一种扩散炉炉体的制作方法

[0001]
本实用新型属于扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉炉体。


背景技术：

[0002]
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]
一般的扩散炉炉体在工作完成后，需要对其进行散热，但是一般的扩散炉炉体在散热的过程中，散热效果较差，且需要的时间较长。


技术实现要素：

[0004]
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种扩散炉炉体，有效的解决了一般的扩散炉炉体在散热的过程中，散热效果较差，且需要的时间较长的问题。
[0005]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉炉体，包括炉体本体，所述炉体本体的炉壁内开设有冷却管道，炉体本体的顶端一侧固定安装有箱体，箱体的顶端固定安装有循环泵和制冷设备，循环泵的进水端与箱体的内部连通，循环泵的出水端固定连接有输水管，输水管的一端与冷却管道的内部连通，冷却管道的一端固定连接有回流管，回流管的一端与箱体的内部连通。
[0006]
优选的，所述制冷设备的一端固定连接有输气管，输气管上开设有气孔，且输气管的一端固定安装于箱体的内部。
[0007]
优选的，所述箱体的内部等距固定安装有隔板，箱体的一侧安装有盖体。
[0008]
优选的，所述冷却管道的底部等距固定安装有短管，短管的底端固定连接有汇总管，汇总管的底端通过导管与外接收集箱连通。
[0009]
优选的，所述短管的中部固定安装有阀门，阀门的中部固定安装有齿轮，齿轮之间通过链条传动连接。
[0010]
优选的，其中一个所述阀门的一端固定安装有转盘，且转盘的外壁开设有防滑槽。
[0011]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
[0012]
1)、在工作中，通过设置的循环泵、箱体、制冷设备和冷却管道等的配合使用，通过循环泵将箱体内的水通过输水管输送到冷却管道内部，通过水的流动对炉体本体进行散热，然后通过回流管回到箱体内部，期间，通过制冷设备产生冷气，然后通过输气管上的气孔进入到箱体的内部，对回流后的水进行冷却，由于箱体的内部等距固定安装有隔，能够延缓水的流动，延长对水的冷却时间，循环动作，能够快速的完成对炉体本体的散热过程，效果良好；
[0013]
2)、在工作中，通过设置的转盘、阀门、齿轮和链条等的配合使用，通过转盘带动阀门转动，由于阀门上的齿轮之间通过链条传动连接，故能够同时打开多个阀门，冷却管道内的水通过短管后进入到汇总管内，然后进入到外接收集箱内部，从而完成对其的处理。
附图说明
[0014]
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
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图1为本实用新型的结构示意图；
[0016]
图2为本实用新型的箱体内部结构示意图；
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图3为本实用新型的汇总管安装结构示意图；
[0018]
图中：1、炉体本体；2、冷却管道；3、箱体；4、循环泵；5、回流管；6、制冷设备；7、输气管；8、气孔；9、隔板；10、短管；11、汇总管；12、阀门；13、齿轮；14、链条；15、转盘；16、输水管。
具体实施方式
[0019]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0020]
实施例一，由图1、图2和图3给出，本实用新型包括炉体本体1，炉体本体1的炉壁内开设有冷却管道2，能够通过冷却管道2对炉体本体1进行快速散热，炉体本体1的顶端一侧固定安装有箱体3，箱体3的顶端固定安装有循环泵4和制冷设备6，循环泵4的进水端与箱体3的内部连通，能够通过循环泵4提供动力，循环泵4的出水端固定连接有输水管16，输水管16的一端与冷却管道2的内部连通，冷却管道2的一端固定连接有回流管5，能够通过回流管5将水循环利用，回流管5的一端与箱体3的内部连通。
[0021]
实施例二，在实施例一的基础上，制冷设备6的一端固定连接有输气管7，输气管7上开设有气孔8，且输气管7的一端固定安装于箱体3的内部，能够对箱体3内的水进行快速冷却。
[0022]
实施例三，在实施例一的基础上，箱体3的内部等距固定安装有隔板9，箱体3的一侧安装有盖体，能够延缓水的流动。
[0023]
实施例四，在实施例一的基础上，冷却管道2的底部等距固定安装有短管10，短管10的底端固定连接有汇总管11，汇总管11的底端通过导管与外接收集箱连通，能够将冷却管道2内的水放出。
[0024]
实施例五，在实施例四的基础上，短管10的中部固定安装有阀门12，阀门12的中部固定安装有齿轮13，齿轮13之间通过链条14传动连接，能够同时打开阀门12。
[0025]
实施例六，在实施例五的基础上，其中一个阀门12的一端固定安装有转盘15，且转盘15的外壁开设有防滑槽，便于使用人员转动转盘15。
[0026]
工作原理：工作时，箱体3的背面还安装有泄压阀，当需要对炉体本体1进行散热时，启动循环泵4，循环泵4将箱体3内的水通过输水管16输送到冷却管道2内部，通过水的流动对炉体本体1进行散热，然后通过回流管5回到箱体3内部，期间，通过制冷设备6产生冷气，然后通过输气管7上的气孔8进入到箱体3的内部，对回流后的水进行冷却，由于箱体3的内部等距固定安装有隔板9，能够延缓水的流动，延长对水的冷却时间，循环动作，能够快速的完成对炉体本体1的散热过程，散热完成后，冷却管道2内含有一定的水，这时转动转盘15，转盘15带动阀门12转动，由于阀门12上的齿轮13之间通过链条14传动连接，故能够同时
打开多个阀门12，冷却管道2内的水通过短管10后进入到汇总管11内，然后进入到外接收集箱内部，从而完成对其的处理。
[0027]
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0028]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。