专利名称：辊护罩、辊保持体及辊的保管方法
技术领域：
本发明涉及辊护罩、辊保持体及辊的保管方法。
背景技术：
在对在芯材上卷绕有薄膜的圆筒状的辊进行搬送时，使用安装于该辊的宽度方向两端的辊护罩(例如參照文献1:日本特开2004 — 10216号公报以及专利文献2:日本专利第3978593号公报)。文献I及文献2中记载的辊部件用护罩(辊护罩)具备大致正方形的平板部、设于该平板部的中央部的辊部件的保持部、与平板部的周缘部连接的矩形框状的侧壁部。图12表示通过现有的辊护罩100保持辊200的状态的立体图，图13表示该状态的剖面图。辊200在中空的圆筒状的芯材201卷绕有薄膜部件202。如图12及图13所示，辊护罩100具有平板状的基板101，形成有从其表面部102向厚度方向凹陷的凹部104，在该凹部的底面形成有安装时辊200的宽度方向端部抵接的底部105。辊200的宽度方向两端侧由于如图13所示，芯材201和薄膜部件202的端部在同一面对齐，所以在安装时，成为底部105与其抵接的状态。通过这样抵接，能够防止薄膜在辊宽度方向错位(以下有时称作“卷偏”)。在底部105中央部形成有辊的保持部107，将该保持部107插入辊200的芯材201的中空部分进行保持。在安装了辊护罩100后，如图12及图13所示，在以从辊护罩100的外侧进行抑制的方式利用捆扎带300固定的状态下搬送辊200。辊护罩100不会从辊200脱离。如图12及图13所示，在利用捆扎带300固定辊护罩100时，从安装于辊200的两端的各基板101向辊宽度方向内侧的カ施加给辊200。此时，基板101的底部105与芯材201和薄膜部件202的端部抵接，因此，在薄膜部件202上也施加相同方向的力。薄膜部件202由比芯材201薄且柔软的材质形成，故而存在薄膜部件202被从其宽度方向两侧挤压而挠曲，容易产生褶皱的问题。特别是容易在卷绕于辊200的表层侧的部分产生褶皱。另外，在薄膜部件202为层叠有多个薄膜或粘接剂层的层叠薄膜的情况下，也存在有时因薄膜部件202的挠曲而层叠部件彼此剥离的问题。而且，根据薄膜部件202的性能及用途，也有时将辊200在由辊护罩100保持的状态下以低温保管。在这种情况下，捆扎带300成为低温而收縮，从辊200两端朝向内侧的カ进ー步变大，因此，也存在上述那样的薄膜部件202的输送及剥离容易发生的问题。捆扎带300多为树脂制造，例如若为聚丙烯制，则低温下的收缩变大，因此，容易产生薄膜的褶皱及层叠部件彼此的剥离等问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够防止卷绕于辊的薄膜部件产生褶皱、及在薄膜部件为层叠薄膜的情况下防止层叠部件彼此产生剥离的辊护罩、辊保持体及辊的保管方法。
本发明的辊护罩，具备:第一基板，其以与将薄膜部件卷绕于芯材的辊的一端面侧抵接的方式进行安装；第二基板，其以与所述辊的另一端面侧抵接的方式进行安装；支承部，其将所述第一基板及所述第二基板连结，并且在将所述第一基板及所述第二基板安装于所述辊时，对抗从所述第一基板及所述第二基板向所述辊的宽度方向内侧施加的力。在本发明的辊护罩中，优选的是，所述支承部与所述第一基板及所述第二基板中的至少任一方一体设置。另ー方面，在本发明的辊护罩中，即使所述支承部与所述第一基板及所述第二基板分体设置，由于能够起到与上述一体化设置不同的效果，故而优选。在本发明的的辊护罩中，优选的是，所述支承部是配置于所述第一基板及所述第ニ基板之间的支柱。本发明的辊保持体，具备:在芯材上卷绕有薄膜部件的辊；上述任一方面所述的辊护罩，所述第一基板以与所述辊的一端面侧抵接的方式进行安装，所述第二基板以与所述辊的另一端面侧抵接的方式进行安装，在卷绕于所述芯材的状态下，在所述薄膜部件彼此之间形成有间隙。在本发明的辊保持体中，优选的是，所述薄膜部件是半导体加工用薄膜部件。本发明的辊的保管方法，作为上述方面的辊保持体，对辊进行保管。在本发明的辊的保管方法中，优选的是，所述辊被保管在一 40°C以上且10°C以下的温度下。根据本发明的辊护罩，具备支承部，该支承部将第一基板及第ニ基板连结，并且在将第一基板及第ニ基板安装于辊四，对抗从两基板向辊宽度方向内侧的压缩カ(以下，将这种カ称作基板压缩力)，防止该基板压缩カ对该辊施加。例如，使第一基板与辊的一端面侧抵接并安装，使第二基板与另一端面侧抵接并安装，进而通过捆扎带等进行固定时，两基板被向彼此接近的方向推压。当第一基板及第ニ基板与辊抵接时，上述的基板压缩カ欲对薄膜施加，但本发明的支承部能够对抗该基板压缩力。因此，根据本发明，能够防止被保持的辊的薄膜部件产生褶皱，或者在薄膜部件为层叠薄膜的情况下，能够防止层叠部件彼此的剥离。在本发明的辊保持体中，利用本发明的辊护罩对在卷绕于芯材的状态下在薄膜部件彼此之间形成有间隙的辊进行保持。在通常的保持于辊护罩的辊中，如上所述在薄膜部件彼此之间形成有间隙的情况下，当施加上述的基板压缩カ时，薄膜部件容易产生褶皱或层叠部件彼此容易产生剥离。但是，在本发明的辊保持体中，安装有本发明的辊护罩，能够防止薄膜部件产生褶皱或层叠部件彼此的剥离。根据本发明的辊的保管方法，由于保管上述那样的本发明的辊保持体，故而在保管时能够防止薄膜部件产生褶皱或层叠部件彼此的剥离。在本发明的辊护罩中，在将支承部与第一基板及第ニ基板的至少任一方一体化设置吋，以将辊夹入的方式安装第一基板和第二基板，由此，将支柱配置于基板间，辊保持作业变得容易。在本发明的辊护罩中，支承部与第一基板及第ニ基板分体化设置时，通过改变支柱的长度尺寸，可以与各种宽度方向尺寸的辊相对应而进行保持。在本发明的辊护罩中，在将第一基板及第ニ基板安装于辊时，在该基板间配置支柱，因此，容易产生对从辊两端朝向内侧施加的力的对抗カ。在本发明的辊保持体中，即使保持对象为在芯材上卷绕有半导体加工用薄膜部件的辊，也能够防止薄膜部件产生褶皱或层叠部件彼此的剥离，所以能够防止半导体制造エ序的成品率降低。在本发明的辊的保管方法中，辊被保管在一 40°C以上且10°C以下的温度下，因此，例如在辊安装有第一基板及第ニ基板的状态下进一歩利用捆扎带等进行固定时，成为低温状态的捆扎带收縮。因此，相比常温时，欲对辊施加更大的上述的基板压缩力。但是，在本发明中，上述本发明的辊护罩具有支承部，因此，即使在低温时也能够对抗上述的基板压缩力。而且，即使在低温保管时也能够防止薄膜部件产生褶皱或层叠部件彼此的剥离。
图1是表示由本发明第一实施方式的辊护罩保持辊的状态的立体图；图2是图1的II 一 II线的向视方向剖面图；图3A是所述第一实施方式的辊护罩的第一基板的平面图；图3B是图3A的II1-1II线的向视方向剖面图；图4A是所述第一实施方式的辊护罩的第二基板的平面图；图4B是图4A的IV — IV线的向视方向剖面图；图5是表示由本发明第二实施方式的辊护罩保持辊的状态的剖面图；图6是表示由本发明第三实施方式的辊护罩保持辊的状态的分解立体图；图7是由本发明第三实施方式的辊护罩保持辊的状态的图6的VII — VII线的向视方向剖面图；图8是表示由本发明第四实施方式的辊护罩保持辊的状态的剖面图；图9是表示由本发明的辊护罩保持的辊的立体图；图10是薄膜部件的图9的X-X线的向视方向剖面图；图11是表示所述第二实施方式的辊护罩的支承部的其它例的立体图；图12是表示由现有的辊护罩保持辊的状态的立体图；图13是图12的XIII — XIII线的向视方向剖面图。
具体实施例方式以下，參照
本发明的实施方式。〈第一实施方式〉图1表不由本发明第一实施方式的棍护罩I保持棍40的棍保持体。图2表不棍护罩I的剖面图。如图2所示，辊40在圆柱状的芯材41的周围卷绕有薄膜部件42。有关辊40的宽度方向两端(图2中为辊40的上端及下端)，如图2所示，芯材41和薄膜部件42的端部在同一面对齐。芯材41为了通过辊护罩I进行保持，遍及芯材41的整个宽度方向形成为中空的圆筒状。但是，芯材未必需要遍及整个宽度方向为中空。只要至少宽度方向两端侧形成为中空的圆筒状，则即使遍及整个宽度方向不为中空，也能够由辊护罩I保持辊40。作为薄膜部件42，例举单层薄膜或层叠多个薄膜而成的层叠薄膜、在基材薄膜上层叠粘接层而成的粘接片等，具有挠性。作为层叠薄膜的例子，例举后述的第五实施方式的半导体加工用薄膜部件43 (參照图9及图10)等。(辊护罩)如图1及图2所示，辊护罩I具备安装于辊40的一端侧(在图2中为辊40的下側)的板状的第一基板10、安装于辊40的另一端侧(图2中为辊40的上側)的板状的第二基板
20、连结第一基板10及第ニ基板20的两个支承部30。另外，如图1及图2所示，安装于辊40的辊护罩I以从辊护罩I的外侧进行抑制的方式由卷绕的捆扎带50紧固固定。(第一基板)图3A表不第一基板10的平面图，图3B表不第一基板10的剖面图。第一基板10以与辊40的一端面侧抵接的方式进行安装，对辊40进行保持，并且防止卷绕于辊40的薄膜部件42的卷偏(巻ずれ)。如图3A所示，第一基板10为在第一基板10的厚度方向观察的平面看(以下称为基板平面观察)形成为大致长方形状的板状的部件。如图1 图3B所不,第一基板10具备:安装棍40的一侧的表面部12、从表面部12向大致垂直方向立设的两个支柱11、从表面部12向第一基板10的厚度方向凹陷而形成的基板凹部14、形成于基板凹部14的底面的底部15、形成于底部15的多个开ロ部16、在底部15的大致中央向表面部12方向突出形成的保持部17。支柱11与后述的第二基板20的支柱21 (參照图1、图2、图4A及图4B)卡合，构成支承部30。支柱11形成为圆柱状。在支柱11的前端形成有具有比支柱11的直径小的直径的圆柱状的支柱凸部11a。支柱凸部Ila从支柱11的支柱上面Ilb突出，支柱凸部Ila的上面为支柱凸部上面He。第一基板10所具备的两个支柱11为相同形状，均与第一基板10 一体形成。有关支柱11的详细说明，与支承部30的说明一同在后文中说明。如图3A及图3B所示，基板凹部14凹陷成圆柱状，将辊40的一端侧局部收纳。另夕卜，在基板凹部14的两侧各设有ー个支柱11。如图3A及图3B所示，底部15在圆柱状凹陷的基板凹部14的底面形成为圆形薄板状。如图1及图2所示，辊40的一端面侧抵接底部15。如上所述，由于芯材41及薄膜部件42的端部在同一面对齐，所以芯材41及薄膜部件42的端部与底部15抵接。如图3A所示，开ロ部16形成为扇形，且贯通至第一基板10的表面部12的相反侧的背面侧。通过设置多个开ロ部16，能够实现第一基板10的轻量化。由于形成有开ロ部
16,故而底部15形成从其中心向外侧放射状延伸的梁部15a。如图2所不,芯材41的一部分及薄膜部件42与该梁部15a抵接。保持部17与芯材41的一端面侧可拆装地卡合，保持辊40的一端侧。如图3A及图3B所示，保持部17形成为中空的大致圆筒状。如图3B所示，保持部17的侧面形成为锥状。(第二基板)图4A表示第二基板20的平面图，图4B表示第二基板20的剖面图。第二基板20以与辊40的另一端面侧抵接的方式进行安装，对辊40进行保持，并且防止卷绕于辊40的薄膜部件42的卷偏。如图4A所示，第二基板20也与第一基板10同样，为从第二基板20的厚度方向观察的平面看(以下称为基板平面观察)形成为大致长方形状的板状的部件。如图2、图4A及图4B所示，第二基板20具备:安装辊40的ー侧的表面部22、从表面部22向大致垂直方向立设的两个支柱21、从表面部22向第ニ基板20的厚度方向凹陷形成的基板凹部24、形成于基板凹部14的底面的大致圆形薄板状的底部25、形成于底部25的多个开ロ部26、从底部25的大致中央放射状地延伸的梁部25a、在底部25的大致中央向表面部22方向突出形成的保持部27。第二基板20也基本上具有与第一基板10相同的构造，支柱21的形状与第一基板10的支柱11的形状不同。支柱21形成为圆柱状。在支柱21的前端形成有支柱凹部21a。支柱凹部21a形成在位于支柱21的上面的支柱上面21b。具体而言，支柱凹部21a凹陷形成为具有比支柱21的直径小的直径的圆柱状。支柱凹部21a的底面为支柱凹部底面21c。第二基板20所具备的两个支柱21为相同形状，均与第二基板20 —体形成。支柱21以外的表面部22、基板凹部24、底部25、梁部25a、开ロ部26及保持部27与具有相对应的名称的第一基板10的各部位同样，故而省略说明。第一基板10及第ニ基板20从成形性、轻量性、价格等观点考虑，优选由合成树脂构成，更优选由可通过注射成形而制作的热塑性树脂构成。作为合成树脂没有特别限制，可例举聚こ烯、聚丙烯等聚烯烃树脂、氯こ烯树脂、聚苯こ烯树脂、ABS树脂(丙烯腈(Acrylonitrile)、丁ニ烯(Butadione)、苯こ烯(Styrene)共聚树脂)、聚碳酸酯树脂、聚酰胺树脂、聚酯树脂等。(支承部)支承部30在对辊40安装第一基板10及第ニ基板20时，通过第一基板10的支柱11和第二基板20的支柱21卡合而构成。支承部30作为立设于第一基板10与第二基板20之间的支柱，在将第一基板10及第ニ基板20安装于辊40时，对抗从两基板10、20向辊宽度方向内侧相对于辊40施加的力(上述的基板压缩力)。在此，对构成支承部30的支柱11及支柱21进行说明。在对辊40安装第一基板10及第ニ基板20时，支柱11的支柱凸部IIa和支柱21的支柱凹部21a以彼此可拆装地卡合的方式设定其尺寸。在这样卡合时，支柱11的前端部和支柱21的前端部抵接。具体而言，支柱上面Ilb和支柱上面21b抵接，支柱凸部上面Ilc和支柱凹部底面21c抵接。另外，支柱11的高度尺寸(从表面部12到支柱凸部Ila的根部的尺寸)及支柱21的高度尺寸(从表面部22到支柱21的前端的尺寸)被设定为，在对辊40安装第一基板10及第ニ基板20吋，辊40的两端分别与第一基板10的底部15及第ニ基板20的底部25抵接的尺寸。支承部30由能够对抗上述的基板压缩カ的材质形成。例如,从成形性、轻量性、价格等观点考虑，从第一基板10及第ニ基板20中说明的合成树脂中选择。除此之外，也可以是金属制、木制等。(辊的保持方法)关于使用辊护罩I保持辊40的方法，实施如下的步骤。首先，将第一基板10的保持部17插入辊40的芯材41的一端侧的开ロ，使辊40的一端面侧与第一基板10的底部15抵接。接着，将第二基板20的保持部27插入芯材41的另一端侧的开ロ，使辊40的另ー端面侧与第二基板20的底部25抵接，并且使第一基板10的两个支柱11的支柱凸部Ila和第二基板20的支柱21的支柱凹部21a卡合。进而，如图1及图2所示，从安装于辊40的辊护罩I的外侧卷绕捆扎带50而进行固定。作为捆扎带，例如可例举聚丙烯制的捆扎帯。此外，可以将第一基板10及第ニ基板20的任一方先安装，也可以同时进行安装。(辊保管方法)如上所述，在由辊护罩I保持辊40后，如图1及图2所示，可以以纵向放置的状态保管，也可以以横倒放置的状态保管。作为辊40的保管，例如例举置于保管室的情况或置于搬运辊40的车辆等搬运集装箱内的情況。而且，也可以将辊40在由辊护罩I保持着的状态下，放入防湿袋等保护袋中进行保管。由辊护罩I保持的辊40也可以在维持于低温的搬运集装箱或保管室内保管。特别是，在薄膜部件42为后述那样的半导体加工用薄膜部件的情况下，多在剥离薄膜上层叠含有热固化成分的粘接剂层。因此，有时以在保管时粘接剂层不会变质的方式在低温下保管，抑制粘接剂层的反应性，延长保存时间。作为在低温下的保管条件，例如为ー 40°C以上且10°C以下。此外，过于低温吋，因薄膜部件42的构成材料的线膨胀系数之差，而可能产生褶皱或剥离。〔第一实施方式的作用效果〕根据第一实施方式的辊护罩1，实现如下的效果。辊护罩I具备支承部30，该支承部30将第一基板10及第ニ基板20连结，并且在将第一基板10及第ニ基板20安装于辊40上时，对抗上述的基板压缩力。辊40的两端被保持在分别以与第一基板10的底部15及第ニ基板20的底部25抵接的状态，但支承部30可以防止该基板压缩カ施加给薄膜部件42的情況。因此，可以防止薄膜部件42产生褶皱或在层叠薄膜的情况下防止层叠部件彼此的剥离。特别是，在辊护罩由捆扎带50固定的情况下，容易使劲该基板压缩力，根据第一实施方式的辊护罩1，能够通过支承部30来防止上述薄膜的褶皱或剥离。另外，在以低温保管的情况下，捆扎带50收缩，该基板压缩カ増大，但根据辊护罩1，由干支承部30对抗该基板压缩力，故而能够防止上述的薄膜的褶皱或剥离。另外，根据辊护罩1，在将第一基板10及第ニ基板20安装于辊40上时，在该基板10,20之间配置作为支承部30的支柱。因此，容易产生相对于上述基板压缩カ的对抗力。另外，在安装辊护罩I时，支柱上面Ilb和支柱上面21b抵接，支柱凸部上面110和支柱凹部底面21c抵接，因此，相对于基板压缩カ，在其抵接面产生对抗カ。其结果，根据辊护罩I，能够更加可靠地产生支承部30相对于该基板压缩カ的对抗力。
而且,根据棍护罩1，在第一基板10上一体设置支柱11，在第二基板20上一体设置支柱21。因此，如果以使支柱凸部Ila和支柱凹部21a卡合的方式将第一基板10及第ニ基板20安装于辊40，则由于在该基板10、20之间配置作为支承部30的支柱，故而辊保持作业变得容易。另外，在辊护罩I中，在第一基板10及第ニ基板20上分別形成开ロ部16及开ロ部26，实现轻量化。因此，在第一基板10的底部15形成有梁部15a，在第二基板20的底部25形成有梁部25a，芯材41的局部及薄膜部件42的端部与该梁部15a、25a抵接。在梁部15a、25a隔开规定间隔与薄膜部件42的端部抵接时，在薄膜部件42的该抵接部分集中施加上述的基板压缩力。因此，在安装有现有的无支柱的辊护罩100的状态下，薄膜部件42更容易挠曲，容易产生褶皱。但是，由于辊护罩I形成有作为支承部30的支柱，故而防止了该基板压缩カ的集中施加。其結果，即使为了实现了轻量化而在第一基板10及第ニ基板20形成开ロ部16及开ロ部26，也能够防止褶皱的产生等。〈第二实施方式〉接着，使用附图对本发明第二实施方式的辊护罩2进行说明。此外，在以下的说明中，对于与已说明的部分相同的部分标注同一标记并省略或简化其说明。图5表示保持着辊40的状态下的辊护罩2的剖面图20。此外，剖面的位置与第一实施方式的辊护罩I的图2相同。另外，省略辊护罩2的立体图，但除了形状与辊护罩I的立体图的图1的支承部30不同以外，其余均相同。辊护罩2的支承部的构成与第一实施方式的辊护罩I的支承部30不同。辊护罩I的支承部30与第一基板10及第ニ基板20分别一体化设置的支柱11及支柱21卡合而构成，与此不同，辊护罩2的支承部31与第一基板IOA及第ニ基板20A分体形成。(辊护罩)如图5所示，辊护罩2具备:安装于辊40的一端侧(图5中为辊40的下側)的板状的第一基板10A、安装于辊40的另一端侧(图5中为辊40的上側)的板状的第二基板20A、将第一基板IOA及第ニ基板20A连结的两个支承部31。另外，如图5所示，安装于辊40的辊护罩2与第一实施方式同样地利用捆扎带50固定。(第一基板及第ニ基板)第二实施方式的第一基板IOA及第ニ基板20A分别不具备第一实施方式的第一基板10及第ニ基板20的支柱11及支柱21，代替之而分别具备卡合凹部18、卡合凹部28，除这一点以外，具备与第一基板10及第ニ基板20相同的构成。如图5所示，第一基板IOA的卡合凹部18夹着保持部17而在两侧的表面部12 —个个地形成。卡合凹部18从表面部12圆柱状地凹陷而形成。卡合凹部18的底面为卡合凹部底面18a。第二基板20A的卡合凹部28也如图5所示，夹着保持部27而在两侧的表面部22ー个个地形成。卡合凹部28从表面部22圆柱状地凹陷而形成。卡合凹部28的底面为卡合凹部底面28a。(支承部)支承部31如图5所示形成为圆柱状。支承部31与支承部30同样地，作为立设于第一基板IOA与第二基板20A之间的支柱，对抗上述的基板压缩力。支承部31具有从长度方向两端的端面31b向外侧圆柱状地突出的支柱凸部31a。在支柱凸部31a的端部形成有平坦状的支柱凸部表面31c。在此，对第一基板A及第ニ基板20A和支承部31的连结状态进行说明。第一基板IOA的卡合凹部18及第ニ基板20A的卡合凹部28和支承部31的支柱凸部31a以彼此可拆装地卡合的方式设定其尺寸。在这样进行卡合时，支承部31的两个支柱凸部31a分别与第一基板IOA及第ニ基板20A的表面抵接。具体而言，在第一基板IOA侧，支承部31的ー侧的端面31b和表面部12抵接，支柱凸部表面31c和卡合凹部底面18a抵接。另外，在第二基板20A侧，支承部31的另ー侧的端面31b和表面部22抵接，支柱凸部表面31c和卡合凹部底面28a抵接。另外，支承部31的长度尺寸被设定为，在第一基板IOA及第ニ基板20A之间设置支承部31，并且在相对于辊40进行安装吋，辊40的两端分别抵接底部15及底部25的尺寸。此外，这里的支承部31的长度尺寸是指从一端面31b到另一端面31b的尺寸。(辊的保持方法)关于使用辊护罩2保持辊40的保持方法，实施如下的步骤。首先，将第一基板IOA的保持部17插入辊40的芯材41的一端侧的开ロ，使辊40的一端面侧与第一基板IOA的底部15抵接。接着，使两个支承部31的一端侧的支柱凸部31a卡合于第一基板IOA的两个卡合凹部18。之后，将第二基板20A的保持部27插入芯材41的另一端侧的开ロ，使辊40的另一端面侧与第二基板20A的底部25抵接，同时，使已与第一基板IOA连结的支承部31的另一端侧的支柱凸部31a和第二基板20A的卡合凹部28卡合。而且，与第一实施方式相同，从安装于辊40的辊护罩2的外侧卷绕捆扎带50而进行固定。此外，可以将第一基板IOA及第ニ基板20A中的任ー项先安装，也可以同时进行安装。(辊护罩保管方法)由第二实施方式的辊护罩2保持的辊40也与第一实施方式相同地被保管。〔第二实施方式的作用效果〕根据第二实施方式的辊护罩，实现如下的效果。辊护罩2具备支承部31，该支承部31与第一实施方式的支承部30相同，将第一基板IOA及第ニ基板20A连结，并且在将第一基板IOA及第ニ基板20A安装于辊40上时，对抗上述的基板压缩力。因此，根据辊护罩2，与第一实施方式的支承部30同样地，能够防止薄膜部件42产生褶皱，或者在为层叠薄膜的情况下能够防止层叠部件彼此的剥离。在由捆扎带50进行固定的情況、以及低温保管的情况下，也能够实现同样的效果。另外，根据辊护罩2，在将第一基板IOA及第ニ基板20A安装于辊40上时，在该基板10A、20A间配置作为支承部31的支柱。因此，容易产生相对于上述的基板压缩カ的对抗力。另外，在安装棍护罩2时,在第一基板IOA侧,支承部31的一侧端面31b和表面部12抵接，支柱凸部表面31c和卡合凹部底面18a抵接。另ー方面，在第二基板20A侧，支承部31的另ー侧端面31b和表面部22抵接，支柱凸部表面31c和卡合凹部底面28a抵接。因此，对抗基板压缩力，在其抵接面产生对抗力。因此，根据辊护罩2，能够更加可靠地产生支承部31对抗该基板压缩カ的对抗力。另外，根据辊护罩2，支承部31与第一基板IOA及第ニ基板20A分体化设置。因此，在要对具有与辊40不同的宽度方向尺寸的其它辊进行保持的情况下，第一基板IOA及第二基板20A可以通用并直接利用，只要准备与该其它辊的宽度方向尺寸相对应的长度尺寸的其它支承部即可。这样，通过改变支承部的长度尺寸，可以与各种宽度方向尺寸的辊相对应，因此，不用増加辊护罩的部件的种类，可以降低成本。〈第三实施方式〉其次，使用
本发明第三实施方式的辊护罩3。此外，在以下的说明中，对于与已说明部分相同的部分标注同一标记并省略或简化其说明。图6表不保持着棍40的状态下的棍护罩3的分解立体图。图7表不棍护罩3的剖面图。辊护罩3的支承部的构成与第一实施方式的支承部30及第ニ实施方式的支承部31不同。辊护罩I的支承部30与第一基板10 —体化的支柱11及与第二基板20 —体化的支柱21卡合而构成，与此不同，辊护罩3的支承部32与第一基板IOA及第ニ基板20A分体形成。另外，辊护罩2的支承部31为立设于基板的表面部12与表面部22之间的圆柱状的支柱，与此不同，辊护罩3的支承部32与第一基板IOB及第ニ基板20B各自的侧面卡合而将两基板10B、20B连结。(辊护罩)如图6及图7所示，辊护罩3具备安装于辊40的一端侧(图1中为辊40的下側)的板状的第一基板10B、安装于辊40的另一端侧(图7中为辊40的上側)的板状的第二基板20B、将第一基板IOB及第ニ基板20B连结的两个支承部32。另外，如图7所示，安装于辊40的辊护罩2与第一实施方式同样地由捆扎带50固定。(第一基板及第ニ基板)第三实施方式的第一基板IOB及第ニ基板20B分别不具备第一实施方式的第一基板10及第ニ基板20的支柱11及支柱21。代替之，在第一基板IOB的基板侧面19形成有侧面凹部19a，在第二基板20B的基板侧面29形成有侧面凹部29a。除此之外具备与第一基板10及第ニ基板20相同的构成。如图6及图7所示，第一基板IOB的侧面凹部19a在基板侧面19的四个面中的一个侧面形成于四处，在该面的相反侧的侧面也形成于四处。侧面凹部19a的配置为两行两列的配置。关于第二基板20B的侧面凹部29a，也如图6及图7所示，与侧面凹部19a同样地形成。侧面凹部19a及侧面凹部29a分别从基板侧面19及基板侧面29圆柱状地凹陷而形成。(支承部)如图6及图1所示，支承部32与第一基板IOB及第ニ基板20B的基板侧面19及基板侧面29卡合，作为将两基板10B、20B连结并且从侧面支承的支柱，对抗上述的基板压缩力。支承部32为在辊40上安装第一基板IOB及第ニ基板20B时，遍及基板侧面19和基板侧面29可连结的长度尺寸的长条状的板状部件。支承部32具有从板状部件的表面圆柱状突出的卡合凸部32a。卡合凸部32a在长度方向的一端侧形成有8个，在另一端侧也形成有8个。在一端侧及另一端侧都如图6及图7所示，形成四行两列的配置。上述的侧面凹部19a、侧面凹部29a及卡合凸部32a在将支承部32安装于第一基板IOB及第ニ基板20B时，将它们可卡合地配置。在本实施方式中，将16个卡合凸部32a内、支承部32的长度方向端部附近的四个(两行两列)的组合分别与侧面凹部19a的四处及侧面凹部29a的四处可卡合地配置。另外，以侧面凹部19a及侧面凹部29a和卡合凸部32a可相互拆装地卡合的方式设定其尺寸。(辊的保持方法)关于使用辊护罩3保持辊40的方法，实施如下的步骤。首先，将第一基板IOB的保持部17插入辊40的芯材41的一端侧的开ロ，使辊40的一端面侧与第一基板IOB的底部15抵接。接着，将第二基板20B的保持部27插入芯材41的另一端侧的开ロ，使辊40的另一端面侧与第二基板20B的底部25抵接。接着，将支承部32的长度方向一端侧的四个卡合凸部32a插入第一基板IOB的四处侧面凹部19a并与之卡合，并且将另一端侧的四个卡合凸部32a插入第二基板20B的四处侧面凹部29a并与之卡合(參照图6)。支承部32相对于辊40以配置于两侧的方式安装两个。而且，如图7所示，从安装于辊40的辊护罩I的外侧卷绕捆扎带50而进行固定。此外，第一基板IOB及第ニ基板20B可以将其任一方先安装，也可以同时安装。(辊的保管方法)由第三实施方式的辊护罩3保持的辊40也与第一实施方式同样地被保管。〔第三实施方式的作用效果〕根据第三实施方式的辊护罩3，实现如下的效果。辊护罩3具备支承部32，该支承部32与第一实施方式的支承部30及第ニ实施方式的支承部31相同，将第一基板IOB及第ニ基板20B连结，并且在将第一基板IOB及第ニ基板20B安装于辊40上时，对抗上述的基板压缩カ。因此，根据辊护罩3，与支承部30及支承部31同样地，能够防止薄膜部件42产生褶皱，或在层叠薄膜的情况下防止层叠部件彼此的剥离。对于通过捆扎带50固定的情况、及低温保管的情况也能够实现相同的效果。另外，根据棍护罩3,在第一基板IOB及第ニ基板20B被安装于棍40上时,从第一基板IOB及第20 ニ基板20B的侧面进行卡合，配置作为支承部32的支柱。因此，容易产生相对于上述的基板压缩カ的对抗カ。而且，根据辊护罩3，在相对于保持部17及保持部27和芯材41卡合的方向(辊40的宽度方向)交叉的方向上，侧面凹部19a及侧面凹部29a和卡合凸部32a卡合。因此，能够防止第一基板IOB及第ニ基板20B从辊40脱离。该情况下，也可以不使用捆扎带50而支承辊40。另外，根据辊护罩3，将支承部32与第一基板IOB及第ニ基板20B分体化设置。因此，在要保持具有与辊40不同的宽度方向尺寸的其它辊的情况下，第一基板IOB及第ニ基板20B可通用而直接利用，如果对于支承部32在与该另外的辊的宽度方向尺寸对应的位置形成卡合凸部32a，则可以调整卡合凸部32a和侧面凹部19a、侧面凹部29a5的卡合位置。例如，如果是辊宽度方向尺寸比辊40小的小辊，则在将第一基板IOB及第ニ基板20B安装于该小辊后，使支承部32的长度方向的靠内侧的四个卡合凸部32a的组合与侧面凹部19a及侧面凹部29a卡合，由此可以不使用另外的支承部而保持该小辊。这样，能够应对各种宽度方向尺寸的辊，因此，可以不增加辊护罩的部件的种类，可以降低成本。〈第四实施方式〉接着，使用
本发明第四实施方式的辊护罩4。此外，在以下的说明中，对于与已说明的部分相同的部分标注同一标记并省略或简化其说明。图8表示保持着辊40的状态的辊护罩4的剖面图。此外，剖面的位置与第一实施方式的辊护罩I的图2相同。另外，辊护罩4的立体图省略，除形状与辊护罩的立体图即图1的支承部30不同外均相同。辊护罩4的保持辊的基板的构造与第一实施方式的辊护罩I的基板不同。在辊护罩I中，第一基板10和第二基板20的构造不同，与此不同，在辊护罩4中，在第一基板IOC和第二基板20C为相同的构造。(辊护罩)如图8所示，辊护罩4具备:安装于辊40的一端侧(图8中为辊40的下側)的板状的第一基板10C、安装于辊40的另一端侧(图8中为辊40的上側)的板状的第二基板20C、连结第一基板IOC及第ニ基板20C的两个支承部33。另外，如图8所示，安装于辊40的辊护罩4与第一实施方式同样地，通过捆扎带50固定。(第一基板及第ニ基板)第四实施方式的第一基板IOC各具备ー个第一实施方式的第一基板10的支柱11和第二基板20的支柱21。同样,第二基板20C也各具备ー个第一实施方式的第一基板10的支柱11和第二基板20的支柱21。(支承部)支承部33作为立设于第一基板IOC与第二基板20C之间的支柱，对抗上述的基板压缩力。如上所述，第一基板IOC及第ニ基板20C分别具备各ー个第一实施方式的第一基板10的支柱11和第二基板20的支柱21。因此，第一基板IOC和第二基板20C的连结通过第一基板IOC的支柱11的支柱凸部Ila和第二基板20C的支柱21的支柱凹部21a卡合而进行，形成图8左侧的支承部33。而且，通过第一基板IOC的支柱21的支柱凹部21a和第ニ基板20C的支柱11的支柱凸部Ila卡合而进行连结，形成图8右侧的支承部33。(辊的保持方法)关于使用辊护罩4保持辊40的方法，实施如下的步骤。首先，将第一基板IOC的保持部17插入辊40的芯材41的一端侧的开ロ，使辊40的一端面侧与第一基板IOC的底部15抵接。
接着，将第二基板20C的保持部27插入芯材41的另一端侧的开ロ，使辊40的另一端面侧与第二基板20C的底部25抵接，并且使第一基板IOC的支柱11的支柱凸部Ila和第二基板20C的支柱21的支柱凹部21a卡合，进而使第一基板IOC的支柱21的支柱凹部21a和第二基板20C的支柱11的支柱凸部Ila卡合。然后，如图8所示，从安装于辊40的辊护罩4的外侧卷绕捆扎带50而进行固定。作为捆扎带，例如列举聚丙烯制的帯。此外，可以将第一基板IOC及第ニ基板20C中的任一方先安装，也可以同时安装。(辊保管方法)由第四实施方式的辊护罩4保持的辊40也与第一实施方式同样地被保管。〔第四实施方式的作用效果〕根据第四实施方式的辊护罩4，在与第一实施方式的辊护罩I相同的效果的基础上，实现如下的效果。第一基板IOC和第二基板20C为相同的构造。因此，根据辊护罩4，无需如第一实施方式的辊护罩I那样地准备两种基板(第一基板10及第ニ基板20)，只要准备ー种基板即可，因此可以降低成本。例如，在第一基板IOC及第ニ基板20C为可通过注射成形制作的热塑性树脂制的情况下，只要准备ー种成形模具即可。〈第五实施方式〉接下来，使用
本发明的第五实施方式。此外，在以下的说明中，对于与已说明的部分相同的部分标注同一标记并省略或简化其说明。在第五实施方式中，以卷绕于芯材41的薄膜为层叠薄膜，并且在薄膜上形成台阶的薄膜的情况为例进行说明。图9表示在芯材41上卷绕有半导体加工用薄膜部件43的辊40的立体图。图9中，为了进行说明，表示了将半导体加工用薄膜部件43局部展开的状态。就辊40的宽度方向两端侧而言，如图10所示，芯材41和半导体加工用薄膜部件43的端部在同一面对齐。图10表示图9的X — X线的向视方向剖面图(半导体加工用薄膜部件43的厚度方向剖面图)。半导体加工用薄膜部件43是半导体加工エ艺中使用的薄膜部件，具体而言，在硅晶片的切割和接合エ序中使用。如图10所示，半导体加工用薄膜部件43从剥离薄膜431侧起依次层叠有第一粘接剂层432、第一薄膜层433、第二粘接剂层434、第二薄膜层435。在将这种半导体加工用薄膜部件43粘贴于半导体晶片(未图示)时，首先，将剥离薄膜431剥离，使预切断为图9所示的圆形的第二粘接剂层434部分露出。其次，在该露出的第二粘接剂层434部分粘贴半导体晶片。另外，在第二粘接剂层434的该圆形部分外周形成有圆形框状露出的第一粘接剂层432，在该第一粘接剂层432部分粘贴保持半导体晶片的环形架(未图示)。这样粘贴有半导体加工用薄膜部件43的半导体晶片及保持其的环形架之后被输送向切割エ序，之后向接合エ序输送。半导体加工用薄膜部件43由于以区分粘贴半导体晶片及环形架的上述的圆形部分和其它部分的方式被预切割，所以如图10所示，具有台阶D1。另外，半导体加工用薄膜部件43由于以粘贴半导体晶片的第二粘接剂层434部分圆形露出的方式被预切割，所以如图10所示，具有台阶D2。在将这种具有台阶Dl及台阶D2的半导体加工用薄膜部件43卷绕于芯材41上吋，成为在剥离薄膜431侧进一歩配置有第二薄膜层435的状态。于是，由剥离薄膜431和第二薄膜层435夹持的台阶Dl及台阶D2的部分成为间隙。对于将这种半导体加工用薄膜部件43卷绕于芯材41上且具有上述那样的间隙的辊40，也可以安装上述的辊护罩1、2、3、4。〔第五实施方式的作用效果〕根据第五实施方式，实现如下效果。在如卷绕有半导体加工用薄膜部件43的辊40那样，在半导体加工用薄膜部件43彼此之间形成有间隙时，在上述的基板压缩カ施加于半导体加工用薄膜部件43吋，容易在该间隙部分挠曲。但是，通过安装上述的辊护罩1、2、3、4，可以防止对半导体加工用薄膜部件43施加基板压缩カ。因此，能够防止薄膜部件42产生褶皱。另外，如半导体加工用薄膜部件43那样，在层叠有多层的层叠薄膜的情况下，存在不同的部件彼此的界面。因此，当基板压缩力作用于薄膜时，层叠的薄膜等的部件彼此会从该界面剥离。但是，通过安装上述的辊护罩1、2、3、4，与上述同样地能够防止层叠部件彼此的剥离。另外，半导体加工用薄膜部件43在硅晶片的切割和接合エ序中使用，第二粘接剂层434中含有热固化成分。因此，需要将卷绕有半导体加工用薄膜部件43的辊在低温下保管。如果在低温保管，则如上所述，基板压缩カ施加给辊，且半导体加工用薄膜部件43具有如上所述的间隙部分，所以容易挠曲。但是，在第五实施方式中，通过在卷绕有半导体加エ用薄膜部件43的辊上安装上述的辊护罩I等，即使在低温时也能够对抗上述的基板压缩力。因此，即使在低温保管时也能够防止半导体加工用薄膜部件43产生褶皱或层叠部件彼此的剥离。〈实施方式的变形〉此外，本发明不限于上述的实施方式，在可以实现本发明的目的的范围内，也包含如下所示的变形等。支承部除了上述实施方式中举例说明的圆柱状或板状以外，也可以是棱柱状或其它形状，只要是能够对抗上述的基板压缩カ的形状即可。在上述实施方式中，支承部举例为两个的情况，但不限于此，可以是ー个，也可以是三个以上。例如，通过在基板的四个角部分配置支承部，相比ー个或两个的情况，可以更平衡地对抗基板压缩力。在上述实施方式中，举例说明了由ー个辊护罩各保持一个辊的例子，但不限于此。例如也可以形成为将第一基板及第ニ基板两个两个地连结的构造的基板，也可以为各保持两个辊的方式。如图3A及图4A所示，第一基板10及第ニ基板20为在基板厚度方向观察的平面看形成为长方形状的板状部件，但不限于这种情況。也可以是该平面观察为正方形或正八边形等多边形、圆形或椭圆形。通过设为多边形，第一基板10及第ニ基板20的侧面部成为平面状，因此，在安装了辊护罩I的状态系能够防止辊倾倒时的辊的滚动。在第一实施方式中，举例在使支柱11和支柱21卡合时，支柱上面Ilb和支柱上面21b抵接，且支柱凸部上面Ilc和支柱凹部底面21c抵接的例子进行了说明，但不限于此，例如,如果支柱上面Ilb和支柱上面21b抵接，或者支柱凸部上面Ilc和支柱凹部底面21c抵接，则可以在抵接面产生相对于基板压缩カ的对抗カ。显然，在第二实施方式 第四实施方式中，关于这样的抵接面的对抗カ是同样的。在第一实施方式中，以形成于支柱的前端的支柱凸部Ila及支柱凹部21a圆柱状突出或凹陷的形状进行了说明，但不限于此。例如也可以为棱柱状等其它形状。在第二实施方式 第四实施方式中，关于基板和支承部的卡合的形状，以圆柱状的情况为例进行了说明，但不限于此。例如也可以为棱柱状等其它形状。在上述实施方式中，以支承部和基板的连结使用凸部和凹部的卡合的方法为例进行了说明，但不限于此。例如，第二实施方式中，也可以是在支承部31的圆柱状的支柱凸部31a切出螺纹，将卡合凹部18及卡合凹部28形成为螺纹孔，将它们拧合的方法。另外，在第二实施方式中，在第一基板IOA及第ニ基板20A为中空状的情况下，将形成有卡合凹部18及卡合凹部28的部分形成为贯通孔，按照该贯通孔的位置在基板10A、20A的内面侧固定有背面螺母。而且，也可以与上述同样地，是在支承部31的圆柱状的支柱凸部31a切出螺纹，使该支柱凸部31a和背面螺母拧合的方法。另外，在第三实施方式的连结板状的支承部32的情况下，例如也可以是在与支承部32的卡合凸部32a对应的位置形成贯通孔，将侧面凹部19a及侧面凹部29a与上述同样地形成为螺纹孔，将螺栓插通该贯通孔并与该螺纹孔拧合的方法。作为第二实施方式的支承部31的变形例，也举例可以变更其长度尺寸的构成。例如，图11所示的支承部31A具备螺纹接头那样的构成，也可以将这种支承部31A应用于辊护罩2。这样，如果使用具备可变更长度尺寸的构成的可变支承部，则对于具有不同的宽度方向尺寸的各种辊，也可以通过由第一基板10A、第二基板20A及该可变支承部构成的辊护罩进行应对，无需针对各个宽度方向尺寸备齐部件，可以降低成本。作为半导体加工用薄 膜部件，例举切割和接合エ序中利用的半导体加工用薄膜部件43进行了说明，但不限于此，也可以是其它背磨(バックグラィンド)エ序中利用的薄膜部件等。此外，作为半导体加工用薄膜部件，除此之外，例举例如日本专利第3521099号公报、专利第4677758号公报、日本特开2005 — 350520号公报所记载的部件。
权利要求
1.一种棍护罩,其特征在于,具备: 第一基板，其以与将薄膜部件卷绕于芯材的辊的一端面侧抵接的方式进行安装； 第二基板，其以与所述辊的另一端面侧抵接的方式进行安装； 支承部，其将所述第一基板及所述第二基板连结，并且在将所述第一基板及所述第二基板安装于所述辊时，对抗从所述第一基板及所述第二基板向所述辊的宽度方向内侧施加的力。
2.按权利要求1所述的辊护罩，其特征在干， 所述支承部与所述第一基板及所述第二基板中的至少任一方一体设置。
3.按权利要求1所述的辊护罩，其特征在干， 所述支承部与所述第一基板及所述第二基板分体设置。
4.按权利要求1所述的辊护罩，其特征在干， 所述支承部是配置于所述第一基板及所述第二基板之间的支柱。
5.按权利要求2所述的辊护罩，其特征在干， 所述支承部是配置于所述第一基板及所述第二基板之间的支柱。
6.按权利要求3所述的辊护罩，其特征在干， 所述支承部是配置于所述第一基板及所述第二基板之间的支柱。
7.一种辊保持体，其特征在于，具备: 在芯材上卷绕有薄膜部件的辊； 权利要求1 6中任ー项所述的辊护罩， 所述第一基板以与所述辊的一端面侧抵接的方式进行安装， 所述第二基板以与所述辊的另一端面侧抵接的方式进行安装， 在卷绕于所述芯材的状态下，在所述薄膜部件彼此之间形成有间隙。
8.按权利要求7所述的辊保持体，其特征在干， 所述薄膜部件是半导体加工用薄膜部件。
9.一种辊的保管方法，其特征在于，作为权利要求7所述的辊保持体对辊进行保管。
10.一种辊的保管方法，其特征在于，作为权利要求8所述的辊保持体对辊进行保管。
11.按权利要求9或10所述的辊的保管方法，其特征在于，所述辊被保管在一40°C以上且10°C以下的温度下。
全文摘要
本发明提供一种辊护罩、辊保持体以及辊的保管方法。本发明的辊护罩(1)具备第一基板(10)，其以与将薄膜部件(42)卷绕于芯材(41)上的辊(40)的一端面侧抵接的方式进行安装；第二基板(20)，其以与辊(40)的另一端面侧抵接的方式进行安装；支承部(30)，其将第一基板(10)及第二基板(20)连结，并且在将第一基板(10)及第二基板(20)安装于辊(40)上时对抗从第一基板(10)及第二基板(20)向辊(40)的宽度方向内侧施加的力。
文档编号B65D59/00GK103086091SQ201210427380
公开日2013年5月8日 申请日期2012年10月31日 优先权日2011年10月31日
发明者若山洋司, 土山佐也香, 根津裕介 申请人:琳得科株式会社