一种具有在线监测功能的真空设备传动辊的制作方法

本发明涉及真空设备技术领域，特别是涉及一种具有在线监测功能的真空设备传动辊。

背景技术：

真空设备被广泛应用于现代化工业生产，例如物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、气相运输沉积技术和等离子体表面处理技术等工业生产领域。大多数真空设备和其他设备构成自动化或半自动化生产线，真空设备传动辊失效的在线监测对于生产线的正常运行具有重要意义。传动辊是真空设备主要的传动方式之一，其运行状态在线监测尤为重要。

真空设备目前主要通过以下一种或多种方式监测传动辊：1.监测传动辊的动力输入装置(例如电动机等)的工作状态；2.监测传动件(例如同步轮、同步带等)的工作状态；3.监测传动辊输入端连接件(例如磁流体密封传动装置、联轴器等)的工作状态；4.监测真空设备所加工的工件的位置。以上方法均是通过监测传动辊中某个零部件的工作状态或者通过监测真空设备所加工工件的位置判断传动辊工作状态，不能完整地反应整个传动辊的工作状态，可靠性偏低。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种具有在线监测功能的真空设备传动辊，可以监测每一传动辊的工作状态，并及时给出传动辊失效报警，确保对设备及时采取应对措施，避免因故障造成更大损失。

本发明所采用的技术方案是：一种具有在线监测功能的真空设备传动辊，包括驱动装置、真空腔体、至少一组传动辊单元和监测装置；所述传动辊单元转动连接在所述真空腔体内，所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置传动连接，所述传动辊单元的输出端与监测装置连接；

所述传动辊单元包括传动辊、第一磁流体密封传动装置和第二磁流体密封传动装置，所述传动辊的一端通过第一联轴器和第一磁流体密封传动装置的输出轴相接，另一端通过第二联轴器和第二磁流体密封传动装置的输入轴相接。

进一步优化，若干所述传动辊单元平行排列并转动连接在所述真空腔体内，相邻所述传动辊单元之间通过传动件同步转动，其中一个所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置传动连接，每一所述传动辊单元的输出端均与监测装置连接。

进一步优化，所述传动件包括第一同步轮、第二同步轮和同步带，所述第一同步轮和第二同步轮固定连接在所述第一磁流体密封传动装置的输入轴上，所述第一同步轮位于第二同步轮的外侧，相邻的两个所述第一磁流体密封传动装置上的第一同步轮或第二同步轮通过所述同步带传动相接。

进一步优化，所述监测装置包括若干监测单元，每一所述第二磁流体密封传动装置的输出轴均对应连接有所述监测单元。

进一步优化，每一所述监测单元均与报警装置电性连接。

进一步优化，所述驱动装置通过传动带和第一同步轮或第二同步轮传动连接。

本发明的有益效果：本发明通过在真空设备传动辊的每一个传动辊单元的输出端均与监测装置连接，可以直接监测每一传动辊单元的工作状态，当某一传动辊单元发生故障时，监测装置可以准确的监测并发现是哪个传动辊单元发生故障，可以实现快速排查，确保对设备及时采取应对措施，避免因故障造成更大损失。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本发明进一步说明。

图1是本实施例的结构示意图；

图2是驱动装置和传动件的连接示意图。

具体实施方式

如图1和图2所示的具有在线监测功能的真空设备传动辊，包括驱动装置1、真空腔体2、至少一组传动辊单元和监测装置，传动辊单元转动连接在所述真空腔体2内，传动辊单元的输入端和驱动装置1传动连接，传动辊单元的输出端与监测装置连接，传动辊单元在驱动装置的带动下转动，并通过监测装置监测传动辊单元的转速。

传动辊单元包括传动辊41、第一磁流体密封传动装置42和第二磁流体密封传动装置43，传动辊41的一端通过第一联轴器44和第一磁流体密封传动装置42的输出轴相接，另一端通过第二联轴器45和第二磁流体密封传动装置43的输入轴相接。第一磁流体密封传动装置42和第二磁流体密封传动装置43形成的“o型密封圈”达到对真空腔体2的密封效果。同时传动辊41的一端通过第一联轴器44和第一磁流体密封传动装置42的输出轴连接，传动辊41的另一端通过第二联轴器45和第二磁流体密封传动装置43的输入轴相接，使第一磁流体密封传动装置42、传动辊41和第二磁流体密封传动装置43具有相同的转速。

当传动辊单元的数量为多个时，所有的传动辊单元平行排列并转动连接在真空腔体2内，相邻传动辊单元之间通过传动件同步转动，其中一个传动辊单元的输入端和驱动装置1传动连接，每一传动辊单元的输出端和监测装置连接。每一传动辊单元在驱动装置和传动件的带动下同步转动，每一传动辊单元的输出端均与监测装置连接，当某一个传动辊单元出现故障时，监测装置监测到对应的转速和监测装置设置的转速不同，进而判断出是具体的那一传动辊单元出现故障，实现快速排查，确保及时对真空设备的传动辊失效采取应对措施，避免因故障造成更大损失。

传动件包括第一同步轮51、第二同步轮52和同步带53，第一同步轮51和第二同步轮52固定连接在第一磁流体密封传动装置42的输入轴上，第一同步轮51位于第二同步轮52的外侧，相邻的两个第一磁流体密封传动装置42上的第一同步轮51或第二同步轮52通过同步带53相接，使相邻的两个第一磁流体密封传动装置同步转动。

监测装置包括若干监测单元31，每一个第二磁流体密封传动装置43的输出轴均连接有对应的监测单元31，每一个监测单元31均与报警装置6电性连接。当第二磁流体密封传动装置43对应的监测单元31监测到第二磁流体密封传动装置43的转速和监测单元31所设定值不同时，即可判断对应的传动辊单元出现故障，再通过报警器发出警报及时通知管理人员进行处理。

驱动装置1通过传动带7和第一同步轮51或第二同步轮52传动连接。采用传动带7传动的方式可以利用原本设计的第一同步轮51或第二同步轮52可以简化装置的结构，同时传动带传动方式还具有传动平稳的特点。

当然，本发明并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在

本技术：
权利要求所限定的范围内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种具有在线监测功能的真空设备传动辊，包括驱动装置、真空腔体、至少一组传动辊单元和监测装置；所述传动辊单元转动连接在所述真空腔体内，所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置传动连接，所述传动辊单元的输出端与监测装置连接。本发明通过在真空设备传动辊的每一个传动辊单元的输出端均与监测装置连接，可以直接监测每一传动辊单元的工作状态，当某一传动辊单元发生故障时，监测装置可以准确的监测并发现是哪个传动辊单元发生故障，可以实现快速排查，确保对设备及时采取应对措施，避免因故障造成更大损失。本发明应用真空设备技术领域。

技术研发人员：王志海;邝斌;戴春田;陈金良;齐鹏飞;何光俊;赖新暖
受保护的技术使用者：中山瑞科新能源有限公司
技术研发日：2018.07.17
技术公布日：2018.12.14