一种晶圆烘箱自动门的制作方法

本实用新型涉及芯片生产技术领域，特别是一种晶圆烘箱自动门。

背景技术：

单晶硅圆片由普通硅砂提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得多晶硅，多晶硅再经熔融、单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆。

晶圆是当前半导体组件的基础半成品，在生产晶圆的过程中，时常需要将晶圆置入烘烤装置，通过烘箱的适当温度来将晶圆的光刻胶体等等，进行物理性或化学性的转变，例如热固化等等。

普通厌氧性烘箱设有烘箱系统，可预设置烘烤时间，控制烘箱内升温和烘烤风扇的转动，烘烤结束时风扇停止转动，烘箱系统起动报警装置报警，工作人员发现烘箱报警后手动将烘箱门打开取出晶圆产品，但是该烘箱无主动降温功能，自动降温速度缓慢，烘烤的产品如果取出不及时会导致实际烘烤时间增加，从而导致产品质量异常。

上述烘箱的烘箱门是机械门锁，烘烤结束后必须手动将门打开。晶圆产品对烘烤时间的长短比较敏感，由于烘箱无主动降温功能，在封闭空间内降温缓慢。

在实际操作中会出现如下情况：

1、烘箱报警后作业人员处理不及时，导致产品过烘；

2、烘箱报警后，被误消除了报警，长时间才发现产品未取出，导致产品严重过烘。

技术实现要素：

本实用新型的发明目的在于：针对现有技术存在烘箱在烘烤结束后必须手动开门给晶圆产品降温的问题，提供一种晶圆烘箱自动门，该晶圆烘箱自动门在烘烤结束后自动打开烘箱门给晶圆产品降温，避免出现过烘的情况，大大的增加了产品的合格率。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种晶圆烘箱自动门，包括门体、磁力锁、推门气缸和控制器，所述磁力锁和推门气缸分别与控制器相连，所述控制器能够连接烘箱系统，且接受烘箱系统的电信号，从而控制所述磁力锁和推门气缸。

该晶圆烘箱自动门，当烘箱烘烤程序结束时，控制器接收到烘烤结束的信息之后将磁力锁断开，并控制推门气缸将门体推开，烘箱内开始降温，避免出现过烘的情况，大大的增加了产品的合格率。

作为本实用新型的优选方案，所述烘箱自动门还设有开门按钮，所述开门按钮与控制器相连，使得开门按钮能够控制磁力锁短时间断开。在烘烤时需要先手动将烘箱门打开，放入晶圆产品烘烤，设置开门按钮方便开门放入晶圆产品。

作为本实用新型的优选方案，所述磁力锁与控制器之间还连有继电器，该继电器用于控制磁力锁电路的通断。磁力锁功率大，在磁力锁与控制器之间连接继电器，调节磁力锁电流，可以避免控制器直接对磁力锁供电，从而提高控制器的性能和寿命。

作为本实用新型的优选方案，所述控制器还连有用于控制推门气缸回退的行程开关。设置一个控制气缸回退的装置，当工作人员发现烘烤结束时，可控制气缸回退，避免取产品时影响工作人员的操作和影响关闭烘箱门。

作为本实用新型的优选方案，所述行程开关安装于烘箱门框左下角，当烘箱门关闭时行程开关被压住，当烘箱门打开到一定角度时行程开关被完全释放，从而控制所述推门气缸回退。当工作人员将烘箱门打开到一定角度后，行程开关被打开，控制器接收到形成开关的信号后将命令推门气缸回退。

作为本实用新型的优选方案，所述烘箱自动门还设有拉门气缸，该拉门气缸用于将门体拉紧。设置拉门气缸，当门体关闭时，拉门气缸将门体拉紧防止漏气而影响烘烤的效果。

作为本实用新型的优选方案，所述磁力锁安装于拉门气缸末端。将磁力锁安装于拉门气缸末端，当磁力锁作用后，拉门气缸可将门体拉紧在烘箱上，增强烘箱的气密性。

作为本实用新型的优选方案，所述推门气缸末端设有导轮。在推门气缸末端设置导轮，减小推门时推门气缸与门体的之间的摩擦力。

作为本实用新型的优选方案，所述导轮为磁铁，所述门体与推门气缸对应位置设有铁片。将导轮设置为磁铁，使得推门气缸在推门的过程中门体与推门气缸之间相对稳定，推门结束都门体能一定角度打开。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

当烘箱烘烤程序结束时，控制器接收到烘烤结束的信息之后将磁力锁断开，并控制推门气缸将门体推开，烘箱内开始降温，避免出现过烘的情况，大大的增加了产品的合格率。

附图说明

图1是本实用新型晶圆烘箱自动门的结构示意图。

图2为本实用新型晶圆烘箱自动门的俯视图。

图3为图2中A处的局部放大图。

图4为本实用新型晶圆烘箱自动门的系统模块图。

图中标记：1-箱体，2-门体，3-磁力锁，4-推门气缸，401-导轮，5-开门按钮，6-拉门气缸，7-行程开关，8-磁铁。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1、图2、图3和图4所示，本实用新型晶圆烘箱自动门，包括门体2、磁力锁3、推门气缸4和控制器，所述磁力锁3和推门气缸4分别与控制器相连，所述控制器能够连接烘箱系统，且接受烘箱系统的电信号，从而控制所述磁力锁3和推门气缸4。

其中烘箱系统设有控制烘烤风扇转动的模块，即为依次连接的烘箱控制器一、继电器一和烘烤风扇。

具体的，所述控制器与烘箱系统中继电器一连接，并接收继电器一的电信号，当烘箱烘烤程序结束时，烘箱控制器一发出结束烘烤的同时，控制器从继电器一种得到结束烘烤的命令，将控制磁力锁3断开，并控制推门气缸4将门体2推开。

进一步的，如图1和图4所示，所述烘箱自动门还设有开门按钮5，所述开门按钮5与控制器相连，使得开门按钮5能够控制磁力锁3短时间断开。在烘烤时需要先手动将烘箱门打开，放入晶圆产品烘烤，设置开门按钮方便开门放入晶圆产品。

综上所述，该晶圆烘箱自动门，当烘箱烘烤程序结束时，控制器接收到烘烤结束的信息之后将磁力锁断开，并控制推门气缸将门体推开，烘箱内开始降温，避免出现过烘的情况，大大的增加了产品的合格率。

实施例2

如图2和图4所示，本实施例中，和实施例1的区别在于，所述控制器还连有用于控制推门气缸4回退的行程开关7。设置一个控制气缸回退的装置，当工作人员发现烘烤结束时，可控制气缸回退，避免取产品时影响工作人员的操作和影响关闭烘箱门。

具体的，所述行程开关7安装于烘箱门框左下角，当门体关闭时行程开关7被压住，当门体打开到一定角度时行程开关7被完全释放，从而控制所述推门气缸4回退。当工作人员将烘箱门打开到一定角度后，行程开关被打开，控制器接收到形成开关的信号后将命令推门气缸回退。

实施例3

如图4所示，本实施例中，和实施例1的区别在于，所述磁力锁3与控制器之间还连有继电器，该继电器用于控制磁力锁电路的通断。磁力锁功率大，在磁力锁与控制器之间连接继电器，调节磁力锁电流，可以避免控制器直接对磁力锁供电，从而提高控制器的性能和寿命。

实施例4

如图1和图4所示，本实施例中，和实施例1的区别在于，所述烘箱自动门还设有拉门气缸6，该拉门气缸6用于将门体2拉紧。设置拉门气缸，当烘箱门关闭时，拉门气缸将烘箱拉紧防止漏气影响烘烤效果。

具体的，所述磁力锁安装于拉门气缸末端。将磁力锁安装于拉门气缸末端，当磁力锁作用后，拉门气缸可将门体拉紧在烘箱上，增强烘箱的气密性。

实施例5

如图2和图3所示，本实施例中，和实施例1的区别在于，所述推门气缸4末端设有导轮401。在推门气缸末端设置导轮，减小推门时推门气缸与门体的之间的摩擦力。

具体的，所述导轮401为磁铁，所述门体2与推门气缸4对应位置设有铁片。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。