洁净室系统的制作方法

文档序号:4721811阅读:450来源:国知局
专利名称:洁净室系统的制作方法
技术领域
洁净室系统技术领域[0001]本实用新型属于净化工程技术领域,具体涉及一种洁净室系统。
背景技术
[0002]洁净室广泛地运用在电子工业和其它工业上,在这些工业中在产品装配和检测时 清洁的无颗粒环境是必须的。用洁净室内的标准体积内测试到的给定标准尺寸的颗粒数量 来评估该室。根据该评估系统,一个“10级”洁净室仅具有一个“100级”洁净室十分之一的 颗粒数目。洁净室内的小的颗粒数目是通过该室内的大量分布的空气变化实现的。空气变 化洗涤室内的颗粒物质。其它条件都相同时,空气变化的次数越多,室内的颗粒数目越少。 例如“ I级”洁净室通常需要大于每小时450次的空气变化。[0003]同时,由于洁净室内通过需要经过多层的过滤系统,空气流通时遇到的阻力较大, 尤其是在回风时,现有技术中的洁净室通常不能提供可靠的回风效果,进而会影响到洁净 室的洁净等级。实用新型内容[0004]本实用新型的目的在于提供一种洁净室系统,其可以提供较好的回风效果,优化 回风方式,保证洁净室工作的可靠高效。[0005]为解决上述实用新型目的,本实用新型提供一种洁净室系统,其内定义有无尘区, 所述洁净室系统包括:[0006]回风口,所述无尘区内的空气经回风口流出以定义回风路径;[0007]净化单元,空气经该净化单元净化流入所述无尘区以定义进风路径;其中,[0008]所述回风路径内设置有风机盘管。[0009]作为本实用新型的进一步改进,所述洁净室系统还包括回风柱,所述回风口形成 于所述回风柱上,所述风机盘管设置于所述回风柱内邻近所述回风口处。[0010]作为本实用新型的进一步改进,所述回风口配置有回风百叶窗。[0011]作为本实用新型的进一步改进,所述回风路径和所述进风路径气体关联。[0012]作为本实用新型的进一步改进,所述洁净室系统还包括空调设备以及与所述空调 设备连接的风管,所述空调设备用于将自所述回风柱流出的气体净化进而通过所述风管排 出。[0013]作为本实用新型的进一步改进,所述净化单元设置于所述无尘区的顶部,自所述 风管排出的空气经过所述净化单元净化进而流入无尘区。[0014]作为本实用新型的进一步改进,所述无尘区的底部设置有架空地板,所述架空地 板上包括若干气孔,无尘区内的空气自所述气孔流入所述回风口。[0015]作为本实用新型的进一步改进,所述回风口设置于所述架空地板的下部。[0016]作为本实用新型的进一步改进,所述净化单元包括风机滤器单元。[0017]作为本实用新型的进一步改进,所述风机盘管为立式风机盘管。[0018]与现有技术相比,本实用新型提供的洁净室系统通过在回风路径内设置回风盘 管,可以为自洁净室无尘区流出的空气提供更强的回风动力,优化回风效果,保证洁净室系 统工作的可靠性。


[0019]图1是本实用新型洁净室系统一实施方式的结构示意图。
具体实施方式
[0020]以下将结合附图所示的具体实施方式
对本实用新型进行详细描述。但这些实施方 式并不限制本实用新型,本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或 功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。[0021]参图1,介绍本实用新型的洁净室系统的一具体实施方式
。在本实施方式中,该洁 净室系统100包括回风口 11、净化单元20、以及风机盘管30。[0022]洁净室系统100内定义有无尘区101,无尘区101内的空气经回风口 11流出以定 义回风路径P1,自回风口 11回流出的空气带有较高浓度的杂质颗粒,风机盘管30设置在该 回风路径Pl内用于提供更强的回风动力,空气经过净化单元20的净化流入无尘区101以 定义进风路径P2。通过空气净化单元20不断将净化过的空气吹入无尘区101,进而通过回 风口 11带走被污染的空气,可以将无尘区101内的洁净等级维持在预设值,回风路径Pl内 的风机盘管30可以保证此种空气流通的畅通性,并一定程度上提供了无尘区101内空气高 效替换的能力,以满足较高洁净度等级的洁净室系统100的需求。[0023]作为优选的实施方式,在本实施方式中,回风路径Pl和进风路径P2气体关联,也 就是说,本实用新型提供的洁净室系统100的回风路径Pl和进风路径P2是气体连通的,以 实现自回风口 11回流的空气的循环利用。当然,可以理解的是,在一些替换的实施方式中, 经回风路径Pl流出的气体也可以是直接排放至外界,这些变换的实施方式仍应当属于本 实用新型的保护范围之内。[0024]在本实施方式中,洁净室系统100还包括回风柱10,回风口 11形成于该回风柱10 上,回风柱10可以设置多个。上述的风机盘管30设置于回风柱10内邻近回风口 11处,无 尘区101内的空气在风机盘管30的带动下沿着回风柱10向上循环,弥补了回风压力不足 的缺点,达到了气流循环畅通的目的。优选地,该风机盘管30为立式风机盘管,以提供高效 的向回风柱10上部回风的动力。[0025]无尘区101的底部设置有架空地板60,该架空地板60上包括若干气孔(图未示), 无尘区101内的空气通过这些气孔流入回风口 11。在具体的安装中,回风柱10部分延伸至 架空地板60下,回风口 11设置在回风柱10上架空地板60的下部。回风口 11处配置有回 风百叶窗70,回风百叶窗70用于初效净化经过回风口 11回流的空气。[0026]洁净室系统100还包括空调设备40以及与空调设备40连接的风管50,空调设备 40用于将自回风柱10回流的气体中效净化,并将经过中效净化后的空气通过风管50排 出。洁净室内的空调设备40还用于维持洁净室内的温度和湿度。本实施方式中,洁净室系 统100中包括位于无尘区101上部的一区域102,风管50的出风口(未标示)设置于该区域 102内,自空调设备40净化后的空气被进而排放至该区域102内以便进一步地进行净化单元20的高效净化。需要理解的是,在图1中并未具体示出空气自回风柱10进入空调设备 40的具体路径,是应为这部分并不涉及本实用新型的改进点,本领域普通技术人员可以根 据本附图轻易地理解本实用新型的内容。[0027]净化单元20设置于无尘区101的顶部,自风管50的出风口排出的空气通过该净 化单元20的高效净化并最终吹入无尘区101内。如此循环,达到净化无尘区101空气的目 的。[0028]作为优选的实施方式,该净化单元20包括风机滤器单元(Fan Filter Units, FFU)。所谓风机滤器单元也就是将风机和过滤器(高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器 (ULPA))组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备,确切地说是一种自带动力、具有过 滤功效的模块化的末端送风装置。[0029]本实用新型通过上述实施方式,具有以下有益效果:本实用新型提供的洁净室系 统100通过在回风路径Pl内设置回风盘管,可以为自洁净室无尘区101流出的空气提供更 强的回风动力,优化回风效果,保证洁净室系统100工作的可靠性。[0030]应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一 个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说 明书作为一个整体,各实施方式中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可 以理解的其他实施方式。[0031]上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具 体说明,它们并非用以限制本实用新型的保护范围,凡未脱离本实用新型技艺精神所作的 等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1 .一种洁净室系统,其内定义有无尘区,其特征在于,所述洁净室系统包括:回风口,所述无尘区内的空气经回风口流出以定义回风路径;净化单元,空气经该净化单元净化流入所述无尘区以定义进风路径;其中,所述回风路径内设置有风机盘管。
2.根据权利要求1所述的洁净室系统,其特征在于,所述洁净室系统还包括回风柱,所述回风口形成于所述回风柱上,所述风机盘管设置于所述回风柱内邻近所述回风口处。
3.根据权利要求1所述的洁净室系统,其特征在于,所述回风口配置有回风百叶窗。
4.根据权利要求1所述的洁净室系统,其特征在于,所述回风路径和所述进风路径气体关联。
5.根据权利要求4所述的洁净室系统,其特征在于,所述洁净室系统还包括空调设备以及与所述空调设备连接的风管,所述空调设备用于将自所述回风柱流出的气体净化进而通过所述风管排出。
6.根据权利要求5所述的洁净室系统,其特征在于,所述净化单元设置于所述无尘区的顶部,自所述风管排出的空气经过所述净化单元净化进而流入无尘区。
7.根据权利要求6所述的洁净室系统,其特征在于,所述无尘区的底部设置有架空地板,所述架空地板上包括若干气孔,无尘区内的空气自所述气孔流入所述回风口。
8.根据权利要求7所述的洁净室系统,其特征在于,所述回风口设置于所述架空地板的下部。
9.根据权利要求1所述的洁净室系统,其特征在于,所述净化单元包括风机滤器单元。
10.根据权利要求1所述的洁净室系统,其特征在于,所述风机盘管为立式风机盘管。
专利摘要本实用新型揭示了一种洁净室系统,其内定义有无尘区,所述洁净室系统包括回风口,所述无尘区内的空气经回风口流出以定义回风路径;净化单元,空气经该净化单元净化流入所述无尘区以定义进风路径;其中,所述回风路径内设置有风机盘管。本实用新型提供的洁净室系统通过在回风路径内设置回风盘管,可以为自洁净室无尘区流出的空气提供更强的回风动力,优化回风效果,保证洁净室系统工作的可靠性。
文档编号F24F13/06GK203163096SQ20132011405
公开日2013年8月28日 申请日期2013年3月13日 优先权日2013年3月13日
发明者黄晨东, 田元健, 黄梅 申请人:江苏心日源建筑节能科技有限公司
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