一种高纯水氮封装置的制作方法

1.本实用新型属于纯水存储领域，尤其是涉及一种高纯水氮封装置。


背景技术：

2.在现有技术中高纯水均有绝缘的特点常用于洗清半导体元器件。在使用中纯水箱中电阻率较低的纯水经edi(连续电去离子装置)转化后形成高纯水, 并将高纯水输入存满氮气的高纯水氮封水箱进行存储，利用氮气的隔绝作用实现高纯水与空气、二氧化碳杂质隔离，确保高纯水始终保持较高的电阻率。现有的高纯水氮封水箱包括水箱、进水管出水管以及用于氮气流通的供气管排气管，进水管上设有开关型阀门,水箱内设有测量水位的压力感应器，在使用时，压力感应器被设置在一个正常水位范围内,当水箱内的水位低于正常水位范围的最低值时阀门打开经edi处理的高纯水流入水箱中,当水位回复至正常水位范围的最高值时，阀门关闭经edi处理的高纯水通过分叉管路回流至纯水水箱，这种结构的高纯水氯封水箱存在以下缺陷:当高纯水氮封水箱内的水位降低时水箱上部的空间变大，此时需要通过进气管输入氮气确保高纯水的高绝缘性,当水位低于正常水位范围的最低值时，阀门打开高纯水被灌入水箱中此时由于水位上升,水箱上部空间逐渐变小氮气体积压缩并通过排气管排入空气中造成氮气浪费，提高了使用成本。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型旨在提出一种高纯水氮封装置，以辅助氮气储存装置解决氮气在纯水水位上升，氮气排出到空气中造成浪费、提高生产成本的问题。
4.为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
5.一种高纯水氮封装置，包括纯水罐、辅助氮气储存装置，所述纯水罐上设置有氮气输入口和氮气输出口，所述纯水罐的氮气输入口通过三通阀连接有分支管路一，所述分支管路一另一端与辅助氮气储存装置的出气接口连通，所述分支管路一上设置控制阀二；纯水罐的氮气输出口设置有输出管路一所述输出管路一另一端与辅助氮气储存装置进气接口连通，所述输出管路一上设置控制阀一；
6.所述辅助氮气储存装置包括上端开口的储存筒、与储存筒内壁配合设置的活塞，所述活塞沿储存筒轴线方向滑动，所述进气接口与出气接口均设置于储存筒侧壁上，并均与储存筒内底面和活塞之间的空间导通。
7.进一步的，所述储存筒上端开口处固设有筒盖，所述活塞中部垂直设置有导向杆，所述筒盖对应导向杆设置有导向孔；所述筒盖还固设有气缸，所述气缸活塞杆端部与活塞抵接。
8.进一步的，所述储存筒为上端面开口的柱形筒，所述活塞包括圆板、套在圆板外侧的橡胶套，所述橡胶套贴合覆盖圆板的底面和侧面，所述橡胶套的上端向圆板内侧延伸形成环形圈。
9.进一步的，所述橡胶套外侧面与储存筒内壁贴合，所述橡胶套下表面临近外缘设
置有环槽一，所述环槽一外侧立壁自上向下逐渐向储存筒侧壁倾斜；所述橡胶套上表面临近外缘设置有环槽二，所述环槽二外侧立壁自下向上逐渐向储存筒侧壁倾斜。
10.进一步的，所述橡胶套上侧的环形圈下表面与圆板贴合，且环形圈与圆板上表面通过螺钉固定。
11.进一步的，所述圆板上表面平行设置有圆环，所述圆环轴线与导向杆同轴，所述圆环周圈等距固设有多个竖杆，多个竖杆远离圆环一端与圆板上表面固接，所述圆环对应竖杆垂直固设横杆，所述横杆另一端与导向杆固接；
12.所述气缸对称设置有两个，两个气缸的气缸活塞杆端部均与圆环抵接。
13.进一步的，所述圆环上侧垂直固接长圆杆，所述筒盖对应长圆杆固设圆柱筒，所述圆柱筒侧壁设置长条孔，所述长圆杆直径小于圆柱筒内径；
14.所述圆柱筒下端开口，所述筒盖对应圆柱筒的开口设置圆孔，所述圆柱筒远离筒盖一端封闭。
15.相对于现有技术，本实用新型所述的一种高纯水氮封装置具有以下有益效果：
16.(1)本实用新型所述的辅助氮气储存装置在纯水罐体上部的氮气溢出时进行氮气收集，在纯水罐内需要氮气时，通过活塞与储存筒的配合将之前收集的氮气通入纯水罐中进行使用，减少氮气浪费，减少生产成本。
17.(2)本实用新型所述辅助氮气储存装置存储溢出的氮气时，气体会冲入环槽一中，所述环槽一的外侧立壁自上向下逐渐向储存筒侧壁倾斜，辅助气体进入环槽一中，压迫环槽一的外侧立壁紧紧的贴合到储存筒上，减少氮气泄漏。
附图说明
18.构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
19.图1为本实用新型实施例所述的一种高纯水氮封装置示意图；
20.图2为本实用新型实施例所述的辅助氮气储存装置剖视示意图；
21.图3为本实用新型实施例所述的储存筒内部部件结构示意图。
22.附图标记说明：
[0023]1‑
纯水罐；11
‑
氮气输入口；12
‑
氮气输出口；2
‑
辅助氮气储存装置；21
‑ꢀ
分支管路一；22
‑
输出管路一；23
‑
出气接口；24
‑
进气接口；25
‑
储存筒；26
‑ꢀ
活塞；261
‑
圆板；262
‑
橡胶套；263
‑
环形圈；264
‑
环槽一；265
‑
环槽二；27
‑ꢀ
筒盖；271
‑
圆柱筒；272
‑
长条孔；28
‑
导向杆；281
‑
圆环；282
‑
竖杆；283
‑ꢀ
横杆；284
‑
长圆杆；29
‑
气缸。
具体实施方式
[0024]
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0025]
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示
或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0026]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0027]
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0028]
如图1
‑
图3所示，一种高纯水氮封装置，包括纯水罐1、辅助氮气储存装置2，所述纯水罐1上设置有氮气输入口11和氮气输出口12，所述纯水罐1的氮气输入口11通过三通阀连接有分支管路一21，所述分支管路一21另一端与辅助氮气储存装置2的出气接口23连通，所述分支管路一上设置控制阀二；纯水罐1的氮气输出口12设置有输出管路一22所述输出管路一另一端与辅助氮气储存装置2进气接口24连通，所述输出管路一上设置控制阀一；
[0029]
所述辅助氮气储存装置2包括上端开口的储存筒25、与储存筒25内壁配合设置的活塞26，所述活塞26沿储存筒25轴线方向滑动，所述进气接口 24与出气接口23均设置于储存筒25侧壁上，并均与储存筒25内底面和活塞26之间的空间导通。
[0030]
所述三通阀还连接有分支管路二，所述分支管路二与现有的用于向纯水罐1注入氮气的氮气储存装置连通，现有的氮气储存装置可为氮气罐。
[0031]
氮气罐向纯水罐1中注入氮气后，在向纯水罐1中注入纯水，纯水逐渐向纯水罐1中灌注的过程中，氮气从氮气输出口12溢出，并向储存筒25的进气接口24中注入储存筒25中，活塞26向储存筒25开口端移动，弹性增加氮气储存空间，当再一次需要向纯水中注入氮气时，推动活塞26，即可将氮气在依次注入纯水罐1中，减少氮气浪费。
[0032]
如图1
‑
图3所示，所述储存筒25上端开口处固设有筒盖27，所述活塞 26中部垂直设置有导向杆28，所述筒盖27对应导向杆28设置有导向孔；所述筒盖27还固设有气缸29，所述气缸活塞杆端部与活塞26抵接。
[0033]
在气缸29需要将气缸29内储存的氮气压入氮气缸29时，气缸29驱动气缸活塞杆推动活塞26向储存筒25底面一侧移动。在纯水罐1中的氮气溢出的时候，气缸29泄气，不向活塞26提供压力，溢出的氮气将活塞26向储存筒25开口一端移动。
[0034]
如图1
‑
图3所示，所述储存筒25为上端面开口的柱形筒，所述活塞26 包括圆板261、套在圆板261外侧的橡胶套262，所述橡胶套262贴合覆盖圆板261的底面和侧面，所述橡胶套262的上端向圆板261内侧延伸形成环形圈263。
[0035]
如图1
‑
图3所示，所述橡胶套262外侧面与储存筒25内壁贴合，所述橡胶套262下表面临近外缘设置有环槽一264，所述环槽一264外侧立壁自上向下逐渐向储存筒25侧壁倾斜；所述橡胶套262上表面临近外缘设置有环槽二265，所述环槽二265外侧立壁自下向上逐渐向储存筒25侧壁倾斜。
[0036]
当多出的氮气向辅助氮气储存装置2中储存时，气体会冲入环槽一264中，所述环
槽一264的外侧立壁自上向下逐渐向储存筒25侧壁倾斜，辅助气体进入环槽一264中，压迫环槽一264的外侧立壁紧紧的贴合到储存筒25 上，减少氮气泄漏，同时，环槽二265与环槽一264原理相同，也会阻止外界气体进入。
[0037]
如图1
‑
图3所示，所述橡胶套262上侧的环形圈263下表面与圆板261 贴合，且环形圈263与圆板261上表面通过螺钉固定。
[0038]
如图1
‑
图3所示，所述圆板261上表面平行设置有圆环281，所述圆环 281轴线与导向杆28同轴，所述圆环281周圈等距固设有多个竖杆282，多个竖杆282远离圆环281一端与圆板261上表面固接，所述圆环281对应竖杆282垂直固设横杆283，所述横杆283另一端与导向杆28固接；
[0039]
所述气缸29对称设置有两个，两个气缸29的气缸活塞杆端部均与圆环 281抵接。
[0040]
设置圆环281，圆环281内侧设置横杆283与导向柱固接，圆环281下侧设置竖杆282与圆板261固接，整个结构保证活塞26推动的稳定性。
[0041]
如图1
‑
图3所示，所述圆环281上侧垂直固接长圆杆284，所述筒盖27 对应长圆杆284固设圆柱筒271，所述圆柱筒271侧壁设置长条孔272，所述长圆杆284直径小于圆柱筒271内径；
[0042]
所述圆柱筒271下端开口，所述筒盖27对应圆柱筒271的开口设置圆孔，所述圆柱筒271远离筒盖27一端封闭。
[0043]
通过长条孔可以观察到长圆杆284上端的位置，从而了解活塞26沿圆柱筒上下移动的位置，长圆杆284在活塞26带动移动到最上端及最下端，分别对应长条孔设置标记。长圆杆284向上移动到最上端不会触碰到圆柱筒的上底面。
[0044]
所述输出管路一上设置的控制阀一和分支管路一设置的控制阀二，均可为手动控制，气缸为手动按钮控制，观察纯水罐的压力传感器；
[0045]
所述气缸控制阀一和控制阀二也均可根据纯水罐内现有的氮气压力感应感应到的压力数据，选择电磁阀控制；所述压力传感器和控制阀一、控制阀二、气缸均与控制模块连接，所述控制模块为现有的plc控制技术；
[0046]
初始状态，辅助氮气储存装置中活塞处于活塞上下移动的最低位置，气缸处于泄压状态，设置压力传感器的界限值，当大于界限值，纯水罐内氮气较多需要溢出时，即可开启控制阀一，向辅助氮气储存装置内注入氮气，活塞不断冲入的氮气推动下，向上移动；当压力传感器低于界限值，纯水罐内氮气较少，需要氮气补充，控制阀一关闭，控制阀二开启，同时驱动气缸活塞杆推动活塞向下移动，向纯水罐内补充气体，补充完氮气后，控制阀二关闭，气缸泄压等待下一次氮气溢出。
[0047]
当补充的氮气仍然不够时，还可通过分支管路二连接现有的氮气罐向纯水罐中注入氮气。
[0048]
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。