玻璃膜的搬运方法以及玻璃膜的搬运装置与流程

本发明涉及工件的搬运方法以及工件的搬运装置。

背景技术：

众所周知，作为近年来的图像显示装置，以液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、场致发光显示器(FED)、有机EL显示器(OLED)等为代表的平板显示器(以下简称为FPD)成为主流。关于这些FPD，由于一直推进轻型化，因此对于FPD中使用的玻璃基板，要求薄板化的要求提高。

另外，近年来，开发出薄壁化至膜状的玻璃(玻璃膜)，采用将连续制造的纵长的玻璃膜以辊状卷绕在卷芯的周围进行收容的形态。

对于这样的玻璃膜的卷绕体，能够以所谓辊对辊(Roll To Roll)方式实施成膜、切断、清洗、干燥等处理。一边利用辊支承从卷绕成辊状的玻璃辊呈片状拉出的状态的玻璃膜并搬运，一边进行上述处理(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-132531号公报

这种辊沿搬运方向配设多个。另外，在如上述那样连续搬运纵长的玻璃膜的情况下，优选使上述多个辊全部以相同的速度旋转驱动。然而，为了旋转驱动辊，需要将马达等驱动源与辊经由齿轮、带等动力传递要素机械性地连接，因此若想要旋转驱动全部的辊，无法忽略扬尘的影响。因此，作为尽可能抑制扬尘的影响并使尽可能多(优选为全部)的辊同步旋转的对策，例如，作为能够使上述的多个辊的大部分或者全部空转的结构(所谓的自由辊)，可以考虑通过从自由辊以外的要素向玻璃膜施加卷绕力等驱动力，从而利用施加于玻璃膜的搬运力使处于与玻璃膜抵接状态的辊旋转的结构。

然而，即便在能够使辊空转(即，自由辊)的情况下，实际上有时因辊与旋转支承辊的部分之间产生的摩擦阻力不均衡的情况而使得各自由辊之间的旋转阻力的大小产生差异。因此，在使用上述结构的搬运装置搬运玻璃膜的情况下，因旋转阻力相对较大的自由辊的旋转速度比其他(旋转阻力相对较小的)自由辊小、或者无法顺畅地旋转等理由，在该自由辊与玻璃膜之间产生打滑。因此，根据打滑程度而担心导致玻璃膜的损伤。

上述问题不仅限于玻璃膜，在搬运单张状的板玻璃的情况下也会发生。或者，在玻璃以外的材质所构成的形成为薄片状或者单张状等并被搬运的工件全体中都会发生。

技术实现要素：

发明要解决的课题

鉴于以上情况，本发明要解决的技术课题是，通过使搬运用的自由辊的全部尽可能与工件同步旋转，从而能够在不损伤所要支承的表面的情况下搬运工件。

用于解决课题的手段

上述课题的解决通过本发明所涉及的工件的搬运方法而实现。即，该搬运方法对工件施加搬运力，一边利用自由辊支承该工件一边沿规定方向搬运该工件，其特征在于，通过给予流体的流体流而对自由辊施加朝向搬运工件时旋转的方向的旋转辅助力。

这样，在本发明中，由于通过对自由辊施加流体的流体流，从而对该自由辊施加朝向搬运工件时旋转的方向的旋转辅助力，因此被施加旋转辅助力的自由辊的旋转阻力得到改善(减小)。由此，能够大幅减小自由辊之间的旋转阻力的偏差，故而在自由辊伴随着工件的支承而旋转时，能够尽可能使全部自由辊同步旋转。由此，能够抑制旋转阻力相对较大的自由辊与工件之间的打滑的产生，能够在尽可能防止工件损伤的同时搬运工件。

另外，本发明所涉及的工件的搬运方法也可以构成为，通过在自由辊随着支承被施加搬运力的工件而旋转时，给予流体的流体流而对自由辊施加旋转辅助力。或者，也可以通过在自由辊随着支承被施加搬运力的工件而即将开始旋转之前，通过施加流体的流体流而对自由辊施加旋转辅助力。

这样，本发明通过在自由辊随着支承被施加搬运力的工件而旋转时应用而有效地发挥作用，但在旋转开始时的阻力出现较大差异的情况下，也可以通过在自由辊随着支承工件而即将开始旋转之前施加流体的流体流，从而对该自由辊施加旋转辅助力。由此，由于能够顺利地开始与工件的支承相伴的自由辊的旋转，因此能够尽可能有效地防止旋转开始时的打滑的产生。

另外，本发明所涉及的工件的搬运方法也可以构成为，将流体的流体流的大小调整为，在自由辊随着支承被施加搬运力的工件而即将开始旋转之前，旋转辅助力相对较大，在自由辊随着支承被施加搬运力的工件而开始旋转之后，旋转辅助力相对较小。

在比较与随着支承工件而旋转时的自由辊的旋转阻力与旋转即将开始之前的自由辊的旋转阻力的情况下，一般而言，旋转即将开始之前的情况需要惯性力矩以上的力(力矩)，可以视为旋转阻力较大。另一方面，若将超过所需的力(旋转辅助力)施加于自由辊，由于自由辊以工件以上的速度进行旋转，因此反而会担心导致自由辊的空转，并不优选。由此，如上述那样，以首先在旋转即将开始之前使旋转辅助力相对增大而在旋转开始后使旋转辅助力相对变小的方式，调整应施加于自由辊的流体的流体流的大小(例如，流量、流体压、流速等)，能够将与各时期相适的大小的流体的流体流施加于自由辊。由此，在任一时刻都能够有效地实现工件与自由辊的同步。

另外，本发明所涉及的工件的搬运方法也可以构成为，通过喷吹作为流体的空气而对自由辊施加旋转辅助力。

若采用空气作为应施加于自由辊的流体，由于不存在流体附着于自由辊、工件的顾虑，因此与工序种类无关均能够采用本发明。另外，通过在气体中采用空气，能够直接利用设置在工厂内的现有的空气导入设备。因此，与其他气体相比，在设置成本、运行成本这两方面均优选。另外，在不像液体那样需要回收这方面也优选。

另外，本发明所涉及的工件的搬运方法也可以构成为，利用自由辊支承并搬运作为工件的玻璃膜。另外，在该情况下，本发明所涉及的工件的搬运方法也可以构成为，在以辊对辊方式对玻璃膜实施规定处理时，利用自由辊支承玻璃膜中的、从将该玻璃膜呈辊状卷绕而得到的玻璃辊拉出的部分。

如上述那样，本发明所涉及的搬运方法的目的在于使全部自由辊同步旋转，因此在将以横跨多个自由辊的状态而被支承的玻璃膜作为搬运对象的情况下尤其有效地发挥作用。另外，在以辊对辊方式对该玻璃膜实施规定处理时，由于下游侧的玻璃辊的卷绕力成为工件的搬运力，因此因卷绕量(卷绕直径)不同而使得搬运力发生变化，各自由辊之间的旋转阻力的在与工件的同步旋转中更加显著地反映，其结果是，也存在工件的搬运方式变得不稳定的顾虑，但通过应用本发明，能够改善这种不良情况，实施稳定的同步旋转。另外，在该情况下也可以构成为，在将玻璃膜的长边方向两侧呈辊状卷绕的状态下，利用卷绕成一方的玻璃辊的动作，对从另一方的玻璃辊拉出的玻璃膜施加搬运力。

另外，本发明所涉及的工件的搬运方法也可以构成为，自由辊具有与工件抵接的自由辊主体、以及设置为能够与该自由辊主体一体旋转且承受流体的流体流的承受部。

虽然辅助力施加机构所带来的流体的流体流也可以施加于自由辊的外周面，但由于外周面作为与工件抵接的抵接面而发挥功能，因此产生能够施加流体的流体流的区域受限的问题。在此，如上述那样，通过使自由辊具有与工件抵接的自由辊主体、以及设置为能够与自由辊主体一体旋转且承受流体的流体流的承受部，例如能够将流体的流体流配置在自由辊的端部附近等的、与工件抵接的自由辊主体的以外的区域。由此，能够防止搬运装置的复杂化、巨大化，能够形成简单并且小型的构造。

另外，在自由辊具有自由辊主体与承受部的情况下，本发明所涉及的工件的搬运装置也可以构成为，承受部包括在轴向上与自由辊主体邻接的承受部基体、以及从该承受部基体的外周面向外径侧突出的凸部。或者，本发明所涉及的工件的搬运装置也可以构成为，承受部包括在轴向上与自由辊主体邻接的承受部基体、以及从该承受部基体的外周面向内径侧后退的凹部。

通过如上述那样构成，与对圆筒状的外周面施加流体的流体流的情况相比，能够形成可有效地承受流体的流体流的构造。在此，在承受部包括承受部基体和从承受部基体的外周面向外径侧突出的凸部的情况下，通过利用凸部承受流体的流体流，能够尽可能在外径侧承受流体的流体流，因此能够尽可能增大应施加于自由辊的旋转辅助力(旋转力矩)。或者，在承受部包括承受部基体和从承受部基体的外周面向内径侧后退的凹部的情况下，通过利用凹部承受流体的流体流，从而容易无遗漏地承受流体的流体流。由此，能够有效地将流体的流体流转换为旋转辅助力而施加于自由辊。

另外，通过本发明所涉及的工件的搬运装置也可以实现上述课题的解决。即，该搬运装置具备：搬运力施加机构，其对工件施加搬运力；自由辊，其支承被施加搬运力的工件；以及辅助力施加机构，其通过给予流体的流体流而能够对自由辊施加朝向搬运工件时旋转的方向的旋转辅助力，自由辊具有与工件抵接的自由辊主体、以及设置为能够与该自由辊主体一体旋转且承受流体的流体流的承受部。

根据该搬运装置，与上述的本发明所涉及的工件的搬运方法相同地，利用辅助力施加机构对自由辊的承受部施加流体的流体流，从而能够对该自由辊施加朝向搬运工件时旋转的方向的旋转辅助力，因此被施加旋转辅助力的自由辊的旋转阻力得到改善(减小)。由此，能够尽可能减小自由辊之间的旋转阻力的偏差，故而能够在自由辊随着支承工件而旋转时，使全部自由辊尽可能地同步旋转。由此，能够抑制旋转阻力相对较大的自由辊与工件之间的打滑的产生，能够在尽可能防止工件损伤的同时搬运工件。

发明效果

如以上所述那样，根据本发明，通过使搬运用的自由辊的全部尽可能与工件同步旋转，能够在不损伤所要支承的表面的情况下搬运工件。

附图说明

图1是用于对本发明的第一实施方式所涉及的工件的搬运方法以及工件的搬运装置的概要进行说明的图。

图2是图1的主要部分立体图。

图3是图2所示的搬运装置的A方向的向视图(主要部分放大图)。

图4是图2所示的搬运装置的B-B剖视图。

图5是用于对本发明的第一实施方式所涉及的工件的搬运方法进行说明的图，且是示出自由辊随着支承工件而即将开始旋转之前的状况的图。

图6是图5的主要部分立体图。

图7是本发明的第二实施方式所涉及的工件的搬运装置的主要部分剖视图。

图8是本发明的第三实施方式所涉及的工件的搬运装置的主要部分放大图。

图9是本发明的第四实施方式所涉及的工件的搬运装置的主要部分放大图。

图10是本发明的第五实施方式所涉及的工件的搬运装置的主要部分剖视图。

图11是本发明的第六实施方式所涉及的工件的搬运装置的主要部分剖视图。

具体实施方式

以下，参照图1～图6对本发明所涉及的工件的搬运方法以及工件的搬运装置的第一实施方式进行说明。需要说明的是，在本实施方式中，以将作为带状板玻璃的玻璃膜作为搬运对象(工件)并利用辊对辊方式对该玻璃膜实施规定处理的情况为例进行说明。

图1是示意性地示出本发明所涉及的玻璃膜1的处理工序的图。如图1所示，该处理工序通过辊对辊方式连续对玻璃膜1实施清洗工序2、干燥工序3以及除电工序4，一边将在长边方向两端呈辊状卷绕的玻璃膜1沿规定方向搬运一边进行该处理工序。详细而言，旋转驱动一方(下游侧)的玻璃辊5的卷芯6，使一方的玻璃辊5进行卷绕玻璃膜1的动作，由此将卷绕于另一方(上游侧)的玻璃辊7的状态的玻璃膜1拉出，一边利用搬运装置8沿规定方向搬运所拉出的该玻璃膜1一边依次进行清洗工序2、干燥工序3以及除电工序4。

在此，玻璃膜1是通过溢流下拉法等公知的方法成形为带状的玻璃，其厚度例如调整为300μm以下，优选调整为200μm以下，进一步优选调整为100μm以下。另外，对于该玻璃膜1，通过在一张或者多张带状板玻璃的长边方向一端(或者两端)连结被称作导向件的富有韧性的树脂制片9，并将该树脂制片9的端部连结于卷芯6，由此能够将玻璃膜1与树脂制片9一起卷绕成辊状。图1示出将玻璃膜1与连结于其两端的树脂制片9一起呈辊状卷绕成玻璃辊5、7的形态。当然，也能够采用仅将玻璃膜1呈辊状卷绕成玻璃辊5、7的形态。

接下来，对玻璃膜1的搬运装置8进行说明。如图1以及图2所示，该搬运装置8具备向玻璃膜1施加搬运力F的搬运力施加机构10、支承被施加搬运力F的玻璃膜1的自由辊11、以及辅助力施加机构12，该辅助力施加机构12通过给予流体的流体流而能够向自由辊11施加朝向搬运玻璃膜1运时旋转的方向的旋转辅助力f(参照后述的图3)。在本实施方式中，搬运力施加机构10由已叙述的一方(下游侧)的卷芯6与用于旋转驱动该卷芯6的驱动源(省略图示)构成。另外，支承从一方的玻璃辊5向另一方的玻璃辊7连续延伸的玻璃膜1的大部分的辊由自由辊11构成，仅位于长边方向两端的辊是驱动辊13。当然，在搬运方式方面，在不特别产生阻碍的情况下，也可以将全部的辊设为自由辊11。

自由辊11一体地具有与作为工件的玻璃膜1抵接的自由辊主体14、以及外周设置有自由辊主体14的支轴15。如图4所示，自由辊主体14具有大于玻璃膜1的宽度方向尺寸(与长边方向处于同一平面并且正交的方向的尺寸)的长边方向尺寸，能够通过自由辊主体14的外周面支承玻璃膜1的宽度方向整个区域。支轴15从自由辊主体14的长边方向两端突出，通过利用未图示的框架将支轴15的突出的部分支承为旋转自如，从而能够使支轴15与自由辊主体14一体旋转。

另外，在自由辊11上设置有用于承受辅助力施加机构12形成的流体的流体流的承受部16。在本实施方式中，该承受部16由轴向上与自由辊主体14邻接的承受部基体17、以及从承受部基体17的外周面向外径侧突出的凸部18构成。在该图示例中，从支轴15中的自由辊主体14向长边方向两端侧突出的部分构成承受部基体17。另外，如图3所示，凸部18形成为叶片状，从承受部基体17的外周面呈放射状并且在圆周方向上等间隔地设置有多个(在该图示例中是六个)。

在本实施方式中，辅助力施加机构12具有喷出作为流体的空气的多个喷嘴19、以及能够控制上述的多个喷嘴19所进行的空气的喷出的控制部(省略图示)。各喷嘴19例如图2所示设置于每个承受部16，喷出方向设定为使从喷嘴19喷出的空气吹到对应的承受部16的凸部18。在该图示例中，各喷嘴19配设在对应的承受部16的上方，并且将空气的喷出方向调整为铅垂下方。另外，将喷嘴19的朝向以及位置设定为，使承受来自喷嘴19的空气流(喷流)的凸部18向与自由辊11搬运玻璃膜1搬运时旋转的朝向相同的朝向旋转。

另外，未图示的控制部能够统一控制各喷嘴19喷出空气的喷出量(例如喷出流量)的大小，例如能够将空气的喷出量控制为，在自由辊11即将随着支承被施加搬运力F的玻璃膜1而开始旋转之前施加于自由辊11的旋转辅助力f(图3)相对较大。另外，该控制部能够分两个阶段地控制空气的喷出量，以使得在自由辊11随着支承被施加搬运力F的玻璃膜1而开始旋转之后施加于自由辊11的旋转辅助力f相对较小。需要说明的是，在此所说的旋转辅助力f仅仅是用于辅助与玻璃膜1的搬运相伴的自由辊11的旋转的力，因此，在以不伴随有玻璃膜1的支承的状态给予空气的气流(喷流)的情况下，自由辊11是否旋转并不是间题，将自由辊11之间的旋转阻力的偏差调整为减少或者能够抵消的程度的大小才是重要的。当然，若该力f过大则会引发自由辊11的不必要的空转，因此优选将空气的喷出量调整为不产生这样的弊端的程度的大小。

以下，对使用了上述结构的搬运装置8的玻璃膜1的搬运方法的一个例子进行说明。在本实施方式中，对如下情况进行说明，在玻璃膜1的两端经由连结构件20连结有作为导向件的树脂制片9的一端部(参照图5以及图6)，并且将连结的两张该树脂制片9的另一端部分别与一方的玻璃辊5的卷芯6以及另一方的玻璃辊7的卷芯6′连结，从而进行基于辊对辊方式的一系列处理(清洗工序2、干燥工序3以及除电工序4)。

首先，如图5所示，从卷芯6′上卷绕有玻璃膜1以及树脂制片9的上游侧的玻璃辊7拉出前端侧的树脂制片9，向下游侧的卷芯6仅卷绕树脂制片9，旋转驱动下游侧的卷芯6，从在上游侧的卷芯6′的周围形成的玻璃辊7拉出玻璃膜1，从而开始进行玻璃膜1的搬运。然后，如图6所示，在从玻璃辊7拉出(被施加搬运力F)的玻璃膜1的前端部即将与位于最上游侧的自由辊11(对于图5是左端的自由辊11)抵接之前，从对应的喷嘴19向设置于该自由辊11的承受部16的凸部18喷出空气。由此，空气的喷流吹到凸部18，对与承受部16一体旋转的自由辊11施加朝向玻璃膜1搬运时旋转的方向的旋转辅助力f。

然后，通过玻璃膜1到达(抵接)被施加旋转辅助力f的状态的自由辊11上，从而顺畅且稳定地开始进行自由辊11的旋转(与玻璃膜1的同步旋转)。之后，对于比该自由辊11靠下游侧的自由辊11，同样地从对应的喷嘴19向自由辊11的承受部16喷出空气的喷流而施加旋转辅助力f，从而开始稳定地进行与玻璃膜1的支承相伴的各自由辊11的旋转。需要说明的是，关于空气的喷出开始的控制，既可以在最上游侧的自由辊11与玻璃膜1的前端部即将抵接之前的时刻从全部喷嘴19一并开始喷出空气，也可以在各自由辊11与玻璃膜1的前端部即将抵接之前的时刻从对应的各喷嘴19自上游侧依次开始喷出空气。

并且，在如上述那样各自由辊11开始旋转之后，通过使来自喷嘴19的空气的喷流持续吹向承受部16(的凸部18)，从而对应的全部自由辊11在同样承受旋转辅助力f的状态下，自由辊11持续与玻璃膜1同步旋转(图1以及图2)。以这种方式，进行玻璃膜1的搬运，并通过各工序2～4实施规定的处理(清洗、干燥以及除电)。需要说明的是，此时，也可以在从例如最后开始与玻璃膜1接触的最下游侧的自由辊11(对于图5是最右侧的自由辊11)随着支承玻璃膜1而开始旋转起经过规定时间后，进行统一使从全部喷嘴19喷出的空气的流量相对减小的调整。或者，也可以在从各自由辊11随着支承玻璃膜1而开始旋转起经过规定时间之后，进行使从对应的各喷嘴19喷出的空气的流量自上游侧起依次相对减小的调整。

另外，关于空气的喷出结束的控制，既可以在玻璃膜1的后端部通过最下游侧的自由辊11上的时刻统一结束来自全部喷嘴19的空气的喷出，也可以在玻璃膜1的后端部通过各自由辊11上的时刻，自上游侧依次结束来自对应的各喷嘴19的空气的喷出。

这样，在本发明中，通过向自由辊11给予作为流体的空气的流动，从而对自由辊11施加朝向搬运作为工件的玻璃膜1运时旋转的方向的旋转辅助力f，因此，能够改善(减小)施加有该旋转辅助力f的自由辊11的旋转阻力。由此，能够尽可能减小自由辊11之间的旋转阻力的偏差，在自由辊11随着支承玻璃膜1而旋转时，能够尽可能使全部的自由辊11同步旋转。由此，能够抑制旋转阻力相对较大的自由辊11与玻璃膜1之间的打滑的产生，能够在尽可能地防止玻璃膜1损伤的同时搬运玻璃膜1。

另外，在本实施方式中，由于将承受空气流的承受部16设置于自由辊11的支轴15中的从自由辊主体14的长边方向两端向外侧突出的部分，并且将空气喷出用的喷嘴19配置在该承受部16的铅垂上方，因此无需改变、扩张现有的设备就能够容易追加这种设备。由此，能够比较廉价地构成本发明所涉及的搬运装置8。

另外，在本实施方式中，由于承受部16包括轴向上与自由辊主体14邻接的承受部基体17、以及从承受部基体17的外周面向外径侧突出的凸部18，因此，即便不改变自由辊11本身的尺寸、结构，也能够根据凸部18的突出尺寸调整承受空气的位置。因此，喷嘴19的配置自由度提高。另外，由于越是增大凸部18的突出尺寸，施加空气的喷流时得到的力矩越大，因此即便不大幅增大喷出流量，也能够容易地增大旋转辅助力f。

以上，对本发明所涉及的工件的搬运方法以及工件的搬运装置的第一实施方式进行了说明，但该搬运方法或者搬运装置当然能够在本发明的范围内采用任意方式。

例如，在上述实施方式中，设置于自由辊11的承受部16包括承受部基体17与从承受部基体17的外周面向外径侧突出的凸部18，但当然也能够采用除此以外的结构。图7示出这样的一例，该图所示的承受部16包括承受部基体17与从承受部基体17的外周面向内径侧后退的凹部21。在该情况下，将喷嘴19的朝向以及位置设定为，使承受来自喷嘴19的空气流(喷流)的凹部21、以及形成有该凹部21的承受部基体17向与搬运玻璃膜1时自由辊11旋转的朝向相同的朝向旋转。通过这样构成，能够使承受部16小型化。当然，凹部21可采用的形状是任意的，例如能够以可以无遗漏地承受空气流(喷流)的方式采用适当的形状、数量、配置。当然已叙述的凸部18也能够采用相同的结构，例如如图8所示，也能够将形成为随着趋向外径侧而使厚度方向尺寸缩小的形状(轴向上厚度恒定)、省略图示的进一步使前端侧向随着趋向外径侧而要旋转的方向(旋转辅助力f的朝向)弯曲的形状(所谓的螺旋形状)等各种形状的凸部18设置于承受部基体17的外周。

或者，通过不设置凸部18、凹部21而是改进承受部基体17的外周面形状、尺寸，也能够形成可承受空气流的结构。图9示出这样的一例，该图所示的承受部16的设置于自由辊主体14的端部的承受部基体17在从轴向观察时形成为多边形状(图示例中是正六边形状)。或者，虽省略图示，但也可以通过在承受部基体17设置比自由辊主体14大径且正圆形状的外周面而构成承受部16。

另外，虽省略图示，但承受部16也可以采用在自由辊主体14的端部外周面直接突出而形成凸部18的形态、直接形成凹部21的形态。在该情况下，自由辊主体14的端部实际上成为承受部基体17。

另外，作为自由辊11整体的结构，例如如图10所示，也能够采用多个自由辊主体14以在轴向上隔开恒定间隔的方式设置的结构。在该情况下，各自由辊主体14固定于一根支轴15。因此，通过向设置在支轴15的长边方向两端的承受部16喷出空气的喷流，从而在全部的自由辊主体14上作用相等的旋转辅助力f，并且全部的自由辊主体14能够随着支承玻璃膜1而同步旋转。

或者，作为自由辊11整体的结构，例如如图11所示，也可以采用使各自由辊主体14的外径尺寸根据自由辊11长边方向位置而不同的形态。这种形态是根据实际的玻璃膜1的宽度方向尺寸与厚度尺寸的关系不同而如图11所示假设玻璃膜1因自重而沿宽度方向产生挠曲的情况，考虑到随着从宽度方向中央趋向宽度方向两侧(对于图11是左右两侧)而玻璃膜1以垂下的方式变形，设定为越是靠宽度方向中央越是相对增大自由辊主体14的外径尺寸，越是趋向宽度方向外侧越是相对减小自由辊主体14的外径尺寸。在该情况下，各自由辊主体14相对于支轴15旋转自如(支轴15可以固定于未图示的框架)。由此，即便在玻璃膜1产生挠曲的情况下，通过尽可能在整个区域均衡地支承玻璃膜1的下表面，并且使各自由辊主体14以与外径尺寸相应的转数进行旋转，也能够不发生空转地使全部自由辊主体14与玻璃膜1同步旋转。

另外，在该情况下，在各自由辊主体14的侧面安装承受部16，各自由辊主体14与承受部16被支承为相对于支轴15旋转自如，从而能够向各自由辊主体14施加空气的喷流所带来的旋转辅助力f。由此，在实际使用上述结构的自由辊11的情况下，也能够尽可能减小自由辊主体14以及自由辊11之间的旋转阻力的偏差，使全部自由辊11尽可能同步旋转。需要说明的是，即便是如图10所示，全部的自由辊主体14具有相同的外径尺寸的情况，也可以如图11所示采用在各自由辊主体14的侧面安装承受部16，各自由辊主体14与承受部16被支承为相对于支轴15旋转自如的结构。

另外，作为空气的喷出方式，在上述实施方式中，以沿承受部16的圆周速度方向(与外周面的切线方向)喷出空气的方式设定喷嘴19的朝向，但当然也可以根据承受部16的形态适当地改变空气的喷出方向。另外，关于此时的空气的喷出流量，也可以采用上述以外的控制(例如该更为三个阶段以上，喷出期间中维持为恒定的大小等)。

另外，在上述实施方式中，对如下情况进行了说明，在自由辊11随着支承被施加搬运力F的玻璃膜1而即将开始旋转之前、以及自由辊11随着支承被施加搬运力F的玻璃膜1而开始旋转之后，从喷嘴19喷出空气的喷流的情况，但也可以仅在旋转即将开始之前或者仅在旋转开始后的期间喷出空气的喷流。

另外，在上述实施方式中，例示了采用来自喷嘴19的空气的喷流作为流体的流体流的情况，但当然也可以采用除此之外的流体的流体流。例如虽省略图示，也可以通过从沿搬运方向延伸的狭缝状的喷出口呈帘状地喷出空气而统一向全部承受部16施加空气流。或者，只要能够确保清洁性，也能够采用在沿搬运方向延伸的液槽中形成沿搬运方向的朝向的液体(清洗水)的液流，使设置在支轴15的端部的承受部16局部浸渍在该液槽中而向承受部16给予液体的液流等、施加空气以外的流体的流体流的结构。

另外，在上述实施方式中，均对在自由辊11上设置有承受部16的情况进行了说明，但本发明不限于该形态。例如通过直接向自由辊主体14的外周面施加流体的流体流从而对自由辊11施加旋转辅助力f的形态当然也包含于本发明。

另外，在上述实施方式中，例示了通过旋转驱动一方的玻璃辊5的卷芯6而对玻璃膜1施加主要的搬运力F的情况，当然也能够利用除此之外的手段对玻璃膜1施加搬运力F。例如在图1所示的搬运装置8中，也可以代替配置在其长边方向两端的驱动辊13，而配置真空吸附方式等的传送带。或者，也可以在清洗工序2、干燥工序3以及除电工序4期间配置同样的传送带。

另外，在上述实施方式中，例示了玻璃膜1通过清洗工序2、干燥工序3以及除电工序4的形态(将搬运装置8配设为能够通过的形态)，当然本发明也能够应用于具有除此之外的处理工序的生产线中。例如在省略除电工序4并取而代之将端面蚀刻等表面处理工序设置在清洗工序之后(下游侧)的生产线中也能够应用本发明，或者，在该表面处理工序之后还设置有清洗工序(也称作洗涤工序。)的生产线中也能够应用本发明。

另外，在以上说明中，说明了在将玻璃膜作为工件的搬运方法以及搬运装置中应用本发明的情况，但也能够在利用自重所带来的搬运力F搬运玻璃膜以外的工件、例如从带状板玻璃切下的单张状的玻璃基板时应用本发明。当然，无需言及也能够在利用玻璃以外的材质形成的片状工件的搬运中应用本发明。

附图标记说明

1 玻璃膜

2 清洗工序

3 干燥工序

4 除电工序

5、7 玻璃辊

6、6′ 卷芯

8 搬运装置

9 树脂制片

10 搬运力施加机构

11 自由辊

12 辅助力施加机构

13 驱动辊

14 自由辊主体

15 支轴

16 部

17 部基体

18 凸部

19 喷嘴

20 连结构件

21 凹部

f 旋转辅助力

F 搬运力