一种3D打印辅助离子束抛光方法与流程

文档序号:18528388发布日期:2019-08-24 10:35阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供的3D打印辅助离子束抛光方法,利用3D打印技术在在待加工光学镜面上上制作高精度牺牲层,再对牺牲层进行离子束刻蚀加工,将牺牲层表面面形精度复制到光学镜面上,突破离子束抛光技术对镜面中高频去除能力低的技术瓶颈,提升离子束抛光光学镜面,尤其是非球面的加工效率及加工精度,拓展离子束抛光技术的应用范围,本发明提供的3D打印辅助离子束抛光方法,利用3D打印技术制造镜面牺牲层,与现有的旋涂、喷涂等加工手段相比,3D打印技术制作的表面牺牲层确定性更好,能根据面形误差的特点进行优化计算,制造的牺牲层不受光学表面曲率变化、频段误差分布特点等因素影响,面形加工精度高。

技术研发人员:唐瓦;邓伟杰;尹小林;薛栋林;张学军
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日:2019.05.30
技术公布日:2019.08.23
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