一种吸盘式取硅片机构的制作方法

文档序号:4337718阅读:244来源:国知局
专利名称:一种吸盘式取硅片机构的制作方法
技术领域
本发明属于太阳能硅片生产技术领域,涉及一种将整齐叠放在一起的硅片一片一
片取出,并放置在输送带上输送出,以配合硅片在加工生产过程中流转的设备,具体是一种 吸盘式取硅片机构。
背景技术
在太阳能硅片生产过程中,整齐叠放在一起的硅片需要一片一片取出,并放置在 输送带上输送出,以配合后续的生产制作步骤。在现有技术中,这种操作通常是手工操作, 即工作人员用手拿着简易吸盘去吸取硅片,然后将吸出的硅片一片一片地放置在输送带上 输送出。这种操作的缺点在于取片操作不方便,容易导致硅片掉落、碰伤,硅片损坏率高; 取片效率低,无法使每片硅片放置的位置一致,导致输送出的硅片间隔不等、排列不齐;手 工操作的劳动强度高,需要的人力多,且不稳定。

发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足,提供一种结构简单、巧妙合理、自 动化程度及取片效率高、硅片损坏率低的吸盘式取硅片机构。 按照本发明提供的技术方案,所述吸盘式取硅片机构包括机架、安装在机架上的 升降装置、移动式吸盘装置和硅片输送装置;机架上设有上台板和下台板;升降装置安装 在机架下台板上,升降装置左右各有一个,用于将叠放在一起的硅片按指定距离抬升;移动 式吸盘装置安装在机架上台板上,移动式吸盘装置与升降装置相对应,用于左右交替地吸 取升降装置上的硅片,并交替地将硅片放置在硅片输送装置上;硅片输送装置安装在机架 下台板上,硅片输送装置设置在左右两个升降装置的中间,用于将移动式吸盘装置吸取的 硅片输送出。 所述升降装置包括有硅片座、升降杆、第二直线导轨、第二丝杆、第二轴承、支撑
座、电机支撑杆和第二伺服电机,支撑座安装在下台板的下表面上,第二丝杆通过第二轴承
竖直安装在支撑座上,第二伺服电机通过电机支撑杆固定在支撑座的下端,第二伺服电机
的输出轴通过第二联轴器与第二丝杆连接,第二丝杆上装配有竖直移动块,第二丝杆与竖
直移动块构成螺纹传动副;第二直线导轨固定在支撑座上,第二直线导轨起到导正竖直移
动块的作用,在第二直线导轨上安装有第二滑块,第二滑块与竖直移动块连接;升降杆与第
二滑块相连接,在下台板上开设有孔,升降杆穿过该孔,升降杆的上端安装硅片座。 所述移动式吸盘装置包括有丝杆固定座、第一丝杆、第一直线导轨、固定板、气缸、
真空吸盘、吸盘固定板、连接杆和第一伺服电机,丝杆固定座固定在上台板上,第一丝杆通
过第一轴承安装在丝杆固定座上,第一伺服电机通过连接杆固定在其中一个丝杆固定座的
外侧,第一伺服电机的输出轴与第一丝杆连接;第一丝杆上装配有水平移动块,第一丝杆与
水平移动块构成螺纹传动副;第一直线导轨固定在上台板上,第一直线导轨起支撑并导正
水平移动块的作用,在第一直线导轨上安装有第一滑块,水平移动块与第一滑块连接;固定板连接在第一滑块上;气缸的缸体尾端固定在固定板的前端两侧,气缸的活塞杆端向下连 接有吸盘固定板,在吸盘固定板上安装有至少一个真空吸盘。 所述硅片输送装置包括有前滚轮轴、后滚轮轴、第三轴承、前滚轮、后滚轮、输送
带、支撑板、第四轴承、平键、传动轮、传动、支撑杆和第三伺服电机,支撑板固定在下台板
上,第三伺服电机通过支撑杆固定在支撑板上,传动轴通过第四轴承安装在支撑板上,第三
伺服电机的输出轴通过第三联轴器与传动轴连接,在传动轴上安装有传动轮,传动轮与传
动轴通过平键连接传动;在传动轴上前方和上后方的支撑板上分别安装有前滚轮轴和后滚
轮轴,前滚轮轴和后滚轮轴上分别通过第三轴承安装有前滚轮和后滚轮;传动轮、前滚轮和
后滚轮配装有输送带,传动轮带动输送带转动,输送带将放置在其上的硅片输送出。 作为本发明的进一步改进,所述吸盘式取硅片机构还包括用于将被吸的硅片与其
他硅片分开的喷气装置,喷气装置设置在升降装置的外侧,喷气装置包括有固定块、喷气管
和气管接头,固定块固定在下台板上,喷气管安装在固定块上,喷气管上开设有径向的喷气
孔;喷气管的一端连接气管接头,气管接头与气源相连通。 作为本发明的进一步改进,所述真空吸盘为4个,4个真空吸盘安装在吸盘固定板 的四角上。 本发明与现有技术相比,优点在于结构简单、紧凑合理;克服了手工操作的难 处,大大提高取片效率,且能保证输出的硅片间隔相等、方向一致、排列整齐;大大减少了人 力,降低了硅片损坏率,有助硅片在流转中的质量保证;提高了产能,从而间接降低了生产 成本。


图1为本发明的正面视图。
图2为图1中的A-A剖视图。
图3为图1的俯视图 附图标记说明1-丝杆固定座、2_第一丝杆、3_第一直线导轨、4_上台板、5_固定 板、6_气缸、7_真空吸盘、8_吸盘固定板、9_机架、10-固定块、11-硅片、12-硅片座、13-下 台板、14-升降杆、15-第二直线导轨、16-第二丝杆、17-第二轴承、18-支撑座、19-第二联 轴器、20-电机支撑杆、21-第二伺服电机、22a-前滚轮轴、22b-后滚轮轴、23-第三轴承、 24a-前滚轮、24b-后滚轮、25-输送带、26_支撑板、27_第四轴承、28_平键、29_传动轮、 30-传动轴、31-支撑杆、32-第三联轴器、33-第三伺服电机、34-喷气管、35_气管接头、 36-连接杆、37-第一伺服电机、38-第一联轴器、39-第一轴承、40-水平移动块、41-竖直移 动块、42-喷气孔、43-第一滑块、44-第二滑块。
具体实施例方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。 如图所示,本发明主要由机架9以及安装在机架9上的升降装置、移动式吸盘装 置、喷气装置和硅片输送装置组成。机架9上设有上台板4和下台板13 ;升降装置安装在机 架9下台板13上,升降装置左右各有一个,用于将叠放在一起的硅片11按指定距离抬升, 以便于移动式吸盘装置吸取硅片11 ;移动式吸盘装置安装在上台板4上,移动式吸盘装置与升降装置相对应,用于左右交替地吸取升降装置上的硅片ll,并交替地将硅片11放置在 硅片输送装置上;喷气装置安装在下台板13上,喷气装置设置在升降装置的外侧,用于将 被吸的硅片11与其他硅片分开,防止在吸片的时候影响其它硅片;硅片输送装置安装在下 台板13上,硅片输送装置设置在左右两个升降装置的中间,用于将移动式吸盘装置吸取的 硅片11输送出。 如图1 图3所示,所述升降装置主要由硅片座12、升降杆14、第二直线导轨15、 第二丝杆16、第二轴承17、支撑座18、第二联轴器19、电机支撑杆20和第二伺服电机21组 成,支撑座18安装在下台板13的下表面上,第二丝杆16通过第二轴承17竖直安装在支撑 座18上,支撑座18的下端利用电机支撑杆20安装第二伺服电机21,第二伺服电机21的输 出轴通过第二联轴器19与第二丝杆16连接,第二丝杆16上装配有竖直移动块41,第二丝 杆16与竖直移动块41构成螺纹传动副;第二直线导轨15固定在支撑座18上,第二直线导 轨15起到导正竖直移动块41的作用,在第二直线导轨15上安装有第二滑块44,第二滑块 44与竖直移动块41连接;升降杆14与第二滑块44相连接,在下台板13上开设有孔,升降 杆14穿过该孔,在升降杆14的上端安装硅片座12。具体动作原理为第二伺服电机21带 动第二丝杆16转动,第二丝杆16通过螺纹传动带动竖直移动块41,竖直移动块41带动第 二滑块44沿着第二直线导轨15上下升降移动,连接在第二滑块44上的升降杆14随第二 丝杆16的转动上下升降,从而使安装在升降杆14顶端的硅片座12同时升降,以便于移动 式吸盘装置吸取放置在硅片座12上的硅片11。当一叠硅片ll取光之后,升降装置再下降 至原始位置,以备放置另一叠硅片,实现反复工作。 如图1 图3所示,所述移动式吸盘装置主要由丝杆固定座1、第一丝杆2、第一直 线导轨3、固定板5、气缸6、真空吸盘7、吸盘固定板8、连接杆36、第一伺服电机37、第一联 轴器38和第一轴承39组成,丝杆固定座1固定在上台板4上,第一丝杆2通过第一轴承39 安装在丝杆固定座1上,在其中一个丝杆固定座1的外侧利用连接杆36连接固定有第一伺 服电机37,第一伺服电机37的输出轴通过第一联轴器38与第一丝杆2连接;第一丝杆2上 装配有水平移动块40,第一丝杆2与水平移动块40构成螺纹传动副;第一直线导轨3固定 在上台板4上,在第一直线导轨3上安装有第一滑块43,水平移动块40与第一滑块43连 接,第一直线导轨3起支撑并导正水平移动块40的作用;固定板5固定在第一滑块43上; 气缸6的缸体尾端固定在固定板5的前端两侧,气缸6的活塞杆端向下连接有吸盘固定板 8,在吸盘固定板8的四角上安装有真空吸盘7。具体动作原理为第一伺服电机37带动第 一丝杆2转动,第一丝杆2通过螺纹传动带动水平移动块40,水平移动块40带动第一滑块 43沿着第一直线导轨3左右移动,安装在第一滑块43上的固定板5及安装在固定板5上的 气缸6随之左右移动,气缸6活塞杆端的真空吸盘7左右交替地吸取硅片11 ,并交替将吸取 的硅片11放置在输送装置的输送带25上。 如图1 图3所示,所述硅片输送装置主要由前滚轮轴22a、后滚轮轴22b、第三轴 承23、前滚轮24a、后滚轮24b、输送带25、支撑板26、第四轴承27、平键28、传动轮29、传动 轴30、支撑杆31、第三联轴器32和第三伺服电机33组成,支撑板26固定在下台板13上, 第三伺服电机33通过支撑杆31连接固定在支撑板26,传动轴30通过第四轴承27安装在 支撑板26,第三伺服电机33的输出轴通过第三联轴器32与传动轴30连接,在传动轴30上 安装有传动轮29,传动轮29与传动轴30通过平键28连接传动;在传动轴30上前方和上后
6方的支撑板26上分别安装有前滚轮轴22a和后滚轮轴22b,前滚轮轴22a和后滚轮轴22b 上分别通过第三轴承23安装有前滚轮24a和后滚轮24b ;传动轮29、前滚轮24a和后滚轮 24b配装有输送带25,传动轮29带动输送带25转动,输送带25将放置在其上的硅片11输 送出。具体动作原理为第三伺服电机33带动传动轴30转动,传动轴30通过平键28带动 传动轮29传动,传动轮29带动左右两条输送带25运动,从而实现输送硅片11的操作。
如图1、图3所示,所述喷气装置由固定块10、喷气管34和气管接头35组成,固定 块10固定在下台板13上,喷气管34安装在固定块10上,喷气管34上开设有径向的喷气 孔42 ;喷气管34的一端连接气管接头35,气管接头35与气源相连通。具体动作原理为气 源中的气体通过气管接头35进入喷气管34内,然后从喷气孔42喷出,将被吸的一片硅片 11与其他硅片分开,防止在吸片的时候影响其它硅片。
本发明的工作过程如下 移动式吸盘装置移动至机架9的右端(见图1),连接在气缸6活塞杆端的右侧真 空吸盘7在气缸6的作用下下降一定距离,同时右侧的升降装置使硅片11上升一定距离后 停止,此时右侧的真空吸盘7开始吸硅片11,同时右侧的喷气管34喷气,一片硅片11被真 空吸盘7吸起来,气缸6的活塞杆回縮,硅片11被真空吸盘7吸着上升一定距离,第一伺服 电机37反转,将两侧的真空吸盘7移动至机架9的左端后停止,此时左侧的真空吸盘7对准 左侧硅片11,右侧的真空吸盘7对准输送装置,然后左右两侧的真空吸盘7在气缸6的作用 下下降一定距离,右侧的真空吸盘7将吸着的硅片11释放,硅片11放置在输送带25上,随 输送带25的运转被输送出,左侧的真空吸盘7同步进行吸左侧的硅片11的操作,左侧的喷 气装置也同时喷气;至此,就完成了一片硅片11的流转操作。然后,移动式吸盘装置再次右 移,左侧的真空吸盘7释放硅片11在输送带25上,右侧的真空吸盘7吸取右侧的硅片11, 如此交替动作,从而将左右两侧硅片座12上的硅片ll全部输送出;然后,升降装置中的升 降杆14下降到原始位置,以便灾放置硅片继续工作。
权利要求
一种吸盘式取硅片机构,其特征在于包括机架(9)、安装在机架(9)上的升降装置、移动式吸盘装置和硅片输送装置;机架(9)上设有上台板(4)和下台板(13);升降装置安装在机架(9)下台板(13)上,升降装置左右各有一个,用于将叠放在一起的硅片(11)按指定距离抬升;移动式吸盘装置安装在上台板(4)上,移动式吸盘装置与升降装置相对应,用于左右交替地吸取升降装置上的硅片(11),并交替地将硅片(11)放置在硅片输送装置上;硅片输送装置安装在下台板(13)上,硅片输送装置设置在左右两个升降装置的中间,用于将移动式吸盘装置吸取的硅片(11)输送出。
2. 如权利要求1所述的吸盘式取硅片机构,其特征还在于,所述升降装置包括有硅片 座(12)、升降杆(14)、第二直线导轨(15)、第二丝杆(16)、第二轴承(17)、支撑座(18)、第 二联轴器(19)、电机支撑杆(20)和第二伺服电机(21),支撑座(18)安装在下台板(13) 的下表面上,第二丝杆(16)通过第二轴承(17)竖直安装在支撑座(18)上,第二伺服电机 (21)利用电机支撑杆(20)安装在支撑座(18)的下端,第二伺服电机(21)的输出轴通过第 二联轴器(19)与第二丝杆(16)连接,第二丝杆(16)上装配有竖直移动块(41),第二丝杆 (16)与竖直移动块(41)构成螺纹传动副;第二直线导轨(15)固定在支撑座(18)上,第二 直线导轨(15)起到导正竖直移动块(41)的作用,在第二直线导轨(15)上安装有第二滑块 (44),第二滑块(44)与竖直移动块(41)连接;升降杆(14)与第二滑块(44)相连接,在下 台板(13)上开设有孔,升降杆(14)穿过该孔,升降杆(14)的上端安装硅片座(12)。
3. 如权利要求1所述的吸盘式取硅片机构,其特征还在于,所述移动式吸盘装置包括 有丝杆固定座(1)、第一丝杆(2)、第一直线导轨(3)、固定板(5)、气缸(6)、真空吸盘(7)、 吸盘固定板(8)、第一伺服电机(37)和第一轴承39组成,丝杆固定座(1)固定在上台板(4) 上,第一丝杆(2)通过第一轴承(39)安装在丝杆固定座(1)上,在其中一个丝杆固定座(1) 的外侧固定有第一伺服电机(37),第一伺服电机(37)的输出轴与第一丝杆(2)连接;第一 丝杆(2)上装配有水平移动块(40),第一丝杆(2)与水平移动块(40)构成螺纹传动副;第 一直线导轨(3)固定在上台板(4)上,在第一直线导轨(3)上安装有第一滑块(43),水平 移动块(40)与第一滑块(43)连接,第一直线导轨(3)起支撑并导正水平移动块(40)的作 用;固定板(5)连接在第一滑块(43)上;气缸(6)的缸体尾端固定在固定板(5)的前端两 侧,气缸(6)的活塞杆端向下连接有吸盘固定板(8),在吸盘固定板(8)上安装有至少一个 真空吸盘(7)。
4. 如权利要求l所述的吸盘式取硅片机构,其特征还在于,所述硅片输送装置包括 有前滚轮轴(22a)、后滚轮轴(22b)、第三轴承(23)、前滚轮(24a)、后滚轮(24b)、输送带 (25)、支撑板(26)、第四轴承(27)、平键(28)、传动轮(29)、传动轴(30)和第三伺服电机 (33),支撑板(26)固定在下台板(13)上,第三伺服电机(33)固定在支撑板(26)上,传动 轴(30)通过第四轴承(27)安装在支撑板(26)上,第三伺服电机(33)的输出轴与传动轴 (30)连接,在传动轴(30)上安装有传动轮(29),传动轮(29)与传动轴(30)通过平键(28) 连接传动;在传动轴(30)上前方和上后方的支撑板(26)上分别安装有前滚轮轴(22a)和 后滚轮轴(22b),前滚轮轴(22a)和后滚轮轴(22b)上分别通过第三轴承(23)安装有前滚 轮(24a)和后滚轮(24b);传动轮(29)、前滚轮(24a)和后滚轮(24b)配装有输送带(25), 传动轮(29)带动输送带(25)转动,输送带(25)将放置在其上的硅片(11)输送出。
5. 如权利要求1所述的吸盘式取硅片机构,其特征还在于,所述吸盘式取硅片机构还包括用于将被吸的硅片(11)与其他硅片(11)分开的喷气装置,喷气装置设置在升降装置 的外侧,喷气装置包括有固定块(10)、喷气管(34)和气管接头(35),固定块(10)固定在下 台板(13)上,喷气管(34)安装在固定块(10)上,喷气管(34)上开设有径向的喷气孔(42); 喷气管(34)的一端连接气管接头(35),气管接头(35)与气源相连通。
6.如权利要求3所述的吸盘式取硅片机构,其特征还在于,所述真空吸盘(7)为4个, 4个真空吸盘(7)安装在吸盘固定板(8)的四角上。
全文摘要
本发明涉及一种吸盘式取硅片机构,其包括机架、安装在机架上的升降装置、移动式吸盘装置和硅片输送装置;机架上设有上台板和下台板;升降装置安装在下台板上,升降装置左右各有一个,用于将叠放在一起的硅片按指定距离抬升;移动式吸盘装置安装在上台板上,移动式吸盘装置与升降装置相对应,用于左右交替地吸取升降装置上的硅片,并交替地将硅片放置在硅片输送装置上;硅片输送装置安装在下台板上,硅片输送装置设置在左右两个升降装置的中间,用于将移动式吸盘装置吸取的硅片输送出。本发明结构简单、巧妙合理;自动化程度及取片效率高,能保证输出的硅片间隔相等、方向一致、排列整齐;硅片损坏率低。
文档编号B65G47/91GK101792065SQ20101012356
公开日2010年8月4日 申请日期2010年2月10日 优先权日2010年2月10日
发明者王燕清 申请人:无锡先导自动化设备有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1