一种激光辅助电喷射原位打印装置的制作方法

本发明属于先进制造技术领域，具体涉及一种激光辅助电喷射原位打印制造装置。

背景技术：

随着先进制造技术、信息技术和智能技术的集成和深度融合，高端智能装备不断向模块化、集成化、智能化的方向发展，因此，智能装备需要集成更多的传感、驱动、控制等功能结构单元以满足特定功能要求。

航空、航天、医疗、微电子等领域都存在大量需要集成多个分立功能结构单元来协同实现特定综合功能的智能装备组件。例如，变形翼飞行器通过在复合材料异型翼面上集成数百个压电驱动微器来协同完成翼的变形；高频3d相控阵超声扫描探头通过在环氧树脂球冠内表面阵列集成近百个压电换能阵元以实现高分辨率3d动态聚焦扫描功能。智能装备组件的综合性能强烈依赖于功能单元的性能、功能单元的空间布局精度和功能单元-基体的结合强度。目前，这类组件的制造大多采用转印、粘贴、拼接等方法将分立单元组合安装到基体上。这些方法虽然简单实用，但是还存在空间布局精度有限、功能单元制造尺度过大、功能单元与基体结合性能弱等问题。

技术实现要素：

本发明为了解决现有技术的问题，发明了一种激光辅助电喷射原位打印制造装置。将电场力施加于功能材料墨水，基于电流体动力效应，电喷射形成微纳米尺度射流，并在基体上形成打印层，然后通过激光对打印层的复合处理，同步实现打印结构的固化、结晶等原位功能化处理，在原位实现结构和器件的功能化。本发明直接在所需基体上实现功能结构与器件，消除了传统方法转印、粘贴、拼接等二次定位误差难题；避免了胶粘工艺引发的结合力弱、灵敏度低等问题。并借助电喷射高分辨率打印优势，减小了功能单元特征尺寸。此方法将在基体上直接原位制造微纳米级功能结构，提高了结构的尺寸精度和结合强度，进而提高了器件的灵敏度和稳定性。

本发明的技术方案：

一种激光辅助电喷射原位打印装置包括电喷射打印模块和激光功能化处理模块；

所述的电喷射打印模块包括pc上位机1、ccd相机2、高压电源3、微量注射泵4、精密注射器5、导管6、喷针7和运动平台9；精密注射器5安装在微量注射泵4上，内部装有“功能材料墨水”，微量注射泵4的推柄推动精密注射器5按一定的流量精准的进给；喷针7通过软管6与精密注射器5相连接，“功能材料墨水”流至喷针6口处；高压电源3正极输出端与喷针7相连，负极与打印平板14相连接，在喷针7和打印平板14之间形成稳定电场；“功能材料墨水”在微量注射泵4的推动下从喷针7流出，同时，在电场的作用下，在喷针7口处形成稳定的泰勒锥10，并喷射出稳定的精细射流11在基底上形成打印层；x/y轴组合形成各种运动路径，z轴调节喷针7和打印平板14之间的高度，以满足各种打印需求；pc上位机1通过usb接口控制ccd相机2，ccd相机2检测打印区域内的泰勒锥10的稳定性以及打印层的打印路径；

所述的激光功能化处理模块包括pc上位机1和激光能量器8；pc上位机1控制激光能量器8的功率、扫描速度、光斑以及频率；激光能量器8的照射探头与喷针7共同固定在运动平台9的z轴上，保证其激光束扫描轨迹与打印轨迹重复。

所述的激光能量器8产生激光束12，照射到的区域瞬间产生20-1000℃的高温，根据不同的温度需求，调节不同光斑大小、扫描速度，扫描路径，利用激光的热效应完成对打印微结构13的复合处理。

所述的激光能量器8的激光总功率为10w，温度范围为20-1000℃。

所述的激光能量器8的激光束12的光斑直径为2-20um。

所述的激光束12扫描速度<1000mm/s。

所述的喷针7口的内径为150um。

本发明的有益效果：本发明避免了传统制造方法拼接过程中多轮定位、划线、粘贴等步骤累积的误差以及胶粘剂造成的接触刚度弱的问题，提高了结构的尺寸精度和结合强度，进而提高了精密器件的灵敏度和稳定性。

本发明借助了电喷射高分辨率打印优势，可成型微纳米尺寸的微结构，极大的减小结构功能单元的特征尺寸，对于在空间尺寸受限的装备上集成多个功能结构单元等问题，本发明具有巨大的应用价值。

本发明的激光原位热处理方法是利用激光热效应对打印结构在原位复合处理，在原位实现打印结构的固化、结晶等原位功能化，可在原位直接成型功能化结构和器件。同时，该方法仅仅对打印层结构进行高温热处理，而对打印基体不产生任何影响，因此，基体材料应用非常广泛。

附图说明

图1为电喷射打印制造装置三维示意图。

图2为电喷射打印和激光原位功能化处理三维示意图。

其中：1pc上位机；2ccd检测相机；3高压电源；4微量注射泵；5精密注射器；6导管；7喷针；8激光能量器；9运动平台；10泰勒锥；11精细射流；12激光束；13打印微结构；14打印平板。

具体实施方式

结合技术方案和附图对本发明进一步说明，实施例的激光辅助电喷射原位打印制造装置包括电喷射打印模块、激光原位功能化处理模块等。

所述精密注射器5安装在微量注射泵4上，内部装有“zno悬浮液墨水”。喷针7通过软管6与精密注射器5相连接，喷针7与z轴相连可以在竖直方向移动。所述高压电源3输出电压1200v，正极输出端与喷针7相连，负极与打印平板14相连接。打印基体放置在打印平板14上，x/y轴运动平台可以带动打印平板14按着预定的运动轨迹运动。所述pc上位机1可以调节激光能量器8的能量密度产生激光光束12，并且可以控制激光扫描路径，从而对打印微结构13的功能材料进行热处理去除应力、原位固化和结晶化处理。pc上位机1和ccd相机2通过usb连接线相连接，监控打印区域内的泰勒锥10的稳定性以及能量激光器光束12的扫面路径等情况。

实施例的具体实施步骤如下:

1)电喷射打印微观结构

高压电源3正极输出端和负极输出端分别与喷针7和运动平台板14连接，高压电源3施加1200v电压，选用zno悬浮液作为“功能材料墨水”，zno悬浮液在微量注射泵4的缓慢推动下，流量约为0.5μl/min，从精密注射器5通过导管6流至喷针7出口，在电场、重力场等作用下在喷针口处形成稳定的泰勒锥10，并产生稳定的精细射流11并喷射在基底上形成打印层。打印基底放置在平台板14上，z轴可以调节喷针7和基底之间的高度约600μm，pc上位机1控制运动平台9带动平台板按着预定的运动轨迹运动，所述精细射流11在基底上喷射打印出规定的形状，打印层每层厚度约1μm，按规定高度打印一定的层数后，在原位直接打印制造成型功能化结构。在上位机1屏幕中可监测ccd相机2视野内锥射流的打印情况。

2)激光原位功能化处理

电喷射打印一层zno悬浮液后，pc上位机1程序自动启动能量激光器8并产生激光束12，照射到的地方可以瞬间产生高温。激光束12按照之前电喷射打印的轨迹扫描照射打印层，调节激光能量器的功率为20％，扫描速度为120mm/s，光板大小为0.2mm，对打印层进行第一次扫描照射去除应力。扫描完成后，再次程序自动调节激光器功率为35％，其他参数不变，对打印层进行进一步扫描去除应力。待原位热处理完毕后，上位机自动调节激光器功率为80％，扫描速度为50mm/s，再次对打印层进行激光束12照射，在打印层原位完成高温固化和结晶化处理。如此循环电喷射打印、激光原位热处理、结晶化处理步骤直至完成所需功能微结构的打印。

一种激光辅助电喷射原位打印制造装置，利用“功能材料墨水”在电场力、重力、表面张力、粘滞力等共同作用下，喷射出纳米级的精细射流，通过按预定轨迹运动打印基底，可以打印出所需形状微结构。同时，采用激光能量器激光束照射打印层，对打印层原位高温热处理去除有机溶剂，并原位固化和结晶化处理，以实现“墨水”原位功能化打印制造。该方法借助电喷射打印高分辨率的优势，直接在基体上原位打印制造出所需的微纳米级尺度的功能化结构，消除了传统方法转印、粘贴、拼接等二次定位误差难题，避免了胶粘工艺引发的结合力弱等问题，既可以保证打印微纳结构的精确性，又实现了功能材料的原位功能化，避免了移位热处理等工艺步骤，本发明提高了打印结构的精度和结合强度，进而提高了器件的灵敏度和稳定性。