2005年9月30日申请的日本专利申请(特愿2005— 285718)，并且其内容结合于此以供参考。工业方面的应用能够共同使用向规定处理工作台的物品搬入/搬出小舟的物品搬入 用OHT台车与从该物品搬入/搬出小舟的物品搬出用OHT台车。而且， OHT台车可以是用一台来夹持、升降/搬运一个物品的通用型的，因此， 不需要制造特殊规格的OHT台车。进而，能够更有效地施行向处理工 作台的物品搬入/搬出小舟上搬入未处理物品以及搬出处理后的物品。
权利要求
1.一种悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法，其中包括使用所述夹持部夹持向规定工作台的搬入用物品并使之下降，装载于第一部件、第二部件沿上下方向排列的悬挂式暂时保管架的第一部件的工序；使用所述夹持部夹持在所述规定工作台的物品搬入/搬出小舟上装载的搬出用物品并使之上升，装载于所述悬挂式暂时保管架的第二部件的工序；使用所述夹持部夹持在所述悬挂式暂时保管架的第一部件上装载的搬入用物品并使之下降，装载于所述物品搬入/搬出小舟的工序；以及使用所述夹持部夹持在所述悬挂式暂时保管架的第二部件上装载的搬出用物品并使之上升的工序。
2. 如权利要求1所记载的悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法， 其特征是；所述物品为插拔自如地收纳半导体衬底的收纳箱， 所述工作台为沿所述悬挂式升降搬运台车的环状轨道适当处配置， 并收纳于所述收纳箱内的半导体衬底表面处理设备。
3. —种悬挂式搬运台车上的物品交接装置，其特征是具有 悬挂式升降搬运台车，其具有夹持搬入/搬出用物品的夹持部； 至少一个工作台，其具有沿所述悬挂式升降搬运台车行驶路线的规定处设置，并装载所述搬出用物品的搬入/搬出小舟；以及暂时保管架，其具有沿上下方向配置的第一部件与第二部件，并位于所述各工作台的所述搬入/搬出小舟的上方，所述暂时保管架的第一部件、第二部件分别具有第一滑板、第二滑板，所述第一、第二滑板是，仅在施行保管/取出所述搬入用物品时，使所述第一滑板进退，以便向悬挂式升降搬运台车交接物品，仅在施行保管/取出所述搬出用物品时，使所述第二滑板进退，以便 向悬挂式升降搬运台车授受物品，除此以外时，提供悬挂式升降搬运台车的物品交接装置，允许驱动 控制悬挂式升降搬运台车的升降作动。
4.如权利要求3所记载的悬挂式升降搬运台车上的物品交接装置， 其特征是所述物品为插拔自如地收纳半导体衬底的收纳箱，所述工作台为沿所述悬挂式升降搬运台车的环状轨道适当处配 置，并收纳于所述收纳箱的半导体衬底表面处理设备。
全文摘要
提供一种悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置。该装置的结构是，利用悬挂式升降搬运台车的升降机构与其升降范围内沿水平方向进退的一对滑板(10by)、(10cy)的作用，能够交换在处理工作台(5)的FOUP用搬入/搬出小舟(5a)上装载并收纳了在该处理工作台(5)处理后的基板的FOUP(9a)与位于该FOUP(9a)上方用悬挂式升降搬运台车搬运并收纳了在该处理工作台(5)上正要接受处理的基板的FOUP(9b)。
文档编号B61B13/04GK101278384SQ200680036458
公开日2008年10月1日 申请日期2006年9月29日 优先权日2005年9月30日
发明者前滝進, 安藤光裕 申请人:日本亚仕帝科技株式会社