一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于极低温制冷设备技术领域，具体涉及机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷装置。
【背景技术】
[0002]极低温环境指低于氦4在常压下的气液相变温度4.2K的环境，它在物理、化学、材料、生物、国防、信息等领域有重要应用。不少高端精密的科学研究和技术应用，不但需要极低温环境而且还需要低振动环境和真空、甚至超高真空环境。目前在极低温装备领域已经有能够获得极低温环境和低振动环境的制冷系统，如冷抽吸系统和稀释制冷系统等。但是现有冷抽吸系统和稀释制冷系统的运行都需要消耗资源稀缺且价格昂贵的液氦，运行成本较大。而且由于液氦杜瓦装置容量有限，极低温环境一般不能长时间连续维持。此外，这些系统由于受到制冷原理的限制，难以实现大范围变温操作。近年来由于液氦供应的日益短缺，国际上开始涌现了一些不需要液氦消耗的基于闭循环制冷机如吉福特-麦克马洪制冷机和脉管式制冷机等的低温和极低温制冷系统。但这类闭循环制冷机系统的运行本身会引入不可忽视的低频机械振动，限制了其在同时要求低振动和极低温环境领域的应用。所以开发能够在无需液氦消耗的情况下获得极低温并能够实现低振动环境和真空、超高真空兼容的装备具有十分重要的意义。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种运行不需要液氦，能获得极低温且温度大范围连续可调，低振动环境和与超高真空环境相兼容的机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。
[0004]本发明提供的机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统，包括:闭循环制冷机系统，氦气热交换气致冷隔振系统，极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统;其中，所述闭循环制冷机系统包括:制冷头、压缩机和氦气输送管道;所述氦气热交换气致冷隔振系统包括:致冷隔振界面、氦气热交换气体及用于密封氦气和隔离振动的软橡胶等;所述极低温节流阀制冷系统包括:换热机构、节流阀、液氦(可为氦4或氦3)池、真空栗以及进、出气管道等;所述温度反馈控制系统由测温元件、加热元件和反馈控温元件经电路连接组成。
[0005]所述氦气热交换气致冷隔振系统中，闭循环制冷机的制冷头伸入致冷隔振界面内，制冷头和致冷隔振界面间填充氦气热交换气体作为制冷降温媒质;氦气热交换气作为热交换媒质致冷的同时能够隔离制冷头的机械振动。
[0006]所述极低温节流阀制冷系统中，换热机构、节流阀、液氦池顺次连接，它们固定在氦气热交换气致冷隔振系统的低温端。极低温节流阀制冷系统中，高压氦气与换热机构进行热交换获得低温;真空栗用于提供低压环境，并通过节流阀的节流制冷作用，进一步降温，获得极低温。所述液氦池用以储存在极低温和低压环境中部分氦气液化形成的液氦，它是本发明提供的机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统的最冷端。针对氦4媒质，最低温度可达1.4 K;针对氦3媒质，最低温度可达0.2 K0
[0007]所述温度反馈控制系统可分为两个部分，分别设置在液氦池和致冷隔振界面的低温端。加热元件、测温元件和反馈控温元件相连接，反馈控温元件通过反馈调节控制温度。通过温度控制系统可以实现大范围的变温。
[0008]在上述方案中，闭循环制冷机的类型包括但不限于吉福特-麦克马洪制冷机、斯特林式制冷机、脉管式制冷机以及基于这些原理的改良型制冷机等。闭循环制冷机的制冷功率和最低温度根据制冷机的工作原理和型号有所区别。
[0009]在上述方案中，为使本发明提供的机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统与用户的超高真空环境所需的高温烘烤条件兼容，所述致冷隔振界面和极低温节流阀制冷系统采用不锈钢(包括但不限于不锈钢304，316，316L等)和无氧铜等材料以及与超高真空兼容的焊接加工技术。
[0010]本发明具有以下有益效果:
1.本发明采用的闭循环制冷机和极低温节流阀制冷系统的运行不需要液氦消耗。这种方案解决了传统极低温制冷设备需要消耗资源稀缺、价格昂贵的液氦的问题；
2.本发明结合闭循环制冷机和极低温节流阀制冷系统能获得低至1.4K(基于氦4媒质)或0.2 Κ(基于氦3媒质)的极低温。这种方案解决了传统闭循环制冷机不能获得极低温的问题；
3.本发明采用的氦气热交换气致冷隔振界面有效的隔绝了闭循环制冷机工作时的低频机械振动，这种方案同时提供了极低温和低振动的工作环境；
4.本发明采用的温度反馈控制系统可以实现精确的反馈控温，可以实现大范围的变温操作；
5.本发明提供的在无液氦消耗的条件下实现极低温低振动的方案也可以在超高真空环境中工作，可以承受实现超高真空环境需要的高温烘烤。
【附图说明】
[0011]图1是本发明提出的机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷装置的原理示意图。
[0012]图2是闭循环制冷机中的制冷头部件、氦气热交换气致冷隔振界面系统和极低温节流阀制冷系统的实施例装配体剖面图。
[0013]图3是极低温节流阀制冷系统的实施例装配体示意图。
[0014]图中标号:1_闭循环制冷机系统，2-氦气热交换气致冷隔振系统，3-极低温节流阀制冷系统，4-第一温度反馈控制系统，5-第二温度反馈控制系统，6-用户的真空腔体，7-闭循环制冷头，8-致冷隔振界面，9-氦气热交换气，10-热辐射屏蔽罩，11-软橡胶，12-进气管道，13-氦气换热器，14-逆流换热机构，15-节流阀；16-液氦(可为氦4或氦3)池，17-热开关，18-出气管道。
【具体实施方式】
[0015]为了使本发明的使用更加清楚明了，下面结合具体实施例，并参照附图，对本发明做进一步详细说明。
[0016]本发明装置包括:闭循环制冷机系统I，氦气热交换气致冷隔振界面系统2;极低温节流阀制冷系统3;温度反馈控制系统，分