涂布喷嘴清洗装置的制作方法

本发明涉及一种喷嘴清洗装置，特别涉及一种涂布喷嘴清洗装置。

背景技术

在tft(即thinfilmtransistor，是薄膜晶体管的缩写)侧曝光部的生产工艺中，需要依次进行玻璃基板清洗、涂布光阻、烘烤、进入曝光机、在玻璃基板上对光阻定义图形、最后经显影制程显示图形。

其中，玻璃基板完成清洗后会进入涂布单元进行光阻涂布，在涂布前会对涂布喷嘴进行清洗，完成后，涂布喷嘴会在辊筒上进行光阻预吐出动作，以此来保证涂布时玻璃基板前端膜厚的均一；当辊筒开始转动工作，预吐出的光阻随辊筒的转动被带入下方清洗辊筒的光阻清洗液中，再通过刮条将辊筒上的光阻清洗液刮干净，以此来保证辊筒的洁净度。

但是此方案中的光阻清洗液只是对辊筒进行光阻清洁，在长期使用过程中，光阻清洁液中所含光阻浓度会不断增加，这种混合液挥发物会附着在辊筒表面形成结晶物，而光阻清洗液对这种结晶物的清洁效果不佳，影响辊筒洁净度，造成涂布喷嘴涂布不良。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种涂布喷嘴清洗装置，以解决现有技术无法对光阻与清洗液混合物进行有效清洗的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种涂布喷嘴清洗装置，包括，辊筒，所述辊筒一部分所占的区域为涂布区，所述辊筒能够进行自转；主清洗装置，所述主清洗装置设于所述涂布区外，所述主清洗装置设有主液容纳腔，所述辊筒的一部分置于所述主液容纳腔内；以及副清洗装置，所述副清洗装置设于所述涂布区外，所述副清洗装置内部设有副液容纳腔，所述辊筒的一部分置于所述副液容纳腔内；所述辊筒自转经过所述涂布区的部位，能够随所述辊筒自转经过所述主液容纳腔和所述副液容纳腔。

其中，所述主清洗装置还设有主刷条，所述主刷条置于所述主液容纳腔的外部，所述主刷条与所述辊筒的周侧抵接；所述辊筒的自转方向为从所述涂布区依次经过所述主液容纳腔、所述主刷条和所述副清洗装置。

其中，所述副清洗装置还设有副刷条，所述副刷条置于所述副液容纳腔的外部，所述副刷条与所述辊筒的周侧抵接；所述辊筒的自转方向为从所述涂布区依次经过所述主清洗装置、所述副液容纳腔和所述副刷条。

其中，所述副清洗装置至少为两个，所述辊筒的自转方向为从所述涂布区依次经过所述主清洗装置、以及各个所述副清洗装置。

其中，所述涂布区置于所述辊筒的上部，所述主清洗装置和所述副清洗装置分别布置于所述辊筒相对的两侧；所述主液容纳腔与所述辊筒的周侧相对，所述主液容纳腔的开口边缘部位与所述辊筒的周侧抵接；所述副液容纳腔与所述辊筒的周侧相对，所述副液容纳腔的开口边缘部位与所述辊筒的周侧抵接。

其中，所述主液容纳腔内设有主液喷嘴，所述主液喷嘴设有主液吸口和主液喷口，所述主液吸口置于所述主液容纳腔的下部，所述主液喷口对准所述辊筒的周侧。

其中，所述副液容纳腔内设有副液喷嘴，所述副液喷嘴设有副液吸口和副液喷口，所述副液吸口置于所述副液容纳腔的下部，所述副液喷口对准所述辊筒的周侧。

其中，所述涂布喷嘴清洗装置还包括废液盘，所述废液盘设于所述辊筒的下方；所述主液容纳腔下部的开口边缘部位置于所述废液盘装载范围的上方；所述副液容纳腔下部的开口边缘部位置于所述废液盘装载范围的上方。

其中，所述主清洗装置设于所述辊筒的下方，所述辊筒下部的一部分置于所述主液容纳腔内；所述副清洗装置设于所述主清洗装置的上方，所述副液容纳腔与所述辊筒的周侧相对，所述副液容纳腔的开口边缘部位与所述辊筒的周侧抵接。

其中，所述副液容纳腔下部的开口边缘部位置于所述主液容纳腔的上方。

本发明的有益效果如下：

由于所述辊筒自转经过所述涂布区的部位，能够随所述辊筒自转经过所述主液容纳腔和所述副液容纳腔，

所以辊筒涂布有光阻的部位必然经过主液容纳腔和副液容纳腔，此时只需在主液容纳腔内注入光阻清洗液对光阻进行清洗，在副液容纳腔内注入纯水对光阻与光阻清洗液组成的混合物进行清洗(纯水对此混合物的清洗效果较佳)，便能解决现有技术无法对光阻与清洗液混合物进行有效清洗的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明涂布喷嘴清洗装置第一个实施例的结构示意图；

图2是本发明涂布喷嘴清洗装置第二个实施例的结构示意图；

图3是本发明涂布喷嘴清洗装置第三个实施例的结构示意图；

图4是本发明涂布喷嘴清洗装置第四个实施例的结构示意图；

图5是本发明涂布喷嘴清洗装置的主液喷嘴结构示意图；

图6是本发明涂布喷嘴清洗装置的副液喷嘴结构示意图；

图7是本发明涂布喷嘴清洗装置第五个实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。

从图1可知，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第一个实施例包括有：

机壳1a，如图1所示，机壳1a的内部设有器件容纳腔11a，器件容纳腔11a用于放置涂布喷嘴清洗装置的各种部件，而机壳1a的上部为开口结构，以此将器件容纳腔11a与外界导通，便于涂布喷嘴2a移至器件容纳腔11a内进行清洗。

辊筒3a，如图1所示，辊筒3a设于器件容纳腔11a内，辊筒3a为圆筒状结构，辊筒3a能够以其中心轴线为转动中心进行自转，辊筒3a的自转方向为逆时针转动；其中，辊筒3a上部最高处所占的区域为涂布区31a(即图1所示的虚线框区域)，涂布区31a与机壳1a的开口结构相对，以便涂布喷嘴2a在涂布区31a对辊筒3a进行光阻涂布操作。

主清洗装置4a，如图1所示，主清洗装置4a设于器件容纳腔11a内，并置于辊筒3a的左侧，以及与涂布区31a相互分离，从而避免影响涂布喷嘴2在涂布区31a对辊筒3a进行光阻涂布操作；其中，主清洗装置4a设有主液容纳腔41a，主液容纳腔41a与外界导通，主液容纳腔41a的开口边缘部位与辊筒3a左侧的周侧抵接，以使辊筒3a左侧的一部分置于主液容纳腔41a内。

副清洗装置5a，如图1所示，副清洗装置5a设于器件容纳腔11a内，并置于辊筒3a的右侧，以及与涂布区31a相互分离，从而避免影响涂布喷嘴2a在涂布区31a对辊筒3a进行光阻涂布操作；其中，副清洗装置5a设有副液容纳腔51a，副液容纳腔51a与外界导通，副液容纳腔51a的开口边缘部位与辊筒3a右侧的周侧抵接，以使辊筒3a右侧的一部分置于副液容纳腔51a内。

其应用过程大致如下：

1、涂布喷嘴2a移动至涂布区31a的上方，然后在涂布区31a对辊筒3a进行光阻涂布操作，此时由于辊筒3a时刻保持逆时针的自转状态，所以辊筒3a涂布有光阻的部分将会转动至主液容纳腔41a内；

2、在主液容纳腔41a内注入光阻清洗液，所以滚筒3a涂布有光阻的部分将会与光阻清洗液接触，光阻清洗液便可洗去辊筒3a上的光阻，以达成光阻清洗的目的，此时辊筒3a光阻被清洗的部分将会转动至副液容纳腔51a内；

3、在副液容纳腔51a内注入清水(或其他高效可行的清洗液)，假若辊筒3a上粘附有光阻和清洗液组成的混合物(后文简称为混合物)，通过清水与混合物接触便可进行有效清洗，从而达到清洗混合物的目的。

因此，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第一个实施例至少具备以下有益效果：

1.将本实施例有关辊筒3a、主清洗装置4a和副清洗装置5a结构关系概括为：一种涂布喷嘴清洗装置，包括，辊筒3a，所述辊筒3a一部分所占的区域为涂布区31a，所述辊筒3a能够进行自转；主清洗装置4a，所述主清洗装置4a设于所述涂布区31a外，所述主清洗装置4a设有主液容纳腔41a，所述辊筒3a的一部分置于所述主液容纳腔41a内；以及副清洗装置5a，所述副清洗装置5a设于所述涂布区31a外，所述副清洗装置5a内部设有副液容纳腔51a，所述辊筒3a的一部分置于所述副液容纳腔51a内；所述辊筒3a自转经过所述涂布区31a的部位，能够随所述辊筒3a自转经过所述主液容纳腔41a和所述副液容纳腔51a。

在满足此结构后，将可使得辊筒3a涂布有光阻的部位必然经过主液容纳腔41a和副液容纳腔51a，只要确保主液容纳腔41a和副液容纳腔51a内注入有合适的清洗液，便能对光阻和混合物进行清洗，从而解决现有技术对混合物清洗效果不佳的问题。

其中，以图1所示方向为例，若主清洗装置4a设于涂布区31a的左侧，副清洗装置5a设于涂布区31a的右侧，只要控制辊筒3a进行逆时针自转，便可先进行光阻清洗，然后再进行混合物的清洗；相应地，若主清洗装置4a设于涂布区31a的右侧，副清洗装置5a设于涂布区31a的左侧，只要控制辊筒3a进行顺时针自转，同样能够实现先进行光阻清洗，然后再进行混合物的清洗；即只要辊筒3a自转能使得其同一部位经过涂布区31a、主液容纳腔41a和副液容纳腔51a便可，在应用过程中，只需根据涂布区31a、主液容纳腔41a和副液容纳腔51a三者的位置关系调整辊筒3的转向，便能确保清洗顺序的正确执行。

2.将本实施例有关主清洗装置4a、副清洗装置5a和辊筒3a间的安装关系概括为：所述涂布区31a置于所述辊筒3a的上部，所述主清洗装置4a和所述副清洗装置5a分别布置于所述辊筒3a相对的两侧；所述主液容纳腔41a与所述辊筒3a的周侧相对，所述主液容纳腔41a的开口边缘部位与所述辊筒3a的周侧抵接；所述副液容纳腔51a与所述辊筒3a的周侧相对，所述副液容纳腔51a的开口边缘部位与所述辊筒3a的周侧抵接。

首先需要指出，辊筒3a的周侧是指代辊筒3a两个端面以外的部位，即在辊筒3a进行自转时，辊筒3a周侧的一部分是能够经过涂布区31a进行光阻涂布的，所以在满足此结构后，辊筒3a左侧的周侧能与主液容纳腔41a围成一个密闭空间，以便更好的容纳存储光阻清洗液，同理，辊筒3a右侧的周侧将与副液容纳腔51a围成另一个密闭空间，以便更好容纳存储纯水等的清洗液，从而加强了清洗液与辊筒3a表面光阻的接触，使得清洗效果得到进一步优化。

其次，由于主液容纳腔41a的开口边缘部位与辊筒3a的周侧抵接，从而使得两者间距很小，若存在部分光阻未能彻底清洗，此部分光阻将会与主液容纳腔41a的开口边缘抵接、刮下，即优化了光阻的清洗效果；同理，由于副液容纳腔51的开口边缘部位与辊筒3a的周侧抵接，若存在部分混合物未能彻底清洗，此部分混合物将会与副液容纳腔51a的开口边缘抵接、刮下，从而优化了混合物的清洗效果。

从图2可知，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第二个实施例与第一个实施例基本一致，其区别在于：

主清洗装置4b还设有主刷条42b，如图2所示，主刷条42b设于辊筒3b的下方，并与辊筒3b的下部抵接，由于主刷条42b还置于主液容纳腔41b和副液容纳腔51b之间，从而确保辊筒3b的清洗部位会先经过主液容纳腔41b，然后再到达主刷条42b与辊筒3b抵接的位置，最后才到达副液容纳腔51b。

副清洗装置5还设有副刷条52b，如图2所示，副刷条52b设于辊筒3b的右上方，并与辊筒3b的右上部抵接，由于副刷条3b还置于副液容纳腔51b的上方，从而确保辊筒3b的清洗部位会先经过副液容纳腔51b，然后再到达副刷条52b与辊筒3b抵接的位置。

因此，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第二个实施例至少具备以下有益效果：

1.将主刷条42b的设置方式概括为：所述主清洗装置4b还设有主刷条42b，所述主刷条42b置于所述主液容纳腔41b的外部，所述主刷条42b与所述辊筒3b的周侧抵接；所述辊筒3b的自转方向为从所述涂布区31b依次经过所述主液容纳腔41b、所述主刷条42b和所述副清洗装置5b。

在满足此结构后，辊筒3b经过主液容纳腔41b进行清洗的部位将与主刷条42b抵接，假若辊筒3b上残留有光阻、或其他物质，主刷条42b便能对辊筒3b上的残留物质进行物理冲刷，从而进一步提高了对辊筒3b的清洁效果。

2.将副刷条52b的设置方式概括为：所述副清洗装置5b还设有副刷条52b，所述副刷条52b置于所述副液容纳腔51b的外部，所述副刷条52b与所述辊筒3b的周侧抵接；所述辊筒3b的自转方向为从所述涂布区31b依次经过所述主清洗装置4b、所述副液容纳腔51b和所述副刷条52b。

在满足此结构后，辊筒3b经过副液容纳腔51b进行清洗的部位将与副刷条52b抵接，假若辊筒3b上残留有光阻、或其他物质，副刷条52b便能对辊筒3b上的残留物质进行物理冲刷，从而进一步提高了对辊筒3b的清洁效果。

从图3可知，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第三个实施例与第二个实施例基本一致，其区别在于：

副清洗装置5c的数量为两个，此时主清洗装置4c设于辊筒3c的左侧，第一个副清洗装置5c设于辊筒3c的下侧，第二个副清洗装置5c设于辊筒3c的右侧，且主刷条42c设于主液容纳腔41c与第一个副液容纳腔51c之间，第一个副刷条52c设于第一个副液容纳腔51c与第二个副液容纳腔51c之间，第二个副刷条52c设于第二个副液容纳腔51c的上方。

因此，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第三个实施例至少具备以下有益效果：

1、将各个副清洗装置5c的布置关系概括为：所述副清洗装置5c至少为两个，所述辊筒3c的自转方向为从所述涂布区31c依次经过所述主清洗装置4c、以及各个所述副清洗装置5c。

在满足此结构后，能够保证对辊筒3c的清洗顺序为先进行光阻清洗，然后连续进行多次混合物清洗，以确保对混合物的清洗足够彻底。

2、能够根据需要进行灵活应用，譬如可在主清洗装置4c和下方的副清洗装置5c中注入光阻清洗液，在右方的副清洗装置5c中注入纯水，此时将会进行两次光阻清洗，然后再进行一次混合物的清洗，从而确保光阻的清洗更为彻底。

从图4至6可知，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第四个实施例与第二个实施例基本一致，其区别在于：

主液容纳腔41d内设有主液喷嘴6d，如图4和5所示，主液喷嘴6d固定于主液容纳腔41d的内壁，主液喷嘴6d设有主液吸口61d和主液喷口62d，主液吸口61d置于主液容纳腔41d的下部，以确保能够吸取主液容纳腔41d内的清洗液，而主液喷口62d对准辊筒3d左部的周侧，以确保喷出的清洗液能够直接射向辊筒3d的左侧表面。

副液容纳腔51d内设有副液喷嘴7d，如图4和6所示，副液喷嘴7d固定于副液容纳腔51d的内壁，副液喷嘴7d设有副液吸口71d和副液喷口72d，副液吸口71d置于副液容纳腔51d的下部，以确保能够吸取副液容纳腔51d内的清洗液，而副液喷口72d对准辊筒3d右部的周侧，以确保喷出的清洗液能够直接射向辊筒3d的右侧表面。

涂布喷嘴清洗装置还包括废液盘8d，如图4所示，废液盘8d设于辊筒3d的下方，并确保废液盘8d的覆盖范围足够广，以使得主液容纳腔41d下部的开口边缘部位置于废液盘8d装载范围的上方，以及副液容纳腔51d下部的开口边缘部位置于废液盘8d装载范围的上方，其中，废液盘8d的形状并没有特殊限制。

因此，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第四个实施例至少具备以下有益效果：

1.将主液喷嘴6d的结构概括为：所述主液容纳腔41d内设有主液喷嘴6d，所述主液喷嘴6d设有主液吸口61d和主液喷口62d，所述主液吸口61d置于所述主液容纳腔41d的下部，所述主液喷口62d对准所述辊筒3d的周侧。

在满足此结构后，置于主液容纳腔41d内的辊筒3d不但处于被清洗液泡浸的状态，而且主液喷嘴6d还能抽取主液容纳腔41d内的清洗液对辊筒3d进行喷洗，即同时采用了两种方式进行光阻清洗，从而大大提高了光阻的清洗效率和质量。

当然，主液喷嘴6d实质也能采用从外部获取清洗液的结构，但从主液容纳腔41d直接抽取清洗液能够对清洗液进行重复利用，以此提高了清洗液的利用效率，避免出现浪费清洗液的情况。

2.将副液喷嘴7d的结构概括为：所述副液容纳腔51d内设有副液喷嘴7d，所述副液喷嘴7d设有副液吸口71d和副液喷口72d，所述副液吸口71d置于所述副液容纳腔51d的下部，所述副液喷口72d对准所述辊筒3d的周侧。

在满足此结构后，置于副液容纳腔51d内的辊筒3d不但处于被清洗液泡浸的状态，而且副液喷嘴7d还能抽取副液容纳腔51d内的清洗液对辊筒3d进行喷洗，即同时采用了两种方式进行混合物清洗，从而大大提高了混合物的清洗效率和质量。

当然，副液喷嘴7d实质也能采用从外部获取清洗液的结构，但从副液容纳腔51d直接抽取清洗液能够对清洗液进行重复利用，以此提高了清洗液的利用效率，避免出现浪费清洗液的情况。

3.将废液盘8d的设置方式概括为：所述涂布喷嘴清洗装置还包括废液盘8d，所述废液盘8d设于所述辊筒3d的下方；所述主液容纳腔41d下部的开口边缘部位置于所述废液盘8d装载范围的上方；所述副液容纳腔51d下部的开口边缘部位置于所述废液盘8d装载范围的上方。

在满足此结构后，假若因辊筒3d自转、或其他原因导致清洗液溢出，溢出的清洗液将会直接掉落至废液盘8d内，以便日后进行集中处理，避免出现对涂布喷嘴清洗装置内部造成污染而难以清理维护的情况。

从图7可知，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第五个实施例与第二个实施例基本一致，其区别在于：

主清洗装置4e设于辊筒3e的下方，如图7所示，此时辊筒3e的下部置于主液容纳腔41e内，而且主刷条42e固定设于主液容纳腔41e的内部，并与辊筒3e的右下部保持抵接状态。

副清洗装置5e设于辊筒3e的右侧，如图7所示，此时副液容纳腔51e置于主液容纳腔41e的上方，且副液容纳腔51e下部的开口边缘部位置于主液容纳腔41e的上方，以确保主液容纳腔41内对副液容纳腔51溢出的清洗液进行接收。

因此，本发明所述涂布喷嘴清洗装置的第五个实施例至少具备以下有益效果：

1.将主清洗装置4e和副清洗装置5e的布置方式概括为：所述主清洗装置4e设于所述辊筒3e的下方，所述辊筒3e下部的一部分置于所述主液容纳腔41e内；所述副清洗装置5e设于所述主清洗装置4e的上方，所述副液容纳腔51e与所述辊筒3e的周侧相对，所述副液容纳腔51e的开口边缘部位与所述辊筒3e的周侧抵接。

在满足此结构后，主清洗装置4e与辊筒3e的位置关系则与现有技术相同，所以能够在现有装置的基础上直接增设副清洗装置5e，减少结构的改动，从而降低了生产成本，也使得在现有装置上进行直接改装变为可行。

2.将主清洗装置4e的防污功能概括为：所述副液容纳腔51e下部的开口边缘部位置于所述主液容纳腔41e的上方。

在满足此结构后，假若因辊筒3e自转、或其他原因导致副清洗装置5e溢出清洗液，溢出的清洗液将会直接掉落至主液容纳腔41e内，以便日后进行集中处理，避免出现对涂布喷嘴清洗装置内部造成污染而难以清理维护的情况。

3、由于副液容纳腔51e需要保持图7所示的倾斜布置状态，从而导致副液容纳腔51e与主液容纳腔41e两者间距较小，即主刷条42e难以安装，而将主刷条42e改为设于主液容纳腔41e内，便能克服此困扰，而且主刷条42e设于主液容纳腔41e内也能避免阻挡副液容纳腔51e内溢出的清洗液进入主液容纳腔41e，也为保持涂布喷嘴清洗装置的内部整洁提供了重要帮助。

综上所述，本发明实施例所述涂布喷嘴清洗装置的核心在于增设清洗装置，通过不同清洗装置注入不同的清洗液，以应对各种不同的清洗需求，大大提高了涂布喷嘴清洗装置的清洗效果。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。