一种用于洁净室的空调系统的制作方法

本发明涉及空调领域，特别涉及一种用于洁净室的空调系统。

背景技术：

生产半导体等电子元件的洁净室对空气的洁净度、温度和湿度的要求更为严格。洁净室的常规空调系统包括新风机组、一次回风循环机组以及高效过滤器。但是这种形式的空调系统存在空气的温度、湿度调节困难，空气洁净度难以保证，此外，还存在一次回风循环机组占用空间大、一次回风循环机组的送风管到和回风管道庞大、过长等问题。

可见，现有技术还有待改进和提高。

技术实现要素：

鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种用于洁净室的空调系统，旨在便于调节洁净室内空气的温度、湿度，并且提高空气洁净度。

为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：

一种用于洁净室的空调系统，包括用于抽吸室外新风并对新风进行净化、预热或预冷处理的新风机，用于对新风进行除湿的除湿机，用于对所述空调系统中的循环风加湿的高压喷雾装置，用于对循环风进行温度调节的干盘管，以及用于对循环风进行过滤的风机过滤单元；所述新风机和除湿机设置于洁净室外侧，所述新风机通过除湿机连接洁净室侧面的回风夹道，所高压喷雾装置设置于回风夹道中，所述风机过滤单元设置洁净室顶部的送风层中，所述回风夹道与送风层之间设置有干盘管。

所述的用于洁净室的空调系统中，所述洁净室下方设置有回风层，所述回风层与回风夹道之间设置有化学过滤装器。

所述的用于洁净室的空调系统中，所述新风机的出口设置有一旁通管道连接至回风夹道。

所述的用于洁净室的空调系统中，所述新风机的壳体内依次设置有初效过滤器、中效过滤器、预热器、预冷器、风机以及高效过滤器。

所述的用于洁净室的空调系统中，所述新风机的预冷器和风机之间设置有水洗装置，所述风机和高效过滤装置之间设置有化学过滤装置。

所述的用于洁净室的空调系统中，所述回风夹道包括设置于洁净室两侧的两个回风夹道，所述两个回风夹道各自分别连接有一组除湿机和新风机。

有益效果：

本发明提供了一种用于洁净室的空调系统，包括新风机，除湿机，用于对所述空调系统中的循环风加湿的高压喷雾装置，用于对循环风进行温度调节的干盘管，以及用于对循环风进行过滤的风机过滤单元；所述新风机和除湿机设置于洁净室外侧，所述新风机通过除湿机连接洁净室侧面的回风夹道，所高压喷雾装置设置于回风夹道中，所述风机过滤单元设置洁净室顶部的送风层中，所述回风夹道与送风层之间设置有干盘管。所述的用于洁净室的空调系统通过分别对新风以及循环风进行净化处理，提高了洁净室内空气洁净度，所述系统通过对新风进行预热或预冷处理提高了对洁净室内循环风的温度控制；此外，本所述系统的各个机组和管道占用空间小、运行噪音低。

附图说明

图1为本发明提供的用于洁净室的空调系统的结构原理图。

图2为本发明提供的用于洁净室的空调系统中，新风机的结构原理图。

具体实施方式

本发明提供一种用于洁净室的空调系统，为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1，本发明提供一种用于洁净室的空调系统，图中箭头用于表示系所述空调系统中气流的方向。

所述的用于洁净室的空调系统包括用于抽吸室外新风并对新风进行净化、预热或预冷处理的新风机10，用于对新风进行除湿的除湿机20，用于对所述空调系统中的循环风加湿的高压喷雾装置30，用于对循环风进行温度调节的干盘管40，以及用于对循环风进行过滤的风机过滤单元50（实际应用中设置有多个风机过滤单元）；所述新风机10和除湿机20设置于洁净室外侧，所述新风机10通过除湿机20连接洁净室901侧面的回风夹道903，所高压喷雾装置30设置于回风夹道903中，所述风机过滤单元50设置洁净室901顶部的送风层904中，所述回风夹道903与送风层904之间设置有干盘管40。优选地，所述高压喷雾装置设置于回风夹道中的高架地板上。

具体地，所述的用于洁净室的空调系统具有适合高温环境（如夏季）和低温环境（如冬季）的工作模式。高温环境下，循环风经过风机过滤单元加压过滤后垂直送入洁净室内，然后进入回风夹道，同时新风机对新风进行预冷及净化处理并输送至除湿机进行除湿处理，经除湿处理的新风输送至回风夹道与循环风混合，并进一步通过干盘管调节温度后送入洁净室顶部的送风层进行循环利用。然而低温环境下，循环风经过风机过滤单元加压过滤后垂直送入洁净室内，然后进入回风夹道，同时新风机对新风进行预热及净化处理并输送至回风夹道，经高压喷雾装置进行加湿处理后与循环风进行混合，混合后的循环风经干盘管进行温度调节后送入洁净室顶部的送风层进行循环利用；当处于过度季节时，用户可以根据实际情况开启所空调系统中的除湿机或高压喷雾装置。实际应用中，用户通过调节新风机、除湿机或高压喷雾装置、风机过滤单元等机组，实现对洁净室内空气的温度、湿度以及洁净度的调节。由于所述的用于洁净室的空调系统通过分别对新风以及循环风进行净化处理，提高了洁净室内空气洁净度，所述系统通过对新风进行预热或预冷处理提高了对洁净室内循环风的温度控制；此外，由于所述空调系统不需要一次回风循环机组及其相应的进风管道和出风管道，因此使得所述空调系统占用空间减小，并且运行时的噪音减低。

实际应用中，洁净室901的下方设置有回风层902，实际应用中，洁净室901与回风层之间设置有透风的高架地板，因此洁净室901的空气通过回风层902再进入洁净室侧面的回风夹道903，所述回风层902与回风夹道903之间设置有化学过滤装器60，因此进一步提高了洁净室空气的洁净度。

所述的用于洁净室的空调系统中，所述新风机的出口设置有一旁通管道连接至回风夹道。通过设置所述的旁通管道，因此用户可以根据实际情况调节新风进入除湿机以及进入旁通管道的流量，便于对新风的输送进行控制。

进一步的，所述的用于洁净室的空调系统中，所述新风机10的壳体内依次设置有初效过滤器101、中效过滤器102、预热器103、预冷器104、风机106以及高效过滤器108。具体地，在风机的作用下，室外新风被吸入新风机，经过初效过滤器101和中效过滤器102过滤后通过预热器103进行预热(低温环境下)或者预冷器104预冷（高温环境下），然后经过高效过滤器108过滤，因此保证了新风的洁净度，由于新风及对新风进行了预热或者预冷处理，方便了新风与循环风混合后的温度控制。

进一步的，所述的用于洁净室的空调系统中，所述新风机10的预冷器104和风机106之间设置有水洗装置105，所述风机和高效过滤装置之间设置有化学过滤装置107。具体地，所述的水洗装置105用于除去新风中NH₄⁺，SO₄^2-,NO₃^-等有害物质，所述化学过滤装置107进一步对新风进行净化处理，因此提高了新风的洁净度，即提高了洁净室空气的洁净度。

实际应用中，当洁净室空间较大时，洁净室侧面的回风夹道包括设置于洁净室两侧的两个回风夹道，所述两个回风夹道各自分别连接有一组除湿机和新风机，以此达到提高洁净室空气的洁净度的目的。由于第一回风夹道和第二回风夹道并列设置，因此，下风层与第一回风夹道之间以及下风层与第二回风夹道之间均设有化学过滤器，送风层与第一回风夹道之间以及与送风层与第二回风夹道之间均设有干盘管。

综上所述，本发明提供的用于洁净室的空调系统通过新风机对新风净化处理以及风机净化单元对循环风净化处理，提高了洁净室空气的洁净度，通过调节除湿器或高压喷雾装置便于对洁净室空气湿度的精确调节，通过新风机及干盘管实现了对洁净室内温度的精确调节，此外，所述的空调系统中各个机组及管段占用空间小，机组运行噪音小。通过在洁净室的回风层和回风夹道之间设置化学过滤器，进一步提高了洁净室空气的洁净度。

可以理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，而所有这些改变或替换都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。