一种用于扩散炉内的石英舟传送机构的制作方法

本发明涉及光伏行业中的生产设备，更具体地说是涉及一种用于扩散炉内的石英舟传送机构。

背景技术：

扩散炉内配备有一套传送机构，该机构的作用是实现石英舟在扩散炉内上下及前后方向各个位置上的传输。其中传输的上下位置为SIC桨及各个暂存区位置，传输前后方向上位置依次为：暂存区、升降通道区和推舟机构SIC桨区。机械手在暂存区或SIC桨上取放石英舟后，均需先退回升降通道区，上升或下降至需要的高度，再运行下一步动作。

如图1，现有设计中，侧向出舟机构6的位置在机械手升降通道区5的正下方，假设侧向出舟机构6上传输的石英舟8已经到达机械手抓取位或正在此区域附近运行，而此时机械手又正传送从SIC桨4上抓取石英舟8并退回升降通道区5，如果SIC桨4的取放舟位置较高，那么机械手在抓取SIC桨4上石英舟8并退回升降通道区5时不会与侧向出舟机构6上传输的石英舟8发生碰撞。如图2，如果SIC桨4的取放舟位置较低或高度降低时，机械手在抓取SIC桨4上的石英舟8并退回升降通道区5时会与侧向出舟机构6上传输的石英舟8便会发生碰撞，对石英舟造成损坏。

技术实现要素：

为解决上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石英舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石英舟发生碰撞。

本发明的技术方案为：一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉内一侧的竖直向上的立柱，固定于扩散炉内另一侧的推舟机构以及固定于扩散炉底部的侧向出舟机构，所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区，所述推舟机构上水平伸出一SIC桨，所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区，所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手，所述侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方。

所述机械手包括水平手臂和手抓，所述水平手臂的一端安装在所述立柱上，另一端安装所述手抓，所述手抓沿所述水平手臂左右运动。

所述侧向出舟机构通过固定座固定在所述扩散炉底部，所述固定座包括连接板和设于所述连接板同侧的间隔开的至少两个环形框体；所述扩散炉底部设有横梁，所述环形框体套在所述横梁上并与该横梁之间通过螺钉连接。

本发明提出的用于扩散炉内的石英舟传送机构，侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石英舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石英舟发生碰撞。而且SIC桨的取舟位置的高度较低时，该扩散炉的整体高度也会降低，这样扩散炉的适应性能就会得到很大的提高。

附图说明

图1为现有技术中SIC桨取舟位置较高时传送石英舟的示意图；

图2为现有技术中SIC桨取舟位置较低时传送石英舟的示意图；

图3为本发明的石英舟传送机构装在扩散炉内的示意图；

图4为本实新型的石英舟传送机构示意图；

图5为本发明中固定座的结构示意图；

图6为本发明中扩散炉底部结构示意图；

图7为固定座与横梁的连接示意图；

图8为图6中A处的放大图。

具体实施方式

如图3和图4，本发明提出的用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉9内一侧的竖直向上的立柱1，固定于扩散炉9内另一侧的推舟机构2以及固定于扩散炉9底部的侧向出舟机构6。立柱1上由上至下固定有多个间隔开的暂存区3，该暂存区3用来摆放已加工或待加工的石英舟，该暂存区3具有竖直方向的暂存区中心线31。立柱1上还设有一沿该立柱1上下运动的机械手7，机械手7包括水平手臂71和手抓72，水平手臂71的一端安装在立柱1上，另一端安装手抓72，手抓72用来抓取石英舟，手抓72沿该水平手臂71左右运动，从而来传送石英舟。

推舟机构2水平伸出一SIC桨4，该SIC桨4用于将已加工/待加工的石英舟从石英管内取出/送入，SIC桨4取舟位置的高度通过推舟机构2安装在扩散炉上的位置高度来调整。该SIC桨4具有竖直方向的SIC桨中心线41。

SIC桨4与暂存区3之间设有升降通道区5，该升降通道区5是机械手上升或下降的运行区域，机械手在SIC桨4上抓取石英舟8后，需先水平退回升降通道区5，在升降通道区5上升或下降至需要的高度再运行下一步动作。该升降通道区5具有竖直方向的升降通道区中心线51。

本实施例中，侧向出舟机构6固定于扩散炉9底部的位置位于暂存区3的正下方，这样由于侧向出舟机构6位于升降通道区5的右侧，这样无论是SIC桨4的取舟位置较高或较低，手抓72抓取SIC桨4上的石英舟8后传输到升降通道区5内的过程中都不会与侧向出舟机构6上的石英舟8发生碰撞。

如图4，侧向出舟机构6通过固定座61固定在扩散炉底部。如图5，固定座61包括连接板611和设于连接板611同侧的间隔开的至少两个环形框体612。如图6，扩散炉9底部设有横梁91，横梁91焊接在PECVD设备9底部。如图7和图8，环形框体612套在横梁91上并与该横梁之间通过螺钉连接。

本发明提出的用于扩散炉内的石英舟传送机构，侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于暂存区的正下方，机械手在抓取SIC桨上的石英舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石英舟发生碰撞。而且SIC桨的取舟位置的高度在很大程度上决定了扩散炉的整体高度，因此在扩散炉的管数相同的情况下，SIC桨的取舟位置的高度较低时，该扩散炉的整体高度也会降低，这样扩散炉的适应性能就会得到很大的提高。

以上的具体实施例仅用以举例说明本发明的构思，本领域的普通技术人员在本发明的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本发明的保护范围之内。