1.一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉（9）内一侧的竖直向上的立柱（1），固定于扩散炉内另一侧的推舟机构（2）以及固定于扩散炉底部的侧向出舟机构（6），所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区（3），所述推舟机构上水平伸出一SIC桨（4），所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区（5），所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手（7），其特征在于：所述侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方。
2.根据权利要求1所述的石英舟传送机构，其特征在于：所述机械手（7）包括水平手臂（71）和手抓（72），所述水平手臂的一端安装在所述立柱（1）上，另一端安装所述手抓，所述手抓沿所述水平手臂左右运动。
3.根据权利要求1所述的石英舟传送机构，其特征在于：所述侧向出舟机构(6)通过固定座(61)固定在所述扩散炉(9)底部，所述固定座包括连接板(611)和设于所述连接板同侧的间隔开的至少两个环形框体(612)；所述扩散炉底部设有横梁(91)，所述环形框体套在所述横梁上并与该横梁之间通过螺钉连接。