技术总结
本发明公开了一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，机座上竖直升降安装有升降座，升降座上安装有水平基座，水平基座上安装有取料机构，取料机构包括支座，支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座的滑动方向垂直，支座上设置有同步开合机构，第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，第一吸板和第二吸板的相对侧均设置有避让凹口。该自动送取料装置通过第一吸板和第二吸板的开合从光刻版的两侧进入并直接吸附光刻版，第一吸板和第二吸板并不接触版膜，从而避免了版膜的磨损或撕裂。
技术研发人员：丁桃宝
受保护的技术使用者：张家港晋宇达电子科技有限公司
文档号码：201611069313
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.05.17