一种真空柜的制作方法

文档序号:10759670阅读:669来源:国知局
一种真空柜的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及真空装置领域,特别是涉及一种真空柜,包括至少一真空柜体和一电气控制台,真空柜体和电气控制台叠合成双层结构,真空柜体在上层,电气控制台在下层,真空柜体包括至少两机械臂、两导向板和一柜门,两导向板分别设置在真空柜体的两侧面前端,两机械臂分别设置在真空柜体的两侧,其一端与真空柜体固定连接,另一端与柜门固定连接,机械臂带动柜门沿着导向板上下移动。与现有技术相比,本实用新型的一种真空柜在开关柜门过程中节省占用空间,有利于与其他设备相配合。
【专利说明】
一种真空柜
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空装置领域,特别是涉及一种真空柜。
【【背景技术】】
[0002]真空机可对放入的产品实现真空储存及充气置换储存,可将各种物品起到长期防氧化作用。特别适合各类电子产品、芯片、半导体、金属零件、贵重金属、稀土材料、电池板、电池片及其它所有厌氧物品的储存。目前市场上大部分真空机采用前后开关机门的方式,这种方式在机门打开后占用空间大,不方便真空机与其他设备的配合。
【【实用新型内容】】
[0003]为克服现有真空机在机门开关过程中占用空间大的缺点,本实用新型提供了一种在开关柜门过程中节省空间的真空柜。
[0004]本实用新型解决技术问题的方案是提供一种真空柜,包括至少一真空柜体和一电气控制台,真空柜体和电气控制台叠合成双层结构,真空柜体在上层,电气控制台在下层,真空柜体包括至少两机械臂、两导向板和一柜门,两导向板分别设置在真空柜体的两侧面前端,两机械臂分别设置在真空柜体的两侧,其一端与真空柜体固定连接,另一端与柜门固定连接,机械臂带动柜门沿着导向板上下移动。
[0005]优选地,所述机械臂包括连接件、转动轴、气缸和转动接头,连接件固定连接在真空柜体的侧壁上,连接件的下部设置一转动轴,气缸一端连接连接件,另一端连接转动接头。
[0006]优选地,所述导向板为长方形条形板,导向板板面靠边处从上往下设置一排螺丝孔,导向板的板面中间部位从上往下设置上条形槽和下条形槽,上条形槽和下条形槽的顶部分别设置上弯头和下弯头。
[0007]优选地,所述柜门呈矩形板状,包括一柜门板、至少两上连接块、至少两下连接块、至少两上连接条和至少两下连接条,柜门上边两角分别设置上连接块,上连接块向两侧边各伸出一上连接条,柜门下边两角分别设置下连接块,下连接块向两侧边各伸出一下连接条。
[0008]优选地,所述机械臂整体呈倾斜状,连接件的位置在上,转动接头的位置相对于连接件的位置在下,转动轴垂直于真空柜体的侧壁,气缸垂直于转动轴,平行于真空柜体侧壁。
[0009]优选地,所述上条形槽和下条形槽沿竖直方向设置,上弯头与上条形槽连通,且垂直于上条形槽,弯向真空柜体,下弯头与下条形槽连通,且垂直于下条形槽,弯向真空柜体。
[0010]优选地,所述上条形槽与下条形槽的上下位置对应,下条形槽贯通导向板厚度方向。
[0011]优选地,所述上连接条与上连接块固定连接且相互垂直,下连接条与下连接块固定连接且相互垂直。
[0012]优选地,所述上连接块与下连接块设置在柜门板的同一侧,上连接条与下连接条的上下位置对应。
[0013]优选地,所述上连接条卡入上条形槽,下连接条卡入下条形槽并穿过下条形槽,与机械臂的转动接头相连。
[0014]与现有技术相比,本实用新型提供的一种真空柜包括至少一真空柜体和一电气控制台,真空柜体和电气控制台叠合成双层结构,真空柜体在上层,电气控制台在下层,真空柜体包括至少两机械臂、两导向板和一柜门,两导向板分别设置在真空柜体的两侧面前端,两机械臂分别设置在真空柜体的两侧,其一端与真空柜体固定连接,另一端与柜门固定连接,机械臂带动柜门沿着导向板上下移动。这种通过柜门上下移动来实现柜门开合的方式可以有效减少柜门在开合过程中的占用空间,有利于该真空柜与其他设备的配合使用。机械臂包括连接件、转动轴、气缸和转动接头,连接件固定连接在真空柜体的侧壁上,连接件的下部设置一转动轴,气缸一端连接连接件,另一端连接转动接头。气缸可绕着转动轴转动,当气缸伸缩时,可通过转动来调整气缸位置,以满足空间和位置需要。导向板为长方形条形板,导向板板面靠边处从上往下设置一排螺丝孔,导向板的板面中间部位从上往下设置上条形槽和下条形槽,上条形槽和下条形槽的顶部分别设置上弯头和下弯头。上条形槽和下条形槽是柜门上下移动的轨道,上弯头和下弯头使得柜门可实现完全封闭真空柜体。柜门呈矩形板状,包括一柜门板、至少两上连接块、至少两下连接块、至少两上连接条和至少两下连接条,柜门上边两角分别设置上连接块,上连接块向两侧边各伸出一上连接条,柜门下边两角分别设置下连接块,下连接块向两侧边各伸出一下连接条。其中,下连接条穿过下条形槽,与转动接头相连接,下连接条可在转动接头内转动,以满足气缸伸缩所需的空间。
【【附图说明】】
[0015]图1是本实用新型真空柜立体图;
[0016]图2是本实用新型真空柜侧视图;
[0017]图3是本实用新型真空柜正视图;
[0018]图4是本实用新型真空柜中机械臂立体图;
[0019]图5是本实用新型真空柜中导向板立体图;
[0020]图6是本实用新型真空柜中柜门立体图。
【【具体实施方式】】
[0021]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施实例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0022]请参阅图1,本实用新型的一种真空柜I包括至少一真空柜体11、一电气控制台12和一电控箱13。真空柜体11和电气控制台12叠合成双层结构,真空柜体11在上层,电气控制台12在下层(在所有实施例中,上、下、左、右、内、外等位置限定词仅限于指定视图上的相对位置,而非绝对位置),电控箱13设置在真空柜体11的顶面上。真空柜体11呈长方体状,是进行抽真空作业或储存物件的主要场所,电气控制台12与电控箱13配合,共同管控真空作业过程。
[0023]请参阅图2和图3,真空柜体11包括至少两机械臂111、两导向板112、一柜门113、前可视窗114、上可视窗115和照明灯116。两机械臂111分别设置在真空柜体11的两侧面,其一端与真空柜体11固定连接,另一端与柜门113固定连接,机械臂111可以控制柜门113的开合。两导向板112分别设置在真空柜体11的两侧面前端,方向沿着竖直方向,导向板112的一部分固定在真空柜体11的侧面,另一部分伸出真空柜体11,形成柜门113的轨道。柜门113设置在真空柜体11的前面,柜门113打开时可以往真空柜体11放入需要真空处理的零部件,柜门113关闭时完全封闭真空柜体11,为真空作业提供条件。柜门113中部设置一前可视窗114,通过前可视窗114可对真空柜体11的内部情况实时掌控。真空柜体11的上顶面设置一上可视窗115和一照明灯116,照明灯116对准上可视窗115,通过上可视窗115对真空柜体11内部进行照明。
[0024]电气控制台12是尺寸与真空柜体11相匹配的长方体框架结构,包括至少一真空栗121、空气过滤器122、电磁阀123、至少四个支撑脚杯124和一底板125。底板125位于电气控制台12的底部,用于支承其上部部件。底板125的下底面设置至少四个支撑脚杯124,用来支撑整个真空柜I,四个支撑脚杯124分布在底板125的四个角,有利于整个真空柜I保持平衡。底板125上部设置真空栗121和电磁阀123,真空栗121、电磁阀123和电控箱13之间电性连接,通过电控箱13可以控制电磁阀123的开启与关闭,电磁阀123开启,则真空栗121开始工作,电磁阀123关闭,则真空栗121停止工作。真空栗121通过第一管道(图未示)与真空柜体11的底部相连通,工作时通过第一管道从真空柜体11抽气。电气控制台12的侧面设置至少一空气过滤器122,空气过滤器122通过第二管道(图未示)与真空柜体11相连通,对进入真空柜体11的空气进行过滤,防止真空柜体11内的零部件受污染。
[0025]请参阅图4,机械臂111包括连接件1111、转动轴1112、气缸1113和转动接头1114。连接件1111固定连接在真空柜体11的侧壁上,为机械臂111提供着力点,连接件1111的下部设置一转动轴1112,转动轴1112连接气缸1113—端,气缸1113为长条形气缸,启动时可以沿着其长度方向伸缩。转动轴1112垂直于真空柜体11的侧壁,当气缸1113—端与转动轴1112连接时,气缸1113的伸缩方向与转动轴1112垂直,与真空柜体11侧壁平行。气缸1113另一端连接一转动接头1114,转动接头1114与柜门113连接,这样当气缸1113活动时,可改变柜门113的位置。机械臂111整体呈倾斜状,连接件1111的位置在上,转动接头1114的位置相对于连接件1111的位置在下,这种倾斜状的位置设置使得气缸1113伸缩时,机械臂111有足够的活动空间来带动柜门113运动。
[0026]请参阅图5,导向板112为长方形条形板,导向板112板面靠边处从上往下设置一排螺丝孔1121,用来穿设螺丝将导向板112固定在真空柜体11的侧壁上。导向板112的板面中间部位从上往下设置上条形槽1122和下条形槽1123,上条形槽1122和下条形槽1123沿竖直方向设置,是柜门113上下移动的轨道。上条形槽1122和下条形槽1123的顶部分别设置上弯头1124和下弯头1125,上弯头1124与上条形槽1122连通,且垂直于上条形槽1122,弯向真空柜体11,下弯头1125与下条形槽1123连通,且垂直于下条形槽1123,弯向真空柜体11。上弯头1124和下弯头1125可使柜门113贴合真空柜体11,实现完全封闭。其中,上条形槽1122与下条形槽1123的上下位置对应,下条形槽1123贯通导向板112厚度方向,方便柜门113与机械臂111之间相互连接。
[0027]请参阅图6,柜门113呈矩形板状,包括一柜门板1131、至少一第一洞口 1132、至少两上连接块1133、至少两下连接块1134、至少两上连接条1135和至少两下连接条1136。柜门板1131为矩形板,是柜门113的主要承载部件,柜门板1131中部设置至少一第一洞口 1132,用来设置前可视窗114,方便对真空柜体11内部进行观察,第一洞口 1132为矩形洞口,也可以为圆形或其他多边形。柜门113上边两角分别设置上连接块1133,上连接块1133向两侧边各伸出一上连接条1135,上连接条1135与上连接块1133固定连接且相互垂直。柜门113下边两角分别设置下连接块1134,下连接块1134向两侧边各伸出一下连接条1136,下连接条1136与下连接块1134固定连接且相互垂直。上连接条1135卡入上条形槽1122,下连接条1136卡入下条形槽1123并穿过下条形槽1123,与机械臂111的转动接头1114相连,转动接头1114可绕着下连接条1136转动。上连接块1133与下连接块1134设置在柜门板1131的同一侧,上连接条1135与下连接条1136的上下位置对应,以便于卡入导向板112内。柜门113安装完成后,上连接块1133与下连接块1134位于柜门113外侧,有利于柜门113对真空柜体11的封闭。
[0028]柜门113由闭合到开启时,气缸1113启动,机械臂111伸长,转动接头1114推动下连接条1136从下弯头1125滑入下条形槽1123,同时,上连接条1135从上弯头1124滑入上条形槽1122,此时,柜门113与真空柜体11分离产生一段距离。气缸1113继续运行,机械臂111伸长,转动接头1114推动下连接条1136在下条形槽1123内向下滑动,同时,上连接条1135在上条形槽1122内向下滑动,此时,整个柜门113向下滑动,实现柜门113的开启。该过程中,机械臂111绕着转动轴1112转动,机械臂111的倾斜角度不断增大,以满足机械臂111不断伸长的空间需求。
[0029]柜门113由闭合到开启时,气缸1113启动,机械臂111收缩,转动接头1114拉动下连接条1136在下条形槽1123内向上滑动,同时,上连接条1135在上条形槽1122内向上滑动,此时,整个柜门113向上滑动。气缸1113继续运行,机械臂111继续收缩,转动接头1114拉动下连接条1136从下条形槽1123内滑入下弯头1125,同时,上连接条1135从上条形槽1122滑入上弯头1124,此时,柜门113将真空柜体11完全封闭。该过程中,机械臂111绕着转动轴1112转动,机械臂111的倾斜角度不断减小,以满足机械臂111不断缩短的位置要求。
[0030]与现有技术相比,本实用新型提供的一种真空柜I包括至少一真空柜体11和一电气控制台12,真空柜体11和电气控制台12叠合成双层结构,真空柜体11在上层,电气控制台12在下层,真空柜体11包括至少两机械臂111、两导向板112和一柜门113,两导向板112分别设置在真空柜体11的两侧面前端,两机械臂111分别设置在真空柜体11的两侧,其一端与真空柜体11固定连接,另一端与柜门113固定连接,机械臂111带动柜门113沿着导向板112上下移动。这种通过柜门113上下移动来实现柜门113开合的方式可以有效减少柜门113在开合过程中的占用空间,有利于该真空柜I与其他设备的配合使用。机械臂111包括连接件1111、转动轴1112、气缸1113和转动接头1114,连接件1111固定连接在真空柜体11的侧壁上,连接件111的下部设置一转动轴1112,气缸1113—端连接连接件1111,另一端连接转动接头1114。气缸1113可绕着转动轴1112转动,当气缸1113伸缩时,可通过转动来调整气缸1113位置,以满足空间和位置需要。导向板112为长方形条形板,导向板112板面靠边处从上往下设置一排螺丝孔1121,导向板112的板面中间部位从上往下设置上条形槽1122和下条形槽1123,上条形槽1122和下条形槽1123的顶部分别设置上弯头1124和下弯头1125。上条形槽1122和下条形槽1123是柜门113上下移动的轨道,上弯头1124和下弯头1125使得柜门113可实现完全封闭真空柜体11。柜门113呈矩形板状,包括一柜门板1131、至少两上连接块1133、至少两下连接块1134、至少两上连接条1135和至少两下连接条1136,柜门113上边两角分别设置上连接块1133,上连接块1133向两侧边各伸出一上连接条1135,柜门113下边两角分别设置下连接块1134,下连接块1134向两侧边各伸出一下连接条1136。其中,下连接条1136穿过下条形槽1123,与转动接头1114相连接,下连接条1136可在转动接头1114内转动,以满足气缸1113伸缩所需的空间。
[0031]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空柜,其特征在于:所述真空柜包括至少一真空柜体和一电气控制台,真空柜体和电气控制台叠合成双层结构,真空柜体在上层,电气控制台在下层,真空柜体包括至少两机械臂、两导向板和一柜门,两导向板分别设置在真空柜体的两侧面前端,两机械臂分别设置在真空柜体的两侧,其一端与真空柜体固定连接,另一端与柜门固定连接,机械臂带动柜门沿着导向板上下移动。2.如权利要求1中所述的真空柜,其特征在于:所述机械臂包括连接件、转动轴、气缸和转动接头,连接件固定连接在真空柜体的侧壁上,连接件的下部设置一转动轴,气缸一端连接连接件,另一端连接转动接头。3.如权利要求2中所述的真空柜,其特征在于:所述导向板为长方形条形板,导向板板面靠边处从上往下设置一排螺丝孔,导向板的板面中间部位从上往下设置上条形槽和下条形槽,上条形槽和下条形槽的顶部分别设置上弯头和下弯头。4.如权利要求3中所述的真空柜,其特征在于:所述柜门呈矩形板状,包括一柜门板、至少两上连接块、至少两下连接块、至少两上连接条和至少两下连接条,柜门上边两角分别设置上连接块,上连接块向两侧边各伸出一上连接条,柜门下边两角分别设置下连接块,下连接块向两侧边各伸出一下连接条。5.如权利要求4中所述的真空柜,其特征在于:所述机械臂整体呈倾斜状,连接件的位置在上,转动接头的位置相对于连接件的位置在下,转动轴垂直于真空柜体的侧壁,气缸垂直于转动轴,平行于真空柜体侧壁。6.如权利要求5中所述的真空柜,其特征在于:所述上条形槽和下条形槽沿竖直方向设置,上弯头与上条形槽连通,且垂直于上条形槽,弯向真空柜体,下弯头与下条形槽连通,且垂直于下条形槽,弯向真空柜体。7.如权利要求6中所述的真空柜,其特征在于:所述上条形槽与下条形槽的上下位置对应,下条形槽贯通导向板厚度方向。8.如权利要求7中所述的真空柜,其特征在于:所述上连接条与上连接块固定连接且相互垂直,下连接条与下连接块固定连接且相互垂直。9.如权利要求8中所述的真空柜,其特征在于:所述上连接块与下连接块设置在柜门板的同一侧,上连接条与下连接条的上下位置对应。10.如权利要求9中所述的真空柜,其特征在于:所述上连接条卡入上条形槽,下连接条卡入下条形槽并穿过下条形槽,与机械臂的转动接头相连。
【文档编号】B65D81/20GK205441424SQ201521135742
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2015年12月31日
【发明人】罗启明
【申请人】深圳市艾邦机电设备有限公司
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