湿制程设备清洁装置及湿制程设备的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种湿制程设备清洁装置及湿制程设备，所述湿制程设备清洁装置用于清洁湿制程设备中的输送机构，包括支撑组件、清洁组件和调节组件；支撑组件具有第一端面；第一端面与输送机构的表面相对设置；清洁组件安装在第一端面上，并朝向输送机构的表面；调节组件与支撑组件连接，用于调节第一端面与输送机构的表面之间的距离，使得清洁组件能够与输送机构的表面相接触并产生摩擦。其通过设置湿制程设备清洁装置对湿制程设备中的输送机构进行清洁来代替人工清洁，有效提高了清洁效率，达到了省时省力的效果，最终有效解决了传统的采用人工清洁湿制程机台的输送机构方式需要耗费大量的人力和时间的问题。
【专利说明】
湿制程设备清洁装置及湿制程设备
技术领域
[0001]本发明涉及湿制程技术领域，特别是涉及一种湿制程设备清洁装置及湿制程设备。
【背景技术】
[0002]通常，随着湿制程机台加工产品数量的增加，湿制程机台的输送机构输送的待加工产品(如:基片)的数量也相应增多。由此，待加工产品的背面(即，待加工产品与输送机构相接触的表面)上的颗粒或异物会逐渐污染输送机构上的输送部件。当污染物累积到一定程度时，就会对待加工产品的背面产生一定的影响，使得待加工产品的背面形成沟痕，从而影响待加工产品的良率。因此，需要对湿制程机台的输送机构进行定期清洁，以清除输送机构中输送部件表面上的污染物。目前，对湿制程机台的输送机构的清洁通常是由人工进行。而采用人工清洁，不仅需要耗费大量的人力，同时还需要花费较长的时间，严重影响了清洁效率。
【发明内容】
[0003]基于此，有必要针对传统的采用人工清洁湿制程机台的输送机构方式需要耗费大量的人力和时间的问题，提供一种湿制程设备清洁装置及湿制程设备。
[0004]为实现本发明目的提供的一种湿制程设备清洁装置，所述湿制程设备清洁装置用于清洁湿制程设备中的输送机构，包括支撑组件、清洁组件和调节组件；
[0005]所述支撑组件具有第一端面；
[0006]所述第一端面与所述输送机构的表面相对设置；
[0007]所述清洁组件安装在所述第一端面上，并朝向所述输送机构的表面；
[0008]所述调节组件与所述支撑组件连接，用于调节所述第一端面与所述输送机构的表面之间的距离，使得所述清洁组件能够与所述输送机构的表面相接触并产生摩擦。
[0009]在其中一个实施例中，所述清洁组件与所述支撑组件可拆卸连接。
[0010]在其中一个实施例中，所述调节组件的个数为两个;且两个所述调节组件分别设置在所述支撑组件的两侧。
[0011]在其中一个实施例中，所述支撑组件为支撑板;所述调节组件为螺纹轴；
[0012]所述支撑组件与所述调节组件螺纹连接，并能够沿所述调节组件的螺纹移动。
[0013]在其中一个实施例中，所述清洁组件包括清洁刷固定架和清洁刷；
[0014]所述清洁刷固定架安装在所述第一端面上，且所述清洁刷固定架与所述清洁刷相匹配；
[0015]所述清洁刷安装在所述清洁刷固定架上。
[0016]在其中一个实施例中，所述清洁组件的个数与所述输送机构中的输送部件的个数相同；且
[0017]所述清洁组件在所述第一端面上的排布设置与所述输送部件在所述输送机构中的排布设置相同。
[0018]在其中一个实施例中，还包括适用于安装在所述湿制程设备上的移动组件；
[0019]所述移动组件上开设有移动槽；
[0020]所述调节组件远离所述支撑组件的一端置于所述移动槽中，且所述调节组件与所述移动组件滑动连接。
[0021]在其中一个实施例中，所述清洁组件的个数为多个；
[0022]多个所述清洁组件在所述第一端面上的排列方式与所述输送机构中任意一行或一列的输送部件的排列相匹配;且
[0023]所述多个清洁组件的排列方向与所述移动槽的方向相交；
[0024]其中，当所述调节组件沿所述移动槽移动时，能够带动所述支撑组件上的所述清洁组件依次对所述输送部件进行清洁。
[0025]在其中一个实施例中，还包括驱动组件和控制器；
[0026]所述驱动组件与所述调节组件相连接，用于驱动所述调节组件的运动；
[0027]所述控制器的输出端与所述驱动组件的输入端电连接;且
[0028]所述控制器，用于控制所述驱动组件对所述调节组件的驱动轨迹。
[0029]相应的，本发明还提供了一种湿制程设备，包括如上任一所述的湿制程设备清洁
目.ο
[0030]上述湿制程设备清洁装置，通过设置支撑组件的第一端面靠近湿制程设备中的输送机构的表面，并与输送机构的表面相对。同时，将清洁组件安装在支撑组件的第一端面上，并设置清洁组件朝向输送机构的表面。并且，调节组件与支撑组件相连接，用于调节第一端面与输送机构的表面之间的距离。由此，当调节组件在调节支撑组件的第一端面与输送机构的表面之间的距离过程中，能够使得清洁组件与输送机构的表面相接触并进行摩擦，从而通过清洁组件与输送机构的表面之间的摩擦实现清洁组件对输送机构的清洁。其通过设置湿制程设备清洁装置对湿制程设备中的输送机构进行清洁来代替人工清洁，有效提高了清洁效率，达到了省时省力的效果，最终有效解决了传统的采用人工清洁湿制程机台的输送机构方式需要耗费大量的人力和时间的问题。
【附图说明】
[0031]图1为本发明的湿制程设备中的输送机构的一具体实施例的结构示意图；
[0032]图2为本发明的湿制程设备清洁装置的一具体实施例的结构示意图；
[0033]图3为本发明的湿制程设备清洁装置中的清洁组件在支撑组件的端面上的排布设置方式示意图；
[0034]图4为本发明的湿制程设备清洁装置中的清洁组件的一具体实施例的结构示意图；
[0035]图5为本发明的湿制程设备清洁装置的实施例一的结构示意图；
[0036]图6为本发明的湿制程设备清洁装置的实施例二的结构示意图；
[0037]图7为本发明的湿制程设备清洁装置的实施例三的结构示意图；
[0038]图8为本发明的湿制程设备清洁装置的实施例四的结构示意图。
【具体实施方式】
[0039]为使本发明技术方案更加清楚，以下结合附图及具体实施例对本发明作进一步详细说明。
[0040]首先，需要说明的是，本发明的湿制程设备清洁装置是用于清洁湿制程设备中的输送机构的。其中，输送机构指的是用于输送待加工产品，如:基片、显示平板等。具体的，参见图1，输送机构200通常包括输送轴210和输送部件220。输送部件220套设在输送轴210上。并且，输送部件220的个数可为多个。多个输送部件220按照一定的分布方式排列在输送轴210上。同时，输送轴210的个数也可为多个，且输送轴210并排设置。更为具体的，输送轴210可为滚轴，输送部件220则为滚珠。通过滚轴的转动带动滚珠的转动，从而使得置于滚珠上面的待加工产品在滚珠的转动作用下按照一定的速度移动。
[0041]参见图2，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的一具体实施例，其包括支撑组件110、清洁组件120和调节组件130。其中，支撑组件110具有第一端面111。该第一端面111靠近上述湿制程设备中的输送机构200的表面，并与输送机构200的表面相对设置。此处，需要说明的是，由于输送机构200通常是依靠输送轴210以及套设在输送轴210上的输送部件220的转动来实现待加工产品的输送的，因此输送机构200的表面既可为输送机构200的上面，也可为输送机构200的下面。也就是说，本发明的湿制程设备清洁装置100中的支撑组件
110的第一端面111与输送机构200的表面相对设置时，支撑组件110既可设置在输送机构200的上方，还可设置在输送机构200的下方。
[0042]同时，清洁组件120安装在支撑组件110的第一端面111上，并朝向输送机构200的表面。调节组件130则与支撑组件110相连接，用于调节支撑组件110的第一端面111与输送机构200的表面之间的距离，使得清洁组件120能够与输送机构200的表面相接触并产生摩擦。
[0043]S卩，通过设置调节组件130与支撑组件110相连接，使得支撑组件110的第一端面111与输送机构200的表面之间的距离可调。由此，当湿制程设备处于工作状态时，支撑组件110的第一端面111与输送机构200的表面之间能够具有一定的距离，以保证输送机构200可正常进行待加工产品的输送。当湿制程设备处于空闲状态或处于保养阶段时，此时由调节组件130对支撑组件110的第一端面111与输送机构200的表面之间的距离进行调节，使得支撑组件110的第一端面111逐渐接近输送机构200的表面，直至安装在第一端面111上的清洁组件120与输送机构200的表面相接触为止。进而，再通过输送机构200上的输送部件220的转动使得清洁组件120与输送机构200的表面产生摩擦，实现清洁组件120对输送机构200的表面的清洁作用。
[0044]其通过设置湿制程设备清洁装置100对湿制程设备中的输送机构200进行清洁来代替传统的人工清洁方式，有效提高了清洁效率，达到了省时省力的效果。最终解决了传统的人工清洁方式耗费大量的人力和时间的问题。
[0045]其中，需要说明的是，清洁组件120与输送机构200的表面相接触，并与输送机构200的表面产生摩擦时，其既可通过控制输送机构200中的输送部件220的转动来实现，也可设置清洁组件120的转动来实现。由于湿制程设备中的输送机构200自身具有转动设置，因此为了简化本发明的湿制程设备清洁装置100的结构，同时降低加工成本，简化加工工艺，优选的，采用清洁组件120固定设置，依靠输送机构200中的输送部件220的转动来实现清洁组件120与输送机构200之间的相互运动从而产生摩擦的方式。
[0046]进一步的，由于支撑组件110的主要功能为安装固定清洁组件120。因此，参见图3，优选的，支撑组件110可直接采用支撑板来实现。采用支撑板作为本发明的湿制程设备清洁装置100的支撑组件110，不仅进一步的降低了生产成本，同时还进一步简化了加工工艺，使得湿制程设备清洁装置100的结构更加简单。
[0047]另外，由于清洁组件120属于消耗品，当清洁组件120使用时间过长或由于使用不当导致清洁组件120发生损坏不能有效清洁输送机构200时，需要对清洁组件120进行更换。作为本发明的湿制程设备清洁装置100的一具体实施例，为了便于清洁组件120的更换，清洁组件120与支撑组件110之间的安装连接为可拆卸连接。
[0048]同时，为了进一步提高清洁效率，优选的，参见图3，安装在支撑组件110的第一端面111上的清洁组件120的个数应当与输送机构200上的输送部件220的个数相同。并且，多个清洁组件120在支撑组件110的第一端面111上的排布设置方式应当与输送部件220在输送机构200中的排布设置相同。如:当输送机构200中的输送部件220呈行列式排布时，此时对应清洁组件120在第一端面111上的排布同样也呈行列式。由此，支撑组件110的第一端面
111应当完全覆盖输送机构200的表面，并且每一个清洁组件120对应一个输送部件220。当采用清洁组件120进行输送机构200的表面清洁时，可通过多个清洁组件120分别对其所对应的输送部件220同时进行清洁即可。其避免了对输送机构200中的输送部件220依次进行清洁的现象，从而极大地提高了清洁效率，同时有效提高了清洁质量。
[0049]更进一步的，参见图4，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的另一具体实施例，清洁组件120可采用清洁刷固定架121和清洁刷122来实现。具体的，清洁刷固定架121安装在支撑组件110的第一端面111上。并且，清洁刷固定架121与清洁刷122相匹配。清洁刷122则直接安装在清洁刷固定架121上。由此，当清洁组件120对输送机构200的表面进行清洁时，可直接通过清洁刷122的刷头对输送机构200的表面进行反复清洁。其通过采用清洁刷122进行输送机构200的表面清洁，有效增大了清洁组件120与输送机构200之间的摩擦力，从而使得清洁效果更好。这也就更进一步的提高了清洁效率和清洁质量。
[0050]另外，参见图5，由于调节组件130是用于调节支撑组件110的第一端面111与输送机构200的表面之间的距离的，为了保证支撑组件110的第一端面111靠近输送机构200的表面的平稳性，优选的，调节组件130的个数为两个。并且，两个调节组件130分别设置在支撑组件110的两侧。由此，通过两个调节组件130的相互协调，能够有效保证支撑组件110朝向输送机构200运动的平稳性，从而也就有效保证了本发明的湿制程设备清洁装置100的可靠性和稳定性。
[0051]进一步的，为了更进一步的降低生产成本，调节组件130可采用螺纹升降轴来实现。即，通过设置调节组件130采用螺纹轴，将支撑组件110套设在调节组件130上，并与调节组件130螺纹连接。由此，使得支撑组件110能够沿调节组件130的螺纹移动。即，通过将螺纹升降轴安装在支撑组件110与输送机构200的固定部之间，通过控制螺纹升降轴的升高或降低，来达到控制支撑组件110的升高或降低，从而实现支撑组件110的第一端面111与输送机构200的表面之间的距离可调的目的。
[0052]另外，还需要说明的是，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的又一具体实施例，其还可在支撑组件110的第二端面112(即，与第一端面111相背的一面)上安装清洁剂存储组件(图中未示出)，同时在清洁剂存储组件上设置一出口，通过在清洁剂存储组件的出口与清洁组件120之间增设一清洁剂导流组件(图中未示出)。通过清洁剂导流组件将清洁剂存储组件中存储的清洁剂导流至清洁组件120上。由此，当清洁组件120进行输送机构200的表面的清洁时，能够更加有效的清洁掉输送机构200表面上的污染物，使得清洁质量更尚O
[0053]同时，参见图6，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的再一具体实施例，其还包括适用于安装在湿制程设备上的移动组件140。其中，移动组件140上开设有移动槽(图中未示出)。调节组件130远离支撑组件110的一端置于移动槽中，并且，调节组件130与移动组件140滑动连接。其通过设置调节组件130与移动组件140滑动连接，使得调节组件130能够沿着移动组件140上所开设的移动槽移动，这也就实现了支撑组件110与清洁组件120在纵向和横向上的双向移动，从而有效提高了本发明的湿制程设备清洁装置100的灵活性。
[0054]相应的，基于上述实施例，安装在支撑组件110的第一端面111上的清洁组件120的个数同样可为多个。并且，多个清洁组件120在第一端面111上的排列方式只需与输送机构200中的任意一行或一列的输送部件220的排列方式相匹配。如:多个清洁组建在支撑组件110的第一端面111上单排设置。此处，需要说明的是，多个清洁组件120的排列方向应当与移动组件140的移动槽的开设方向相交。即，多个清洁组件120的排列方向应当与移动组件140的移动槽的开设方向并不是平行的。
[0055]由此，当调节组件130通过调节清洁组件120调节支撑组件110与输送机构200之间的距离使得清洁组件120与输送机构200的表面相接触时，此时安装在支撑组件110的第一端面111上的一排清洁组件120对其当前所对应的输送部件220进行清洁。当该层输送部件220清洁完成之后，再通过控制调节组件130在移动组件140上移动至输送机构200的另一层输送部件220位置处，即可实现对另一层输送部件220的清洁。通过重复上述同样的操作便可依次完成所有输送部件220的清洁。其通过在湿制程设备清洁装置100上增设移动组件140，有效减小了湿制程设备清洁装置100的体积，从而节省了其所占的空间，不仅有利于存放，同时还便于操作。
[0056]其中，需要说明的是，移动组件140可直接采用导轨来实现。简单方便，易于实现，且成本低廉。
[0057]参见图5和图6，应当说明的是，本发明的湿制程设备清洁装置100还包括驱动组件150。其中，驱动组件150与调节组件130相连接，用于驱动调节组件130的运动，从而实现调节组件130对支撑组件110的调节。具体的，驱动组件150可直接采用驱动电机来实现。通过将驱动电机的驱动轴与调节组件130相连接，从而使得清洁人员直接控制驱动电机的开启或关闭即可实现清洁操作，实现了半自动化的清洁操作，更加省时省力。
[0058]更进一步的，参见图7和图8，在本发明的湿制程设备清洁装置100中，其还可包括控制器160。其中，控制器160的输出端与驱动组件150的输入端电连接。并且，该控制器160用于控制驱动组件150对调节组件130的驱动轨迹。即，通过在控制器160中输入相应的控制程序，具体可包括清洁时间和清洁轨迹的设定等。从而使得控制器160根据控制程序控制驱动组件150对调节组件130的驱动。如:控制器160根据控制程序控制驱动组件150驱动调节组件130调节支撑组件110与输送机构200之间的距离，以及控制器160根据控制程序控制驱动组件150驱动调节组件130在移动组件140上的移动等。其通过控制器160来控制驱动组件150，从而实现驱动组件150对调节组件130的驱动，实现了全自动化的清洁操作，更进一步的提高了清洁效率，并且更为有效的节省了大量的人力。
[0059]为了更清楚的说明本发明的湿制程设备清洁装置100的清洁过程，以下分别以四个不同的实施例对本发明的湿制程设备清洁装置100进行更为详细的说明。
[0060]参见图5，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的实施例一，其包括支撑组件110、清洁组件120、调节组件130和驱动组件150。当采用本实施例的湿制程设备清洁装置100进行输送机构200的表面清洁时，将本实施例的湿制程设备清洁装置100安装在输送机构200的上方。当湿制程设备处于空闲状态或进行定期保养时，清洁人员通过启动驱动组件150，手动调整调节组件130的高度使得清洁组件120与输送机构200中的输送部件220(如:滚珠)相接触。进而再控制输送机构200启动，使得输送机构200上的输送部件220自动转动。由此，当输送部件220转动时会与清洁组件120摩擦从而实现输送部件220的清洁。
[0061]参见图7，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的实施例二，其同样包括支撑组件110、清洁组件120、调节组件130和驱动组件150。同时，还包括控制器160。当采用本实施例的湿制程设备清洁装置100进行输送机构200的表面清洁时，同样将本实施例的湿制程设备清洁装置100安装在输送机构200的上方。同时，由控制器160对湿制程设备的工作状态进行实时检测，当检测到湿制程设备需要进行清洁时(具体的，可通过检测湿制程设备的工作时间、输送待加工产品的个数等参数来实现对其工作状态的检测)，控制湿制程设备停机，使其处于空闲状态。进而，再由控制器160控制驱动组件150驱动调节组件130，由驱动组件150控制调整调节组件130的高度。当驱动组件150控制调节组件130的高度达到预设高度后，此时支撑组件110上的清洁组件120与输送机构200的表面相接触。当输送机构200中的输送部件220自动转动时会与清洁组件120相摩擦从而达到清洁的效果。其中，控制器160可采用PLC(可编程逻辑控制器160)来实现。并且，还可在控制器160中设置触摸屏，清洁人员直接通过操作触摸屏即可实现对驱动组件150和调节组件130的控制，最终实现对清洁组件120的控制。其有效实现了湿制程设备的全自动化定期清洗。
[0062]参见图6，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的实施例三，其安装在支撑组件110的第一端面111上的清洁组件120为单排设置。同时，还增设了移动组件140。并且，调节组件130远离支撑组件110的一端置于移动组件140开设的移动槽中。由此，当采用本实施例的湿制程设备清洁装置100进行输送机构200的表面清洁时，通过清洁人员手动控制调节组件130下降，使得清洁组件120与输送机构200中的某一行或某一列输送部件220的表面相接触。进而转动该行或该列的输送部件220即可实现对该行或该列的输送部件220的清洁。当该行或该列的输送部件220清洁完毕之后，通过驱动组件150驱动调节组件130在移动组件140上移动，直至移动到另外一行或一列输送部件220处，重复同样的操作即可实现当前行或当前列的输送部件220的清洁。由此，可依次顺序完成所有输送部件220的清洁。其不需要占用较大的空间，并且便于安置。
[0063]参见图8，作为本发明的湿制程设备清洁装置100的实施例四，其在图6所示的实施例三的基础上增设了控制器160。同样将本实施例的湿制程设备清洁装置100安装在湿制程设备的输送机构200的上方。同时，由控制器160对湿制程设备的工作状态进行实时检测，当检测到湿制程设备需要进行清洁时，控制湿制程设备停机，使其处于空闲状态。进而，再由控制器160控制驱动组件150驱动调节组件130，首先控制驱动组件150驱动调节组件130在移动组件140上移动，直至移动至输送机构200中某一行或某一列的输送部件220处，进而再控制驱动组件150驱动调节组件130进行高度的调节。当驱动组件150控制调节组件130的高度达到预设高度后，此时支撑组件110上的清洁组件120与当前行或当前列的输送部件220的表面相接触。当该行或该列的输送部件220自动转动时会与清洁组件120相摩擦从而达到清洁的效果。同时，控制器160实时监测当前行或当前列的输送部件220的清洁时间，当达到预设时间后，控制当前行或当前列的输送部件220停止转动。同时，由驱动组件150驱动调节组件130继续沿移动组件140的移动槽移动，直至移动到下一行或下一列的输送部件220位置处，从而进行下一行或下一列的输送部件220的清洁。
[0064]此处，需要说明的是，在该实施例四中，当控制器160控制驱动组件150进行调节组件130的移动时，可先由驱动组件150将调节组件130上升一段高度，使得清洁组件120与输送机构200的表面相分离。从而避免调节组件130沿移动组件140的移动槽移动时，输送机构200的表面对清洁组件120的摩擦而导致清洁组件120的磨损现象。这也就有效延长了本发明的湿制程设备清洁装置100的使用寿命。
[0065]相应的，本发明还提供了一种湿制程设备，其包括如上任一所述的湿制程设备清洁装置100。通过将上述任一种湿制程清洁装置安装至湿制程设备上后，可以实现湿制程设备的定期自动清洁，从而代替了人工清洁的方式，保证了输送机构200表面的清洁度，进而保证了加工广品的良率。
[0066]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种湿制程设备清洁装置，其特征在于，所述湿制程设备清洁装置用于清洁湿制程设备中的输送机构，包括支撑组件、清洁组件和调节组件； 所述支撑组件具有第一端面； 所述第一端面与所述输送机构的表面相对设置； 所述清洁组件安装在所述第一端面上，并朝向所述输送机构的表面； 所述调节组件与所述支撑组件连接，用于调节所述第一端面与所述输送机构的表面之间的距离，使得所述清洁组件能够与所述输送机构的表面相接触并产生摩擦。2.根据权利要求1所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，所述清洁组件与所述支撑组件可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，所述调节组件的个数为两个;且两个所述调节组件分别设置在所述支撑组件的两侧。4.根据权利要求1所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，所述支撑组件为支撑板；所述调节组件为螺纹轴； 所述支撑组件与所述调节组件螺纹连接，并能够沿所述调节组件的螺纹移动。5.根据权利要求1所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，所述清洁组件包括清洁刷固定架和清洁刷； 所述清洁刷固定架安装在所述第一端面上，且所述清洁刷固定架与所述清洁刷相匹配； 所述清洁刷安装在所述清洁刷固定架上。6.根据权利要求1或5所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，所述清洁组件的个数与所述输送机构中的输送部件的个数相同；且 所述清洁组件在所述第一端面上的排布设置与所述输送部件在所述输送机构中的排布设置相同。7.根据权利要求1至5任一项所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，还包括适用于安装在所述湿制程设备上的移动组件； 所述移动组件上开设有移动槽； 所述调节组件远离所述支撑组件的一端置于所述移动槽中，且所述调节组件与所述移动组件滑动连接。8.根据权利要求7所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，所述清洁组件的个数为多个； 多个所述清洁组件在所述第一端面上的排列方式与所述输送机构中任意一行或一列的输送部件的排列相匹配;且 所述多个清洁组件的排列方向与所述移动槽的方向相交； 其中，当所述调节组件沿所述移动槽移动时，能够带动所述支撑组件上的所述清洁组件依次对所述输送部件进行清洁。9.根据权利要求1所述的湿制程设备清洁装置，其特征在于，还包括驱动组件和控制器； 所述驱动组件与所述调节组件相连接，用于驱动所述调节组件的运动； 所述控制器的输出端与所述驱动组件的输入端电连接;且 所述控制器，用于控制所述驱动组件对所述调节组件的驱动轨迹。10.—种湿制程设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的湿制程设备清洁装置。
【文档编号】B65G45/18GK106081561SQ201610487931
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月28日
【发明人】阳振军, 汪永佳
【申请人】昆山国显光电有限公司