在线式全自动hf及hno3换热系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种在线式全自动HF及HNO3换热系统，包括设备机台（6），设备机台（6）内置有桶式换热器（2）、泵管道模组（3）、换热器管道模组（4）和气体室模组（5），设备机台（6）顶端设有强制抽风管道接口（7），设备机台（6）前端面上设有前维修门（8），设备机台（6）侧面设有电控柜（9），电控柜（9）内设有控制系统（1），电控柜（9）侧面设有电控区维修门（11），桶式换热器（2）、泵管道模组（3）、换热器管道模组（4）、气体室模组（5）通过PLC连接控制系统（1），控制系统（1）由线路连接电控柜（9）前端面上操作面板（10）上的按键控制区；本实用新型通过采用具有较大冷却能力且多阶段温控过程进行监控，有效的抑制住了反应池内的高温并进行有效的控温。
【专利说明】在线式全自动HF及HN03换热系统
[【技术领域】]
[0001]本实用新型涉及多晶硅清洗【技术领域】，具体地说是一种在线式全自动HF及HN03换热系统。
[【背景技术】]
[0002]在多晶硅清洗领域，由于热破碎工艺导致的最终清洗前硅块表面大量粉尘存在的现象，常常会引起标准清洗工序一硝酸加氢氟酸(HN03 & HF)为清洗溶剂的工序一中第一池(70升左右容积)清洗过程中产生大量放热，预计45秒内放热量为1.1兆瓦左右，见下表一数据，并影响正常清洗酸液温度的保持，导致整个清洗过程严重偏离预期清洗目标。多晶硅硅块清洗工艺主要目的是一种表面清洁，无污点的多晶硅。破碎或锯开的硅块需要一个能够去除携带杂质的锯伤的最小酸洗深度10-20微米，超温清洗会将该酸洗深度加深到30微米以上，到时将硅块无法达到使用要求并引起大量的报废。
[0003]
【权利要求】
1.一种在线式全自动HF及HN03换热系统，包括设备机台(6)，其特征在于:所述设备机台(6)内置有桶式换热器(2)、泵管道模组(3)、换热器管道模组(4)和气体室模组(5)，所述泵管道模组(3)与换热器管道模组(4)相连，所述设备机台(6)顶端设有强制抽风管道接口(7)，所述设备机台(6)前端面上设有前维修门(8)，所述设备机台(6)侧面设有电控柜(9)，所述电控柜(9)与设备机台(6)为一体式结构，所述电控柜(9)内设有控制系统(1)，所述电控柜(9)的前端面上设有操作面板(10)，所述电控柜(9)侧面设有电控区维修门(11)，所述桶式换热器(2)、泵管道模组(3)、换热器管道模组(4)、气体室模组(5)通过PLC连接控制系统(1)，所述控制系统(I)由线路连接操作面板(10)上的按键控制区。
2.如权利要求1所述的在线式全自动HF及HN03换热系统，其特征在于:所述桶式换热器(2 )设有至少两个以上，所述泵管道模组(3 )采用变频电机磁力泵。
3.如权利要求1或2所述的在线式全自动HF及HN03换热系统，其特征在于:所述桶式换热器(2)包括换热器桶体(12)和底座(13)，所述换热器桶体(12)安装在底座(13)上，所述换热器桶体(12)顶端和底端的中央位置处均设有药液进出口(14)，所述换热器桶体(12)顶端还设有冰水出口(15)，所述换热器桶体(12)底端还设有冰水进口(16)和排液口(17)。
4.如权利要求3所述的在线式全自动HF及HN03换热系统，其特征在于:所述药液进出口(14)处密封连接药液进出口接头，所述药液进出口接头包括由上至下依次连接的PVDF进水头(18)、PFA接头(19)、密封圈(20)以及铁氟龙卡环(21 )，所述药液进出口( 14)与桶式换热器(2)焊接为一体。
5.如权利要求4所述的在线式全自动HF及HN03换热系统，其特征在于:所述冰水进口(16)、冰水出口(15)处分别装有PP活接球阀(22)，所述排液口(17)处安装有PP活接开关(23)。
6.如权利要求5所述的在线式全自动HF及HN03换热系统，其特征在于:所述冰水进口(16)与冰水管道相连，所述冰水管道上设有压力传感器，所述冰水管道入口设置有冰水旁路管道。
7.如权利要求6所述的在线式全自动HF及HN03换热系统，其特征在于:所述药液进出口(14)与药液管道相连，所述药液管道上设有温度传感器。
【文档编号】F28D7/04GK203704723SQ201320824806
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2013年12月12日 优先权日:2013年12月12日
【发明者】简建至, 江献茂, 黄自柯 申请人:冠礼控制科技（上海）有限公司