技术特征：
1.一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，包括支撑机构(1)、运送机构(2)、夹持机构(3)与输出机构(4)，所述支撑机构(1)的顶部设置有运送机构(2)，所述支撑机构(1)的外表面设置有夹持机构(3)，所述支撑机构(1)的顶部设置有输出机构(4)；所述夹持机构(3)包括旋转箱(301)，所述旋转箱(301)的内壁设置有第一电动推杆(302)，所述第一电动推杆(302)的右侧设置有活动杆(307)，所述活动杆(307)的前后两侧均设置有连接杆(304)，第一电动推杆(302)的右侧设置有数量为两个的滑套(303)，两个所述连接杆(304)的右侧均设置有支杆(305)，两个所述支杆(305)的右侧均设置有夹块(306)。2.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述支撑机构(1)包括箱体(101)，所述箱体(101)内部设置有加热组件(102)。3.根据权利要求2所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述加热组件(102)的外表面设置有温度控制器(103)，所述温度控制器(103)贯穿并延伸至箱体(101)的外部。4.根据权利要求3所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述箱体(101)的顶部设置有电动滑轨(204)，所述电动滑轨(204)的顶部设置有运送机构(2)。5.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述运送机构(2)包括第二电动推杆(201)，所述第二电动推杆(201)的底部设置有夹持组件(202)。6.根据权利要求4所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述箱体(101)的内底壁设置有升降组件(203)，所述夹块(306)与升降组件(203)为活动连接。7.根据权利要求6所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，两个所述连接杆(304)设置在滑套(303)的内部，所述夹块(306)贯穿并延伸至箱体(101)的外部。8.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述输出机构(4)包括轴承(401)，所述轴承(401)设置在输出机构(4)的前后两侧。9.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述支撑机构(1)的顶部设置有数量为两个的支撑柱(402)，两个所述支撑柱(402)的相对一侧设置有转动轮(403)。10.根据权利要求9所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述输出机构(4)与转动轮(403)的外表面设置有传送带(404)，两个所述轴承(401)的相背一侧均设置在箱体(101)的内壁。
技术总结
本实用新型涉及一种温度可控的靶材加工加热装置，包括支撑机构、运送机构、夹持机构与输出机构，所述支撑机构的顶部设置有运送机构，所述支撑机构的外表面设置有夹持机构，所述支撑机构的顶部设置有输出机构，所述夹持机构包括旋转箱，所述旋转箱的内壁设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的右侧设置有活动杆，所述活动杆的前后两侧均设置有连接杆，第一电动推杆的右侧设置有数量为两个的滑套，两个所述连接杆的右侧均设置有支杆，两个所述支杆的右侧均设置有夹块，所述支撑机构包括箱体。该温度可控的靶材加工加热装置，通过连接杆的外表面设置有滑套，能够使连接杆带动夹块作相对运动，从而能够对靶材进行夹持。从而能够对靶材进行夹持。从而能够对靶材进行夹持。
技术研发人员：林农
受保护的技术使用者：江苏维德新材料有限公司
技术研发日：2021.06.09
技术公布日：2022/1/14