1.一种晶圆烘箱自动门，其特征在于，包括门体、磁力锁、推门气缸和控制器，所述磁力锁和推门气缸分别与控制器相连，所述控制器能够连接烘箱系统，且接受烘箱系统的电信号，从而控制所述磁力锁和推门气缸。
2.根据权利要求1所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述烘箱自动门还设有开门按钮，所述开门按钮与控制器相连，使得开门按钮能够控制磁力锁短时间断开。
3.根据权利要求1所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述磁力锁与控制器之间还连有继电器，该继电器用于控制磁力锁电路的通断。
4.根据权利要求1所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述控制器还连有用于控制推门气缸回退的行程开关。
5.根据权利要求4所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述行程开关安装于烘箱门框左下角，当烘箱门关闭时行程开关被压住，当烘箱门打开到一定角度时行程开关被完全释放，从而控制所述推门气缸回退。
6.根据权利要求1-5任一所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述烘箱自动门还设有拉门气缸，该拉门气缸用于将门体拉紧。
7.根据权利要求6所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述磁力锁安装于拉门气缸末端。
8.根据权利要求1-5或7任一所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述推门气缸末端设有导轮。
9.根据权利要求8所述的晶圆烘箱自动门，其特征在于，所述导轮为磁铁，所述门体与推门气缸对应位置设有铁片。