一种平面靶材快速冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材冷却技术领域，具体为一种平面靶材快速冷却装置。


背景技术：

2.圆形平面靶材在加工过程中，需要对靶材料升温至230℃～360℃，以达到绑定层的熔点，保持绑定层材料流动性，从而完成基片和背板之间的绑定结合，然后对绑定靶材进行冷却，才能进入下一道工序；
3.现有技术中通常采用自然冷却的方式进行降温，这样不仅冷却用时较长，而且冷却后还需要工作人员收集送至下一工序加工处。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种平面靶材快速冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平面靶材快速冷却装置，包括底座，所述底座两侧设有安装板，两侧所述安装板之间设有主动转轴和从动转轴，所述主动转轴和从动转轴分别位于安装板的两端，所述主动转轴的两边设有主动转轮，所述从动转轴的两边设有从动转轮，所述主动转轮与从动转轮之间套有输送链板，所述输送链板上设有多个放置组件，每侧所述安装板的上端均设有支撑板，所述支撑板上设有多个圆形散热风口，两侧所述支撑板的上方设有顶板，所述顶板的下端面上设有蛇形冷水管。
6.优选的，所述主动转轴的一端通过传动带连接着旋转电机，所述旋转电机设置于底座内。
7.优选的，所述放置组件包括放置块，所述放置块的中间设有开口，所述放置块的两侧设有限位块，所述限位块的上设有弧形面。
8.优选的，所述圆形散热风口上设有散热风扇6，所述散热风扇6连接防尘散热罩，所述防尘散热罩固定于支撑板上。
9.优选的，所述蛇形冷水管的进水口连接着冷却水箱的出水口，所述蛇形冷水管的排水口连接着冷却水箱的入水口。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，通过输送连板可带动放置组件上的靶材进行传输，从而使靶材在一边传送的过程中，一边利用蛇形冷水管和散热风扇进行冷却，不仅能够大大缩短冷却时间，提高冷却效果，还能够将已冷却的靶材直接传送至下一工序，大大节省了人力。
附图说明
11.图1为本实用新型整体结构示意图；
12.图2为本实用新型输送链轮结构俯视示意图；
13.图3为本实用新型放置靶材后的放置组件示意图；
14.图4为本实用新型散热风扇结构俯视示意图；
15.图5为本实用新型蛇形冷却管结构示意图。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种平面靶材快速冷却装置，包括底座1，所述底座1两侧设有安装板11，两侧所述安装板11之间设有主动转轴2和从动转轴3，所述主动转轴2和从动转轴3分别位于安装板11的两端，所述主动转轴2的一端通过传动带连接着旋转电机22，所述旋转电机22设置于底座1外侧，通过旋转电机可带动主动转轴进行旋转，从而使所述主动转轴2的两边设的主动转轮21一起进行转动，另外，所述从动转轴3的两边设有从动转轮31，通过在所述主动转轮21与从动转轮31之间套接输送链板32进行传动，继而当主动转轮进行转动时，输送链板再配合从动转轮，即可进行传输运动，所述输送链板32上设有多个放置组件4用于放置靶材，每侧所述安装板11的上端均设有支撑板12，所述支撑板12上设有多个圆形散热风口121，用于通风散热，两侧所述支撑板12的上方设有顶板13，所述顶板13的下端面上设有蛇形冷水管5，用于输送冷却水，利用不断流动的冷却水来对整个装置内部进行散热。
18.本实施例中，所述放置组件4包括放置块41，用于放置靶材，将靶材卡在所述放置块41的中间设置的开口411内，此时靶材的两边与所述放置块41的两侧设有限位块42上的弧形面421相贴合，从而将靶材的两边进行限位支撑，确保靶材输送时的稳定性。
19.本实施例中，所述圆形散热风口121上安装有散热风扇6，通过安装的散热风扇提高散热效率，所述散热风扇6连接防尘散热罩61，所述防尘散热罩61固定于支撑板上，不仅能够通风散热，同时还能防止灰尘粘在散热风扇上。
20.本实施例中，所述蛇形冷水管5的进水口51连接着冷却水箱7的出水口71，冷却水箱里的冷却水从进水口进入蛇形冷水管中，冷却水在游走的过程中，对冷却装置内部提供冷气，冷却后的水会从所述蛇形冷水管5的排水口52排出，再由冷却水箱7的入水口72再次进入冷却水箱，从而实现循环利用。
21.工作原理：将靶材放置于输送链板上的放置组件上，在输送链板的传输下会经过蛇形冷却水管和散热风扇处，通过水冷配合风冷，可快速对靶材进行冷却，冷却后的靶材会被输送链板输送至下一工序处。
22.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种平面靶材快速冷却装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）两侧设有安装板（11），两侧所述安装板（11）之间设有主动转轴（2）和从动转轴（3），所述主动转轴（2）和从动转轴（3）分别位于安装板（11）的两端，所述主动转轴（2）的两边设有主动转轮（21），所述从动转轴（3）的两边设有从动转轮（31），所述主动转轮（21）与从动转轮（31）之间套有输送链板（32），所述输送链板（32）上设有多个放置组件（4），每侧所述安装板（11）的上端均设有支撑板（12），所述支撑板（12）上设有多个圆形散热风口（121），两侧所述支撑板（12）的上方设有顶板（13），所述顶板（13）的下端面上设有蛇形冷水管（5）。2.根据权利要求1所述的一种平面靶材快速冷却装置，其特征在于：所述主动转轴（2）的一端通过传动带连接着旋转电机（22），所述旋转电机（22）设置于底座（1）外侧。3.根据权利要求1所述的一种平面靶材快速冷却装置，其特征在于：所述放置组件（4）包括放置块（41），所述放置块（41）的中间设有开口（411），所述放置块（41）的两侧设有限位块（42），所述限位块（42）的上设有弧形面（421）。4.根据权利要求1所述的一种平面靶材快速冷却装置，其特征在于：所述圆形散热风口（121）上设有散热风扇（6），所述散热风扇（6）连接防尘散热罩（61），所述防尘散热罩（61）固定于支撑板上。5.根据权利要求1所述的一种平面靶材快速冷却装置，其特征在于：所述蛇形冷水管（5）的进水口（51）连接着冷却水箱（7）的出水口（71），所述蛇形冷水管（5）的排水口（52）连接着冷却水箱（7）的入水口（72）。

技术总结
本实用新型公开了一种平面靶材快速冷却装置，包括底座，底座两侧设有安装板，两侧安装板之间设有主动转轴和从动转轴，主动转轴的两边设有主动转轮，从动转轴的两边设有从动转轮，主动转轮与从动转轮之间套有输送链板，输送链板上设有多个放置组件，每侧安装板的上端均设有支撑板，支撑板上设有多个圆形散热风口，两侧支撑板的上方设有顶板，顶板的下端面上设有蛇形冷水管；本实用新型结构简单，设计新颖，通过输送连板可带动放置组件上的靶材进行传输，从而使靶材在一边传送的过程中，一边利用蛇形冷水管和散热风扇进行冷却，不仅能够大大缩短冷却时间，提高冷却效果，还能够将已冷却的靶材直接传送至下一工序，大大节省了人力。力。力。


技术研发人员：常代展 王雷
受保护的技术使用者：江苏海泰新材料科技有限公司
技术研发日：2021.12.17
技术公布日：2022/6/20