专利名称：湿度调节系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种湿度调节系统，尤其涉及一种适用于无尘室中的湿度调节系统。
背景技术：
在高科技产业中，由于对产品的精密程度要求极高，因此必须在无尘、无污染且恒温恒湿的无尘室环境中进行产品制造及加工等作业，以确保产品的品质。图1为公知一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图。请参照图1，公知的无尘室100是利用外气空调装置102来控制进入无尘室100内的气体的温度及湿度。详细来说，外气空调装置102具有入气口 101以及出气口 103，并包括第一过滤单元110、温度调节单元120、加湿单元130、温度调节单元140、送风单元150以及第二过滤单元160。当外界气体由入气口 101进入外气空调装置102内后，会先经由第一过滤单元110初步过滤杂质， 并通过温度调节单元120将通过过滤单元110的气体预冷却或预加热，再利用加湿单元130 所喷洒出的水气提高气体的湿度。由于在加湿过程中气体的温度会大幅降低，因此在进行加湿后需再通过温度调节单元140对气体进行加热，以使气体达到目标温度，然后再通过送风单元150将此气体g往出气口 103送，使气体g在通过第二过滤单元160后，可经由出气口 103输送至无尘室100内。由上述可知，公知需利用外气空调装置102对欲输送无尘室内的气体进行二次加热，以使气体达预定的温度及湿度。然而，此种做法的耗能需求量大，不但增加工艺成本，也难以符合现今节能环保的趋势。
发明内容
有鉴于此，为了克服现有技术的缺陷，本发明提供一种湿度调节系统，以节省维护无尘室的耗能费用。本发明提出一种湿度调节系统，适用于无尘室中，此无尘室包括机台工作区与外围区，其中外围区环绕机台工作区，而机台工作区具有气体入口与气体出口，并通过气体入口与气体出口连通至外围区。此湿度调节系统包括高压喷雾装置，配置于无尘室的外围区而邻近气体出口，用以提供雾气，以对自机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括冷却装置，配置于该外围区而相对该高压喷雾装置邻近该气体出口，用以降温自机台工作区流向外围区的气体。在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括外气空调装置，用以提供外气至外围区，以使外气通过气体入口流入机台工作区内。在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置配置于无尘室外，并通过气体通道连接至外围区。在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置配置于外围区内。在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置包括温度调节单元，用以加热或冷却外气。
在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置还包括加湿单元，适于提供水气。在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括第一温/湿度传感器，设置于无尘室的外围区而邻近气体出口。在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括第二温/湿度传感器，设置于无尘室的机台工作区内而邻近气体入口。在本发明的一实施例中，上述的高压喷雾装置的工作压力介于lOKg/cm2至IOOKg/
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]在本发明的一实施例中，上述的雾气的粒径小于100微米。本发明是在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热。本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例， 并配合附图，作详细说明如下。
图1为公知一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图；图2是本发明一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图；图3是本发明另一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图；图4是本发明另一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图。其中，附图标记说明如下100,300 无尘室；101:入气口；102,250 外气空调装置；103:出气口；110:第一过滤单元；120、140、252 温度调节单元；130、254 加湿单元；150,256 送风单元；160 第二过滤单元；200、400 湿度调节系统；210 高压喷雾装置；220 冷却装置；230 第一温/湿度传感器；240 第二温/湿度传感器；310 工作区；312:气体入口；314:气体出口；3加外围区；322:回风道；
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323 过滤风扇；324 过滤室；326 收集室；402 气体通道；A、g、0:气体；I 外界气体。
具体实施例方式图2是本发明一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图。请参照图2，湿度调节系统200适用于无尘室300中，且无尘室300包括机台工作区310与外围区320，其中外围区320环绕机台工作区310，而机台工作区310具有气体入口 312与气体出口 314，并通过气体入口 312与气体出口 314连通至外围区320。具体来说，机台工作区310为工艺机台所放置的区域，相关人员也是在机台工作区310内操作机台以进行工艺。外围区320则是包括回风道322、过滤室324以及收集室 326。过滤室3M位于机台工作区310上方，并通过气体入口 312连通至机台工作区310。 而且，过滤室324内可设有多个过滤风扇323，其中各过滤风扇323分别对应至一个气体入口 312，用以过滤外界气体I并将其引入机台工作区310内。承上述，收集室3 位于机台工作区310下方，并通过气体出口 314连通至机台工作区310，气体出口 314举例可为一个或多个，在此并不局限。回风道322则位在机台工作区310的侧边，并连通于过滤室3 与收集室3 之间。据此，在机台工作区310内的气体 A可将污染物从气体出口 314携带至收集室326，再经由回风道322回流至过滤室324，以通过过滤风扇323将污染物滤除，进而维持机台工作区310内的洁净度。湿度调节系统200则包括高压喷雾装置210，配置于无尘室300的外围区320中而邻近气体出口 314，用以提供雾气，以对自机台工作区310流向外围区320的气体0进行降温及加湿。在本实施例中，高压喷雾装置210例如是配置于回风道322内，但本发明不限于此。在其他实施例中，高压喷雾装置210也可以因应实际需求而配置于过滤室3 或收集室幻6内。值得一提的是，粒径愈小的水珠愈容易被蒸发，因此本实施例的高压喷雾装置210 例如是以lOKg/cm2至lOOKg/cm2的高压喷洒出粒径小于100微米的雾气，以便于迅速提高气体的湿度。其中，高压喷雾装置210的工作压力较佳为50-70kg/cm2，且其所喷出的雾气的粒径较佳为40微米。由图2可知，外界气体I进入无尘室300后，会先经过过滤室3M内的过滤风扇323 将外界气体I所携带的污染物滤除，并通过气体入口 312将其输送至机台工作区310内。之后，由于设置在机台工作区310内的工艺机台(未示出)在运作时会产生热能而使机台工作区310内的气体A温度上升，因此当气体A从机台工作区310通过气体出口 314流至外围区320时，即可通过高压喷雾装置210对此高温气体0进行等焓加湿，一方面可使气体0 达到目标湿度，另一方面也可降低气体0的温度。特别的是，本实施例的湿度调节系统200例如是还包括有冷却装置220、第一温/ 湿度传感器230与第二温/湿度传感器MO，其中冷却装置220是配置于外围区320而相对高压喷雾装置210邻近气体出口 314，用以在利用高压喷雾装置220对气体0进行加湿前， 先降低气体0的温度。第一温/湿度传感器230是设置于无尘室300的外围区320而邻近气体出口 314，用以感测自机台工作区310所流出的气体0的温/湿度。第二温/湿度传感器240则是配置于机台工作区310内而邻近气体入口 312，用以感测流入机台工作区310 的气体A的温/湿度。具体来说，冷却装置220与高压喷雾装置210的运转功率是依据第一温/湿度传感器230及第二温/湿度传感器240所测得的数据来决定。举例来说，冷却装置220的运转功率视第一温/湿度传感器230及第二温/湿度传感器240所测得的气体温度与目标温度之间的差值来做调整。另一方面，高压喷雾装置210的运转功率视第一温/湿度传感器 230及第二温/湿度传感器240所测得的气体湿度与目标湿度之间的差值来做调整。自机台工作区310所流出的气体0在经过冷却装置220对其进行降温冷却，并经由高压喷雾装置210对其进行加湿之后，会经由回风道322回流至过滤室324，然后再经由气体入口 312流至机台工作区310内，进而使机台工作区310内具有恒温恒湿的环境气体 A0需要注意的是，为降低高压喷雾装置210的运转功率，如图3所示，本发明在另一实施例中的湿度调节系统400还可以包括外气空调装置250，其例如是直接配置于外围区 320的过滤室324内，或是如图4所示，通过气体通道402连通至外围区320的过滤室324。在图3及图4中，外气空调装置250例如是包括温度调节单元252与加湿单元254， 且外气I在通入至外气空调装置250内后，会先经由温度调节单元252对其进行加热或冷却，然后再利用加湿单元2M所提供的水气对此外气进行加湿，以提高其湿度。之后，外气空调装置250会利用送风单元256将已加湿过的外气I通入无尘室300内，而后续在无尘室300内的气体的温/湿度调控则如前文所述。在此，由于通入无尘室300内的气体I已先经由外气空调装置250进行加湿以稍微提高湿度，因此可缩短高压喷雾装置210将自机台工作区310所流出的气体0加湿至目标湿度所需的时间，并且可降低高压喷雾装置210 的运转功率，以延长其使用寿命。综上所述，本发明是在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热， 以降低耗能。而且，还可在提高气体的湿度的同时，也消耗掉机台所产生的热能。之后，并利用等焓加湿后的气体来维持无尘室的机台工作区的恒温恒湿。相较于公知，本发明的一实施例中，可仅先提高空气干球温度(dry-bulb temperature,DBT)至约25度C，增加空气热焓，空气相对湿度因而降低，但空气含水率不变；本发明的一实施例中，利用高压喷雾加热泵加压至约50-70kg/cm2，产生喷雾微粒水珠(例如粒径为40微米)，并将其分布于空气中产生加湿；于无尘室内使用高压喷雾加湿，水雾将回风降温等焓加湿，可节省无尘室干盘管(dry coil)中冰水循环量，降低无尘室运转成本；本发明的一实施例中，可仅将空气干球温度举例提高至约25度C，经等焓加湿达干球温度为约15度C且绝对湿度(absolutely humidity, AH)为6g/kg，故不须耗费大量热水，借以达到节能效益。由此可知，与公知需对气体进行二次加热的方法相较之下，本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域普
6通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附的权利要求所界定的范围为准。
权利要求
1.一种湿度调节系统，适用于一无尘室，该无尘室包括一机台工作区与一外围区，该外围区环绕该机台工作区，且该机台工作区具有一气体入口与一气体出口，并通过该气体入口与该气体出口连通至该外围区，而该湿度调节系统包括一高压喷雾装置，配置于该外围区而邻近该气体出口，适于提供一雾气，以对自该机台工作区流向该外围区的一气体进行降温及加湿。
2.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一冷却装置，配置于该外围区而相对该高压喷雾装置邻近该气体出口，用以降温该气体。
3.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一外气空调装置，适于提供一外气至该外围区，以使该外气通过该气体入口流入该机台工作区内。
4.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置配置于该无尘室外，并通过一气体通道连接至该外围区。
5.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置配置于该外围区内。
6.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置包括一温度调节单元，适于加热或冷却该外气。
7.如权利要求6所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置还包括一加湿单元，适于提供一水气，以加湿该外气。
8.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一第一温/湿度传感器，设置于该无尘室的该外围区而邻近该气体出口。
9.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一第二温/湿度传感器，设置于该无尘室的该机台工作区内而邻近该气体入口。
10.如权利要求1所述的湿度调节系统，其中该高压喷雾装置的工作压力介于IOKg/ cm2 至 100Kg/cm2。
11.如权利要求1所述的湿度调节系统，其中该雾气的粒径小于100微米。
全文摘要
本发明提供一种湿度调节系统，适用于无尘室中，此无尘室包括机台工作区与外围区，其中外围区大体环绕机台工作区，而机台工作区具有气体入口与气体出口，并通过气体入口与气体出口连通至外围区。此湿度调节系统包括高压喷雾装置，配置于无尘室的外围区而邻近气体出口，用以提供雾气，以对自机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。本发明在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热。此外，本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。
文档编号F24F6/12GK102444944SQ201110359578
公开日2012年5月9日 申请日期2011年11月9日 优先权日2011年9月2日
发明者陈昭文 申请人:友达光电股份有限公司