硅晶片烧结炉的制作方法

文档序号:18256949发布日期:2019-07-24 10:19阅读:531来源:国知局
硅晶片烧结炉的制作方法

本实用新型涉及一种烧结炉,特别涉及硅晶片烧结炉。



背景技术:

众所周知,烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备,烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结,为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡、还原、合金化、组织转变等顺利进行,烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。

但是传统的烧结炉在保温的能力和抗腐蚀的能力较差,且在保护的功能上不高。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供硅晶片烧结炉,可做到有效的保护烧结炉本体。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型硅晶片烧结炉,包括烧结炉本体,所述烧结炉本体包括烧结炉炉身,所述烧结炉炉身的表面覆盖一层保温层,所述保温层的表面覆盖一层耐腐蚀层,所述烧结炉炉身的顶端设置有连接盖,所述连接盖的顶端设置有烧结炉盖,所述烧结炉盖的顶端设置有拉环,所述连接盖的四周设置有支撑杆,所述支撑杆的顶端设置有支撑柱,所述支撑柱的顶端设置有连接环。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述烧结炉炉身的一侧设置有观察口,且观察口贯穿保温层和耐腐蚀层。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述烧结炉炉身的底端设置有排出盖。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述烧结炉炉身的底部设置有连接杆,所述连接杆的两端设置有支撑架。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述保温层主要由岩棉材料制作而成。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述耐腐蚀层主要由陶瓷材料制作而成。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

本实用新型通过设置由岩棉材料制作而成的保温层可以有效的防护了烧结炉炉身的热量的流失,可以高效使得保温烧结炉炉身保温,设置由陶瓷材料制作而成的耐腐蚀层可以有效的保护烧结炉炉身不会受到空气中的水分而腐蚀掉,使得烧结炉炉身的使用寿命增强,设置的支撑杆和支撑柱以及连接环可以有效的保护烧结炉本体。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型的整体结构示意图;

图中:1、烧结炉本体;2、烧结炉炉身;3、保温层;4、耐腐蚀层;5、连接盖;6、烧结炉盖;7、拉环;8、支撑杆;9、支撑柱;10、连接环;11、观察口;12、排出盖;13、连接杆;14、支撑架。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

其中附图中相同的标号全部指的是相同的部件。

实施例1

如图1所示,本实用新型提供硅晶片烧结炉,包括烧结炉本体1,烧结炉本体1包括烧结炉炉身2,烧结炉炉身2的表面覆盖一层保温层3,保温层3的表面覆盖一层耐腐蚀层4,烧结炉炉身2的顶端设置有连接盖5,连接盖5的顶端设置有烧结炉盖6,烧结炉盖6的顶端设置有拉环7,连接盖5的四周设置有支撑杆8,支撑杆8的顶端设置有支撑柱9,支撑柱9的顶端设置有连接环10。

进一步的,烧结炉炉身2的一侧设置有观察口11,且观察口11贯穿保温层3和耐腐蚀层4,设置的观察口11可以方便操作者观察硅晶片加工的进程。

烧结炉炉身2的底端设置有排出盖12,设置排出盖可以方便烧结炉本体1排出炉渣。

烧结炉炉身2的底部设置有连接杆13,连接杆13的两端设置有支撑架14,连接杆13使得支撑架的结构稳定性增强,使得支撑架的支撑能力更加稳定。

保温层3主要由岩棉材料制作而成,岩棉材料具有很高强的保温能力,有效的防止烧结炉炉身2的热量的流失。

耐腐蚀层4主要由陶瓷材料制作而成,陶瓷材料的防腐蚀能力很高,可以保护烧结炉炉身2不会受到空气中的水分而腐蚀掉,使得烧结炉炉身2的使用寿命增强。

具体的,在烧结炉本体1使用时,拉住拉环7,使得烧结炉盖6拉起,然后将需要被加工的硅晶片放入至烧结炉本体1内部,然后盖住烧结炉盖6,然后使其烧结炉本体1工作,设置的支撑杆8和支撑柱9以及连接环10可以有效的保护烧结炉本体1,可以防止物体对连接盖5四周进行破坏,设置的由岩棉材料制作而成的保温层3可以有效的防护了烧结炉炉身2的热量的流失,可以高效使得保温烧结炉炉身2保温,设置由陶瓷材料制作而成的耐腐蚀层4可以有效的保护烧结炉炉身2不会受到空气中的水分而腐蚀掉,使得烧结炉炉身2的使用寿命增强。

综上所述,本实用新型通过设置由岩棉材料制作而成的保温层3可以有效的防护了烧结炉炉身2的热量的流失,可以高效使得保温烧结炉炉身2保温,设置由陶瓷材料制作而成的耐腐蚀层4可以有效的保护烧结炉炉身2不会受到空气中的水分而腐蚀掉,使得烧结炉炉身2的使用寿命增强,设置的支撑杆8和支撑柱9以及连接环10可以有效的保护烧结炉本体1。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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