卷至卷膜处理系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种卷至卷膜处理系统，并且更具体地涉及这样一种卷至卷膜处理系统，其中待被处理的对象膜在被保持在缓冲状态时被供应并且已处理的对象膜在被保持在缓冲状态时被卷绕。
【背景技术】
[0002]卷至卷是下一代处理技术，其已被不断传播并且被引入新近生产线中，其不仅提高产量和生产率而且降低制造成本以增强产品竞争力。
[0003]常规的利用卷至卷技术的膜处理系统包括用于退绕和供应对象膜的退绕装置，用于向从退绕装置供应的对象膜施加处理的处理施加装置，以及用于重绕由处理施加装置处理的对象膜的重绕装置。
[0004]布置在退绕装置和重绕装置之间的对象膜保持张紧。因此，退绕装置和重绕装置被驱动使得对象膜能保持张紧。
[0005]然而，这样的常规的系统导致以下问题，即，在用于卷绕对象膜的重绕装置的速度快于用于退绕对象膜的退绕装置的速度时对象膜可能被撕破或松开。
【发明内容】
[0006]因此，本发明被构思用来解决上述问题，并且本发明的一方面在于提供一种卷至卷膜处理系统，其中待被处理的对象膜在被保持在缓冲状态时被供应并且已处理的对象膜在被保持在缓冲状态时被卷绕。
[0007]根据本发明的方面，提供了一种卷至卷膜处理系统，该系统包括:退绕装置，该退绕装置退绕和供应连同保护膜一起卷绕的对象膜；处理施加装置，该处理施加装置向从所述退绕装置供应的所述对象膜施加处理；以及重绕装置，该重绕装置将所述保护膜附着并卷绕到由所述处理施加装置处理的所述对象膜上，所述退绕装置包括:退绕辊，附着有所述保护膜的所述对象膜绕所述退绕辊卷绕，并且所述退绕辊通过旋转力退绕和供应附着有所述保护膜的所述对象膜；上导辊和下导辊，所述上导辊和下导辊放置在所述退绕辊前方并且沿竖直方向彼此间隔开；保护膜回收辊，该保护膜回收辊放置在所述上导辊和下导辊的后上方并且通过旋转力卷绕在所述上导辊和下导辊之间通过的所述保护膜；以及进料辊，该进料辊通过旋转力向所述处理施加装置供给在所述上导辊和下导辊之间通过时从该保护膜分离的所述对象膜，并且在所述进料辊与所述上导辊和下导辊之间通过的所述对象膜保持在缓冲状态而没有保持张紧。
[0008]所述处理施加装置可以包括多个室，所述多个室分别接连地连接以接连地执行多个处理，以及放置在每个室下方并且承载所述对象膜的滚动承载辊。
[0009]所述重绕装置可以包括导杆，该导杆引导完全由所述处理施加装置处理的所述对象膜以面向下；吸附辊，该吸附辊通过旋转力提升和承载被引导为面向下并且处于缓冲状态的所述对象膜；张紧维持辊，该张紧维持辊放置在所述吸附辊的前方并且保持所述对象膜的张紧；以及重绕辊，该重绕辊放置在所述张紧维持辊下方并且在使所述对象膜保持张紧的同时卷绕所述对象膜。
[0010]所述重绕装置还可以包括保护膜提供辊，该保护膜提供辊放置在所述重绕辊上方并且提供所述保护膜，使得所述对象膜和所述保护膜一起能绕所述重绕辊被卷绕。
[0011]所述张紧保持辊、所述重绕辊和所述保护膜提供辊均可以包括联接至水平移动体的一端，并且对准传感器可以与所述张紧保持辊的后方相邻并且安装在该后方中并且感测所述对象膜的边缘部处的对准状态。
[0012]用于校正所述对象膜的位置的校正辊可以设置在所述吸附辊和所述张紧保持辊之间，所述校正辊的相反两端可以联接至驱动装置以便上下移动，并且用于感测所述对象膜的分离的偏离传感器可以安装在所述校正辊上方的相反部分处。
【附图说明】
[0013]从结合附图理解的示例性实施方式的下列说明，本发明的上述和/或其他方面将变得清楚并且更容易理解，附图中:
[0014]图1示出了根据本发明的示例性实施方式的卷至卷膜处理系统；
[0015]图2是构成根据本发明的示例性实施方式的卷至卷膜处理系统的退绕装置的立体图；
[0016]图3是示出处理施加装置的室的示意图；
[0017]图4是重绕装置的立体图；
[0018]图5是示出根据本发明的示例性实施方式的对准传感器的操作的示意图；
[0019]图6是用于说明根据对准传感器的感测结果的水平移动体的移动方向的示意图；
[0020]图7是示出根据本发明的示意性实施方式的校正辊和偏离传感器的操作的示意图；以及
[0021]图8是示出根据本发明的示例性实施方式的切板的结构的示意图。
【具体实施方式】
[0022]下面，将参照附图详细地描述根据本发明的卷至卷膜处理系统的示例性实施方式。为了方便和描述清楚可以放大附图中所示的元件的尺寸、形状等。而且，考虑到根据本发明的结构和功能特别限定的术语可以根据使用者或操作者的意图和习惯而改变。这些术语必须基于整个说明书的内容来限定。
[0023]图1示出了根据本发明的示例性实施方式的卷至卷膜处理系统。如图1所示，根据本发明的示例性实施方式的卷至卷膜处理系统100包括用于退绕和供应对象膜的退绕装置10，用于向对象膜施加处理的处理施加装置30，以及用于重绕已处理的对象膜的重绕装置50。
[0024]退绕装置10退绕与保护膜P卷绕在一起的对象膜F并且将其供应到处理施加装置30。对象膜在设置在退绕装置10中的缓冲空间B中经历缓冲状态，并且然后被供应到处理施加装置30。
[0025]处理施加装置30向从退绕装置10供应的对象膜施加至少一种处理。例如，处理施加装置30包括多个室，所述多个室接连地进行显影处理、蚀刻处理、剥离处理等。
[0026]重绕装置50重绕由处理施加装置30处理过的对象膜F。这时，重绕装置50在将用于保护已处理对象膜的保护膜附着至对象膜的同时将对象膜和保护膜一起卷绕。已处理的对象膜在设置于重绕装置50中的缓冲空间B’中经历缓冲状态，并且然后与保护膜一起被卷绕。
[0027]在根据本发明的示例性实施方式的卷至卷膜处理系统中，对象膜F在于设置于退绕装置10中的缓冲空间B中保持缓冲状态的同时被供应到处理施加装置30，并且已处理的对象膜F在于设置于重绕装置50中的缓冲空间B’中保持缓冲状态的同时被重绕。因此，防止了对象膜在退绕装置10和重绕装置50之间被撕破或松开。
[0028]退绕装置10包括如图2所示的缓冲空间B，并且因此对象膜在其中不被张紧而是被松开。因此，对象膜在经历缓冲空间B中的缓冲状态之后被供应到处理施加装置30。
[0029]如图2所示，退绕装置10包括退绕辊11，该退绕辊用于退绕和供应附着有保护膜P的对象膜F ;上导辊和下导辊13，该上导辊和下导辊布置在退绕辊11前方(即，沿朝向处理施加装置的方向);保护膜回收辊15，该保护膜回收辊用于牵拉和卷绕在通过上导辊和下导辊13时分离的保护膜P ;以及进料辊17，该进料辊用于吸引在通过上导辊和下导辊13时分离的对象膜F并且通过旋转力将该对象膜供应到处理施加装置30。
[0030]退绕辊11被旋转以卷绕附着有保护膜的对象膜并且退绕附着有保护膜的对象膜。具体地，附着有保护膜的对象膜绕退绕辊11被卷绕，并且退绕辊11由马达或类似的驱动装置(未示出)旋转以退绕和供应附着有保护膜的对象膜。
[0031]绕退绕辊11卷绕的对象膜可以已经历预定处理(例如，利用金属层和光致抗蚀剂层的涂覆处理)。因此，对象膜在将保护膜堆叠和附着在该对象膜上的同时绕退绕辊11卷绕。
[0032]从退绕辊11被退绕和供应的附着有保护膜的对象膜布置成通过上导辊和下导辊13之间。上导辊和下导辊13布置在退绕辊11前方(即，沿处理施加装置30布置的方向)，并且沿竖直方向彼此隔开。也就是说，上导辊和下导辊13包括上导辊13a和下导辊13b，该下导辊13b放置在上导辊13a下方并且与其隔开。上导辊和下导辊13是惰性辊，其不由驱动装置的旋转力旋转而是由外力自由地旋转。
[0033]附着有保护膜的对象膜通过上导辊13a和下导辊13b之间的空间。通过上导辊13a和下导辊13b之间的空间的对象膜在与保护膜分离时被移到缓冲空间B，并且与对象膜分离的保护膜在由上导辊13a张紧时绕保护膜回收辊15卷绕。
[0034]保护膜回收辊15放置在上导辊和下导辊13后上方(沿退绕辊布置的方向)并且通过旋转力卷绕在上导辊和下导辊13之间通过的保护膜。因为保护膜回收辊15放置在上导辊和下导辊13后上方并且由驱动装置(未示出)的旋转力旋转，因此通过上导辊和下导辊13之间的保护膜在接触上导辊13a的同时由保护膜回收辊15牵拉。因此，保护膜与对象膜分离并且然后绕保护膜回收辊15卷绕，并且分离的对象膜通过其自重移到缓冲空间B。
[0035]移到缓冲空间B的对象膜经历缓冲状态并且然后由进料辊17的旋转力供应到处理施加装置30。进料辊17借助旋转力向处理施加装置30供给通过上导辊和下导辊13之间并且与保护膜分离的对象膜。
[0036]进料辊17保持与对象膜接触。因此，当在进料辊17中产生旋转力时，进料辊17的表