一种碳化硅晶圆无尘存放装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆生产设备领域，特别涉及一种碳化硅晶圆无尘存放装置。


背景技术：

2.在晶圆的生产过程中，不可避免地需要将晶圆进行存放，通常的做法为直接将晶圆防止在存放架上，存放架裸露在空气中，容易导致晶圆表面积累灰尘，影响后续的生产。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种可对晶圆进行除尘输送、无尘存放的碳化硅晶圆无尘存放装置。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：
5.一种碳化硅晶圆无尘存放装置，包括第一输送带及存放室，所述第一输送带的上方设有毛刷辊及吹气管，所述存放室内设有第一升降输送装置及存放架，存放室设有进入口，第一输送带通过所述进入口与所述第一升降输送装置的一端连接，第一升降输送装置的另一端与所述存放架的一端连接，存放架设有若干个存放腔，升降输送装置可升降与所述存放腔连接。
6.本实用新型的进一步改进，所述存放腔远离所述升降输送装置的一端设有可开闭的输送门。
7.本实用新型的进一步改进，所述存放室内设有第二升降输送装置，所述第二升降输送装置设于所述存放架的另一端，所述存放腔内设有第二输送带，所述第二输送带的两端可分别与第一升降输送装置与第二升降输送装置连接。
8.本实用新型的进一步改进，所述存放室内设有第三输送带，所述第三输送带的一端与所述第二升降输送装置连接，存放室设有输送口，第三输送带的另一端通过所述输送口。
9.本实用新型的进一步改进，所述升降输送装置包括机架、升降输送带及配重块，所述升降输送带设于所述机架内，所述配重块设于机架的一侧，机架的顶部设有电机，所述电机通过减速箱与转动轴传动连接，所述转动轴的两端设有链轮，所述链轮设有链条，所述链条的两端分别与升降输送带及配重块固定连接。
10.本实用新型的进一步改进，所述存放室的侧壁上设有正压风机，所述正压风机的进风口处设有过滤网。
11.本实用新型的进一步改进，所述过滤网为电子滤网。
12.采用上述技术方案，存放架设于正压的存放室内，可有效防尘，升降输送带将晶圆输送进存放架存放，存放架设有若干个存放腔，升降输送装置可升降与存放腔连接，实现晶圆的自动输送存放，存放腔远离升降输送装置的一端设有可开闭的输送门，操作员可通过打开输送门拿取晶圆；此外，可通过第二输送带将晶圆输送至第二升降输送装置，实现自动化提取。
附图说明
13.图1为实施例一的结构示意图；
14.图2为实施例二的结构示意图；
15.图中标示：1、第一输送带；2、存放室；3、毛刷辊；4、吹气管；5、存放架；6、进入口；7、存放腔；8、输送门；9、第二升降输送装置；10、第二输送带；11、第三输送带；12、输送口；13、机架；14、升降输送带；15、减速箱；16、转动轴；17、链轮；18、链条；19、配重块；20、正压风机。
具体实施方式
16.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
17.如图1所示，本实用新型的实施例一，一种碳化硅晶圆无尘存放装置，包括第一输送带1及存放室2，第一输送带1的上方设有毛刷辊3及吹气管4，晶圆放置在第一输送带1上，经过毛刷辊3及吹气管4的清扫吹气，确保晶圆表面无尘再输送进存放室2进行存放，存放室2的侧壁上设有正压风机20，正压风机20将外界空气抽进存放室2内，使得存放室2内的压力大于外界压力，从而形成正压室，存放室2内的空气往外界输送，可防止尘埃进入存放室2内，实现无尘存放的环境，正压风机20的进风口处设有过滤网，必须对外界空气进行过滤才能确保存放室2内的无尘条件，过滤网为电子滤网，电子滤网工作时释放电流，从而产生阳离子与阴离子，阳离子与阴离子吸附空气中的尘埃实现过滤的功能，电子滤网与传统滤网对比，过滤效果好，使用时间长，便于清洁。
18.存放室2内设有第一升降输送装置及存放架5，第一升降输送装置包括机架13、升降输送带14及配重块19，升降输送带14设于机架13内，配重块19设于机架13的一侧，机架13的顶部设有电机，电机通过减速箱15与转动轴16传动连接，转动轴16的两端设有链轮17，链轮17设有链条18，升降输送带14的两端设有连接升降输送带14两侧的支架，链条18的两端分别与升降输送带14的支架及配重块19固定连接，实现电机驱动升降输送带14的稳定升降，存放室2设有进入口6，第一输送带1通过进入口6与第一升降输送装置的一端连接(升降输送带14处于最下方时)，升降输送带14侧部设有驱动电机，升降输送带14将晶圆输送进存放架5存放，第一升降输送装置的另一端与存放架5的一端连接，存放架5设有若干个存放腔7，升降输送装置可升降与存放腔7连接，实现晶圆的自动输送存放，存放腔7远离升降输送装置的一端设有可开闭的输送门8，操作员可通过打开输送门8拿取晶圆。
19.如图2所示本实用新型的实施例二，与实施例一不同的是，存放室2内设有第二升降输送装置9，第二升降输送装置9设于存放架5的另一端，存放腔7内设有第二输送带10，第二输送带10的两端可分别与第一升降输送装置与第二升降输送装置9连接，第一输送装置将晶圆输送至第二输送带10，实现存放，提取时第二输送带10将晶圆输送至第二升降输送装置9，实现自动化提取，存放室2内设有第三输送带11，第三输送带11的一端与第二升降输送装置9连接(处于最下方时)，存放室2设有输送口12，第三输送带11的另一端通过输送口12，晶圆最终从输送口12输送至存放室2外。
20.以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描
述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。