红外线加热器的制作方法

本实用新型涉及一种加热装置，更具体地说，它涉及一种红外线加热器。

背景技术：

在半导体领域中，硅片需要预先清洗，需要配置硅料清洗设备。而且硅料清洗设备对清洗温度有一定的要求，通常需要预先加热水，再注入指定的清洗设备中。目前常用的加热设备分为水箱式和即热式。水箱式通常是预先加热储存在水箱中的水，使用完之后热水不能及时供应。使用即热式的加热设备可以实现在线加热，保证使用过程中水温恒定。

授权公告号为CN202188618U的中国专利公开了一种即热式恒温在线加热器，该加热器包括壳体、加热组件和用于控制加热组件的控制系统，壳体内部为与外界水通道连通的空腔，壳体内部设置有将空腔分为内外两层的隔离板，设置在空腔内部的导热层开有进水的入水口，位于在导热层外部的中和层设置有输出热水的出水口，隔离板设置有连通导热层和中和层的水流通孔，加热组件设置在导热层里，中和层里设置有连接控制系统的温度传感器。

但是该加热器的加热源只有一处，热量从热源向周围的水扩散，对于在线加热器来讲，离热源较远处的水可能来不及充分加热就要流入下一个单元。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种红外线加热器，在该加热器内设置多点加热源，同时在加热器内垂直水流方向设置若干缓流板，使水流经在线加热器得到充分加热，便于后期使用。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种红外线加热器，包括设置于壳体内部的加热槽，加热槽的上方固定有与加热槽密封的顶盖，加热槽底部开设进水口，顶部上开设出水口；于加热槽内部与顶盖和加热槽底面平行，并顺向设置若干带有导流孔的缓流板；加热槽内部于顶盖和加热槽底部之间设置有贯穿缓流板的至少三根石英管，石英管内部设置红外线加热棒。

采用以上技术方案，加热槽槽底设置进水口，槽顶部设置出水口，由于加热槽用于在线加热，进水口位于下方，进入的水需要充满整个加热槽才可以从出水口流出，并且进入后面的工序中。如果进水口出现故障，停止供水时，加热槽内部仍然充满水防止加热槽内出现“干烧”现象。于加热槽内部与顶盖和加热槽底面平行，并顺向设置若干带有导流孔的缓流板，增大水流由下至上的流动阻力，增加水流流过的路程，使水流经加热槽停留较长时间，使水充分加热。在加热槽内部顶盖和加热槽底部之间贯穿石英管竖直多点分布石英管，石英管内设置红外线加热棒，在整个加热槽内分布多个加热源，热量可以更快传递到周围的水中，加热效率更高，适合在线快速加热过程。

本实用新型进一步设置为，顶盖上方设置一个与加热槽侧壁以及顶盖能够形成密闭空间的可拆卸的上盖板，出水口从顶盖伸出并穿过上盖板向外延伸。

由于本方案中涉及水电共存的体系，需要进入电路，而引入的电路不能着水。因此，在加热槽的顶盖上方增设一个密闭的空间进行干湿分离，密闭的空间内用于集合电路体系，出水口穿过上盖板向外延伸将液体直接引入下一工序。保证整个加热槽的安全性。此外，上盖板设置为可拆卸方式，便于维修。

本实用新型进一步设置为，石英管下端与加热槽底部相连，石英管的上端与顶盖连通。

采用以上技术方案，石英管分离的设置于加热槽内，一方面保证石英管内部干燥并且上端开口便于放置或者更换红外线加热棒，另一方面远红外线通过石英管时产生多次反射和折射的乳浊效应，具有很好的远红外辐射特点。使用红外线加热棒加热，热源不用与液体直接接触就可加热，效率更高。

本实用新型进一步设置为，所述缓流板上的通孔大小不一，同时相邻两个缓流板上导流孔的位置相同。

采用以上技术方案，水从位于下方的进水口进入，流经缓流板，在缓流板上设置大小不一的通孔。水以同样速度流过缓流板时，产生分流，流过较大孔水的流量大，流速小；流过较小孔的水流量小，流速大。各分流通过缓流板之后，由于流速流量不同，互相之间发生扰动，从而促进了加热槽内部的水的热交换。通过每一层缓流板都经过一次热交换，加热槽内水的热量得到充分交换，加热更加均匀。

本实用新型进一步设置为，缓流板上的导流孔大小不一，且相邻两个缓流板之间的导流孔位置交错设置。

采用以上技术方案，相邻两个缓流板之间的通孔交错设置，水流达到第一个缓流板时，经过通孔分流形成多个支流。再流经相邻的缓流板时，经过通孔进行再次分流。相当于在加热槽内又增加了扰流元件，促进液体混合均匀，促进热交换。

本实用新型进一步设置为，与进水口相连并且向外延伸设置带有阀门的管道。

采用以上技术方案，由于进水口设置在加热槽的底面，在进水口处设置带有阀门的软管方便其与上水管连接，以供后面工序用水。

本实用新型进一步设置为，在加热槽的地面下方设置若干支脚。

采用以上技术方案，在加热槽下方设置支脚将真个加热槽支撑起来，方便进水口接水。

本实用新型进一步设置为，在加热槽的外壁设置保温棉层。

采用以上技术方案，在加热槽外壁包裹设置保温棉层，保证加热槽内部温度恒定，减少热量散失。

有益效果：加热槽内部竖直分布多个加热源，热量可以更快传递到周围的水中，加热效率更高，适合在线快速加热过程。贯穿石英管顺次设置的带有通孔的缓流板，增大水流由下至上的流动阻力，增加水流流过的路程，使水流经加热槽停留较长时间，使水充分加热。

附图说明

图1为实施例一中红外线加热器的剖视图；

图2为实施例一中石英管和缓流板的结构示意图；

图3为实施例二中石英管和缓流板的结构示意图。

附图标记说明：1、加热槽；11、顶盖；12、上盖板；13、凸缘；14、进水口；15、出水口；16、支脚；17、阀门；2、石英管；3、红外线加热棒；31、加热部分；32、连线部分；4、缓流板；41、导流孔；5、保温棉层。

具体实施方式

实施例一：一种红外线加热器，如图1所示，属于流水线清洗设备中加热流动水的环节。红外线加热器包括壳体（未画出），在壳体内部设置加热槽1，加热槽1上部连接密封的顶盖11，于顶盖11上方设置一个与加热槽1侧壁以及顶盖11能够形成密封空腔的上盖板12。加热槽1侧壁顶端向外延伸形成凸缘13，上盖板12盖于凸缘13之上，二者使用螺栓固定，便于拆卸、方便维修。在加热槽1的底面开设进水口14，进水口14延伸设置一段带有阀门17的管道，便于连接上水管。同时在加热槽1下端设置多个支脚16支撑起加热槽1便于接上水管。在加热槽1的顶盖11上开设出水口15，并且该出水口15延伸至上盖板12之上，同时与下一用水机构相连。顶盖11与上盖板12之间形成干燥的空腔，内部安装电路系统，带有进水口14和出水口15的加热槽1为水流动的空间。整个加热槽1分为干湿分离的两个区域，互不干涉，避免安全隐患。

在加热槽1内部竖直设置五根中空的石英管2，石英管2下端抵设于加热槽1底面并与底板相连，石英管2上端延伸至加热槽1的顶盖11与顶盖11相通。石英管2以加热槽1底面中心为圆心围绕成圆形均匀分布，于石英管2内部设置红外线加热棒3。热源均匀分布，加热效率更高。红外线加热棒3包括加热部分31和连线部分32，其中加热部分31位于石英管2内部，连线部分32靠近加热槽1的顶盖11并从顶盖11延伸出连接线。在顶盖11和上盖板12形成的空腔内，连接线与温度传感器相连控制加热槽1内部水的温度，同时，在该区域也设置探测加热槽1内部压力的压力表以及泄压阀。若加热槽1内部温度较高时产生较大压力，启动泄压减少内部气压。该部分的电路系统和压力系统以常规设计安装。加热槽还配有常规的液位传感器进行保护，当液位过低，设备有报警提示，防止加热器干烧，当液位过高时，有报警提示，停止注液。在加热槽1的外部罩设一层保温棉层5，减少热量散失。

如图2所示，在加热槽1内部与顶盖11和底面平行的方向贯穿石英管2顺向依次排布三个相同的缓流板4，减缓液体的流速，使其在加热槽1内停留更长时间，加热更加充分。缓流板4上设置若干导流孔41，导流孔41的大小各不相同。水从进水口14接入流入加热槽1，抵达第一个缓流板4时分流，由于从大孔和小孔流出的液体流速各不相同，在缓流板4的上方又互相融合，在液体内部形成较大的扰动，液体内部的热量能够得到充分交换，整个加热槽1内部受热更加均匀。

通过在加热槽1内部分布多个加热源，多点同步加热效率更高。此外，在加热槽1内部设置的缓流板4可减缓加热槽1内液体的流速，加热更加充分。缓流板4上设置大小不一的导流孔41进一步扰动液体，使加热更加均匀。

实施例二：一种红外线加热器，如图3所示，本实施例与实施例一的区别在于：本实施例中相邻的两个缓流板4上的导流孔41位置交错分布，液体从进水口14进入加热槽1，经过缓流板4减缓流速同时经导流孔41分流，再经过下一个相邻的缓流板4时，由于导流孔41错位分布，液体再次经过不同孔径导流孔41形成紊流，进一步加大扰动液体，促进液体内部的热交换，加热槽1内液体加热更加均匀。

将相邻两块缓流板4上的导流孔41位置错位分布，促进加热槽1内部液体流动，加热更加均匀。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。