一种温度可控的靶材加工加热装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种温度可控的靶材加工加热装置。


背景技术：

2.靶材主要由靶坯、背板等部分组成:其中，靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
3.目前市场上现有的靶材加热装置主要针对功能性等方面进行改进，其具有温度可控等多功能性的优点，但该靶材加热装置在实际使用过程中不方便对靶材夹持旋转均匀受热，故而提出一种温度可控的靶材加工加热装置来解决上述所提出的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型针对现有技术中存在的技术问题，提供一种温度可控的靶材加工加热装置，解决了目前市场上现有的靶材加热装置在实际使用过程中不方便对靶材夹持旋转均匀受热的问题。
5.本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种温度可控的靶材加工加热装置，包括支撑机构、运送机构、夹持机构与输出机构，所述支撑机构的顶部设置有运送机构，所述支撑机构的外表面设置有夹持机构，所述支撑机构的顶部设置有输出机构，所述夹持机构包括旋转箱，所述旋转箱的内壁设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的右侧设置有活动杆，所述活动杆的前后两侧均设置有连接杆，第一电动推杆的右侧设置有数量为两个的滑套，两个所述连接杆的右侧均设置有支杆，两个所述支杆的右侧均设置有夹块。
6.在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
7.进一步，所述支撑机构包括箱体，所述箱体内部设置有加热组件。
8.进一步，所述加热组件的外表面设置有温度控制器，所述温度控制器贯穿并延伸至箱体的外部。
9.进一步，所述箱体的顶部设置有电动滑轨，所述电动滑轨的顶部设置有运送机构。
10.进一步，所述运送机构包括第二电动推杆，所述第二电动推杆的底部设置有夹持组件。
11.进一步所述箱体的内底壁设置有升降组件，所述夹块与升降组件为活动连接。
12.进一步，两个所述连接杆设置在滑套的内部，所述夹块贯穿并延伸至箱体的外部。
13.进一步，所述输出机构包括轴承，所述轴承设置在输出机构的前后两侧。
14.进一步，所述支撑机构的顶部设置有数量为两个的支撑柱，两个所述支撑柱的相对一侧设置有转动轮。
15.进一步，所述输出机构与转动轮的外表面设置有传送带，两个所述轴承的相背一侧均设置在箱体的内壁。
16.与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下有益技术效果：
17.1、该温度可控的靶材加工加热装置，通过连接杆的外表面设置有滑套，能够使连
接杆带动夹块作相对运动，从而能够对靶材进行夹持。
18.2、该温度可控的靶材加工加热装置，通过电动滑轨的顶部设置有第二电动推杆，能够将靶材放置在传送带上，从而达到了便于运输靶材的效果。
附图说明
19.图1为本实用新型剖视图；
20.图2为本实用新型旋转箱的结构俯视剖视图；
21.图3为本实用新型传送带的结构俯视图。
22.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
23.1、支撑机构，101、箱体，102、加热组件，103、温度控制器，2、运送机构，201、第二电动推杆，202、夹持组件，203、升降组件，204、电动滑轨，3、夹持机构，301、旋转箱，302、第一电动推杆，303、滑套，304、连接杆，305、支杆，306、夹块，307、活动杆，4、输出机构，401、轴承，402、支撑柱，403、转动轮，404、传送带。
具体实施方式
24.以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
25.请参阅图1和图2，本实施例中的一种温度可控的靶材加工加热装置，包括支撑机构1、运送机构2、夹持机构3与输出机构4，支撑机构1的顶部活动连接有运送机构2，支撑机构1的外表面活动连接有夹持机构3，支撑机构1的顶部活动连接有输出机构4，夹持机构3包括旋转箱301，能够使夹持机构3带动旋转箱301转动，旋转箱301的内壁固定连接有第一电动推杆302，第一电动推杆302的右侧固定连接有活动杆307，能够使第一电动推杆302推动活动杆307进行左右移动，活动杆307的前后两侧均活动连接有连接杆304，第一电动推杆302的右侧固定连接有数量为两个的滑套303，能够使连接杆304在滑套303内进行抽动，两个连接杆304的右侧均活动连接有支杆305，两个支杆305的右侧均固定连接有夹块306，能够使夹块306随着连接杆304的抽动进行左右移动，两个连接杆304活动连接在滑套303的内部，夹块306贯穿并延伸至箱体101的外部，通过启动第一电动推杆302推动活动杆307，因活动杆307与连接杆304为活动连接，连接杆304与滑套303为活动连接，能够使连接杆304被带动着在滑套303内进行移动，又因连接杆304与支杆305为固定连接，能够使支杆305随着连接杆304的移动而进行左右移动，从而能够使两个夹块306逐渐靠近，能够对靶材进行夹持，启动夹持机构3，能够对旋转箱301进行转动，从而能够使夹块306带动靶材进行转动，达到了便于受热均匀的效果。
26.本实施例中的第一电动推杆302能够带动夹块306对靶材进行夹持。
27.需要说明的是，连接杆304由两段稳固杆组成，两段稳固杆为活动连接。
28.请参阅图1，支撑机构1包括箱体101，箱体101内部固定连接有加热组件102，能够对箱体101内进行加热，加热组件102的外表面固定连接有温度控制器103，能够对箱体101内部的温度进行把控，温度控制器103贯穿并延伸至箱体101的外部，箱体101的顶部固定连接有电动滑轨204，电动滑轨204的顶部活动连接有运送机构2，能够对运送机构2进行左右移动，运送机构2包括第二电动推杆201，第二电动推杆201的底部固定连接有夹持组件202，
能够对加热后的靶材进行夹持并放置在传送带404上，箱体101的内底壁固定连接有升降组件203，夹块306与升降组件203为活动连接，。
29.本实施例中的第二电动推杆201能够带动夹持组件202对靶材进行夹持。
30.需要说明的是，第二电动推杆201的外表面固定连接有支撑滑块，支撑滑块与电动滑轨204为活动连接。
31.请参阅图1和图3，输出机构4包括轴承401，轴承401活动连接在输出机构4的前后两侧，能够对输出机构4进行支撑，支撑机构1的顶部固定连接有数量为两个的支撑柱402，两个支撑柱402的相对一侧活动连接有转动轮403，利用支撑柱402能够对转动轮403进行支撑，输出机构4与转动轮403的外表面活动连接有传送带404，能够将靶材运输至箱体101的外部，两个轴承401的相背一侧均固定连接在箱体101的内壁。
32.本实施例中的传送带404能够将靶材自动运输至箱体101的外部。
33.需要说明的是，输出机构4与箱体101为电连接。
34.上述实施例的工作原理为：通过启动夹持机构3，能够带动旋转箱301进行转动，启动第一电动推杆302，能够向右推动活动杆307，因活动杆307与连接杆304为活动连接，能够使连接杆304随之被带动向右移动，又因连接杆304的右侧活动连接有支杆305，当两个连接杆304呈相对方向运动，使支杆305会随之做相对运动，从而使两个支杆305逐渐靠近，又因夹块306与靶材为活动连接，从而达到了将靶材进行夹持并旋转的效果，起到了受热均匀的作用，通过第二电动推杆201与电动滑轨204为活动连接，能够打动第二电动推杆201进行左右移动，当夹持组件202夹住加热后的靶材时，电动滑轨204能够带动第二电动推杆201向右移动，从而能够将靶材放置在传送带404上，因输出机构4与箱体101为电连接，能够启动传送带404进行转动，从而达到了便于自动运输靶材的效果。
35.需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
36.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。