一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置的制作方法

文档序号:26146118发布日期:2021-08-03 14:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,包括底座(8),其特征在于,所述底座(8)的顶部焊接安装有水冷仓(12),水冷仓(12)的一侧壁位于水冷仓(12)的顶部焊接安装有注水管(15),水冷仓(12)的另一侧壁位于水冷仓(12)底部焊接安装有泄水管(13),水冷仓(12)内置放置架(17),放置架(17)的内侧壁开设有滑槽(21),滑槽(21)的数量为四组且呈环形阵列排列,滑槽(21)内置滑块(19),每组滑槽(21)内的滑块(19)数量为三组且滑块(19)与滑槽(21)滑动连接设置,滑块(19)的间隔处焊接安装有复位弹簧(18),滑块(19)位于滑槽(21)外部一侧壁焊接安装有隔板(23),隔板(23)的对应侧壁均焊接安装有固定夹(20),放置架(17)的顶部边缘处焊接安装有安装件(16),安装件(16)的数量为四组且呈环形阵列排列,安装件(16)上焊接安装有钢索(9),水冷仓(12)的顶部焊接安装有烘干仓(5),烘干仓(5)呈空心圆柱体结构且烘干仓(5)的顶部与底部均呈开放式结构设置,烘干仓(5)与水冷仓(12)连通设置,烘干仓(5)的内侧壁焊接安装有排风板(11),排风板(11)呈圆环状且排风板(11)位内部中空结构,排风板(11)的内环内侧壁开设有排风孔(10),底座(8)的顶部位于水冷仓(12)的一侧焊接安装有风机(7),风机(7)的出风端焊接安装有连接管(6),连接管(6)为三通管,连接管(6)的一组自由端横向贯穿烘干仓(5)并与排风板(11)焊接连接设置,连接管(6)的另一侧壁自由端位于连接管(6)第一组自由端的对应处横向贯穿烘干仓(5)并与排风板(11)焊接连接设置,烘干仓(5)的顶部焊接安装有顶罩(4),顶罩(4)与烘干仓(5)连通设置,顶罩(4)的前侧壁与外部连通设置,顶罩(4)的顶部外侧壁正中处焊接安装有双轴电机(3),顶罩(4)的顶部外侧壁位于双轴电机(3)的两侧焊接安装有固定件(2),固定件(2)的数量为两组且呈平行对应设置,固定件(2)的对应侧壁转动安装有转轴(1),双轴电机(3)的输出端通过联轴器横向贯穿固定件(2)并与转轴(1)焊接连接设置,钢索(9)纵向贯穿顶罩(4)并延伸至顶罩(4)的外部,钢索(9)位于顶罩(4)外部一端与转轴(1)焊接连接设置,钢索(9)与顶罩(4)滑动连接设置。

2.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述水冷仓(12)呈圆柱体结构且水冷仓(12)的顶部呈开放式设置。

3.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述泄水管(13)和注水管(15)上均设置有截止阀。

4.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述放置架(17)呈圆柱状结构且放置架(17)的外壁均采用镂空结构,放置架(17)的前后侧壁均呈开放式结构设置。

5.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述隔板(23)为镂空结构,隔板(23)的对应侧壁形成一个放置仓(22)。

6.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述固定夹(20)呈弧形状且对应的固定夹(20)相匹配贴合设置,固定夹(20)的对应侧壁均设置有氟橡胶垫。

7.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述放置架(17)的顶部与放置架(17)滑动连接设置,且放置架(17)的顶部内侧壁焊接安装有固定弹簧,固定弹簧的自由端与相邻的隔板(23)焊接连接设置。

8.根据权利要求1所述的一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,其特征在于,所述烘干仓(5)与水冷仓(12)的前侧壁均镶嵌安装有观察窗(14),观察窗(14)为防爆耐高温透明玻璃。


技术总结
本发明公开了一种具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,包括底座,底座的顶部焊接安装有水冷仓,水冷仓的一侧壁位于水冷仓的顶部焊接安装有注水管,水冷仓的另一侧壁位于水冷仓底部焊接安装有泄水管,水冷仓内置放置架,放置架的内侧壁开设有滑槽。该具有多角度调节功能的晶元烘烤用冷却装置,通过设置水冷仓,配合水冷仓内的冷却液能够有效地对其晶元进行快速降温,从而一定程度上缩短了冷却所需时间,同时也大大提高了冷却效率,且装置位于水冷仓的顶部设置有烘干仓,致使装置在对其晶元进行水冷降温后能够直接对其晶元表面的残余水分进行有效的处理,从而避免了因为晶元残余水分而导致的后续工艺的无法进行,大大提高了装置的实用性。

技术研发人员:李双玉
受保护的技术使用者:涌明科技(上海)有限公司
技术研发日:2021.04.09
技术公布日:2021.08.03
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1