一种具有清洁功能的模块装载装置的制作方法

本发明涉及晶片盒子吹扫模块领域，具体地说是一种具有清洁功能的模块装载装置。

背景技术

通常，半导体元件是在作为基板的晶片上以薄膜形态沉积多种物质并图案化得到，为此需要沉积工程、蚀刻工程、吹扫工程、干燥工程等多个步骤的不同工程。

为了执行这些步骤广泛使用移送晶片的装置。其中，为了向半导体移送装置供应装载于晶片盒子的晶片，普遍使用装载端口。

另外，晶片盒子内部存在异物的情况下会引发晶片的不良，因此使用气体吹扫以去除异物，初期的装载端口型号没有这种吹扫功能，但新开发的装载端口添加了利用氮气n2吹扫的功能解决这些问题。

目前，因为将现有的装载端口全都替换为具备这种吹扫功能的装载端口时发生费用方面的问题，同时存在多种晶片盒子，因此更换晶片盒子的种类时发生需要另外设置相应的装载端口的问题。

技术实现要素：

本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种具有清洁功能的模块装载装置。

本发明采用如下技术方案来实现：一种具有清洁功能的模块装载装置,其结构包括晶片盒子外壳、模块装载盒、杂物抽吸清理盒、吹扫送风机盒，所述晶片盒子外壳通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒外表面，所述模块装载盒嵌设于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒之间，所述杂物抽吸清理盒嵌设于模块装载盒一端，所述吹扫送风机盒嵌设于模块装载盒底部，所述模块装载盒设有防尘保护盖，所述防尘保护盖通过螺栓铆合连接于模块装载盒上方；所述杂物抽吸清理盒设有抽吸真空泵、除尘旋转装置、控制传动齿轮组，所述抽吸真空泵通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒内壁上，所述除尘旋转装置通过螺纹啮合连接于控制传动齿轮组侧面上，所述控制传动齿轮组通过螺纹啮合连接于除尘旋转装置与杂物抽吸清理盒之间；所述吹扫送风机盒设有送风控制装置、电路启动触发装置、控制传动电机，所述送风控制装置通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内壁上，所述电路启动触发装置嵌设于模块装载盒底部，所述电路启动触发装置通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内部底面上，所述控制传动电机通过螺栓与电路启动触发装置铆合连接于同一水平面上。

作为优化，所述除尘旋转装置设有旋转控制轴、除尘黏盘、除尘过滤网，所述旋转控制轴通过螺纹啮合连接于控制传动齿轮组上，所述除尘黏盘通过螺纹均匀等距啮合连接于旋转控制轴上，所述除尘过滤网嵌设于杂物抽吸清理盒与吹扫送风机盒之间。

作为优化，所述控制传动齿轮组设有齿轮组固定支架、第一传动大齿轮、第一齿轮传送带、第一传动小齿轮，所述齿轮组固定支架通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒内壁上，所述第一传动大齿轮通过螺纹啮合连接于齿轮组固定支架侧面上。

作为优化，所述第一齿轮传送带连接于第一传动大齿轮与第一传动小齿轮之间，所述第一传动小齿轮通过螺纹啮合连接于齿轮组固定支架侧面上。

作为优化，所述送风控制装置设有送风真空泵、总控制电源盒、通风传送管道、通电导线，所述送风真空泵通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内壁上，所述送风真空泵通过螺栓铆合连接于总控制电源盒上方。

作为优化，所述总控制电源盒通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内部底面上，所述通风传送管道通过螺栓铆合连接于送风真空泵与杂物抽吸清理盒之间，所述通电导线连接于第一控制电源盒、第二控制电源盒与总控制电源盒之间。

作为优化，所述电路启动触发装置设有第一触发压杆、第一复位弹簧、第一通电小圆球、第一控制电源盒、第二触发压杆、第二复位弹簧、第二通电小圆球、第二控制电源盒，所述第一触发压杆嵌设于模块装载盒内部底面上，所述第一复位弹簧连接于第一触发压杆与第一通电小圆球之间，所述第一触发压杆和第二触发压杆的上方还设有触发压板，所述触发压板的两端还均设有限位机构，所述限位机构包括第一连杆、第二连杆、第三复位弹簧和限位块，所述第一连杆的上端铰接在晶片盒子外壳上，并且下端与第二连杆的一端铰接在一起，所述第二连杆的另一端与限位块固定连接，所述限位块滑动连接在模块装载盒的内壁上设有的滑槽中，所述第三复位弹簧一端固定连接在滑槽壁上，另一端固定连接在限位块上，所述限位块上设有斜面，所述触发压板常态时放置在斜面上。

作为优化，所述第一通电小圆球通过第一复位弹簧连接于第一触发压杆下方，所述第一控制电源盒通过螺栓铆合连接于第一通电小圆球下方。

作为优化，所述第一控制电源盒通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒内部底面上，所述第二触发压杆嵌设于模块装载盒内部底面上，所述第二复位弹簧连接于第二触发压杆与第二通电小圆球之间。

作为优化，所述第二通电小圆球通过第二复位弹簧连接于第二触发压杆下方，所述第二控制电源盒通过螺栓铆合连接于第二通电小圆球下方，所述第二控制电源盒通过螺栓与第一控制电源盒铆合连接于同一水平面上。

有益效果

本发明通过将触发压板向下压，使得触发压板卡在限位块的底部从而使得触发第一触发压杆与第二触发压杆下压，从而连通电路启动触发装置和控制传动齿轮组的电路，使送风控制装置与抽吸真空泵进行工作，抽吸真空泵将模块装载盒中的杂物吸收，通过除尘旋转装置将杂物粘连分离，净化空气，再通过送风控制装置将净化过的空气吹送回模块装载盒中，实现循环作用，由于触发压板卡在限位块的底部，如此当晶片盒子外壳不小心放倒时也不会影响到模块装载盒中空气的净化，提升了装置的实用性，当需要停止净化时，只需要扳动第一连杆，通过第二连杆拉动限位块向滑槽内移动，即可使得限位块离开触发压板，触发压板回到初始位置，装置停止净化工作，操作简单。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过驱动抽吸真空泵和送风控制装置进行工作，实现除尘作用，不需要另外安装装载端口，保险安全，同时由于触发压板卡在限位块的底部，如此当晶片盒子外壳不小心放倒时也不会影响到模块装载盒中空气的净化，提升了装置的实用性。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种具有清洁功能的模块装载装置的结构示意图。

图2为本发明控制传动齿轮组的结构示意图。

图中：晶片盒子外壳1、模块装载盒2、杂物抽吸清理盒3、吹扫送风机盒4、第一连杆5、第二连杆6、第三复位弹簧7、限位块8、斜面9、触发压板10、滑槽11、防尘保护盖20、抽吸真空泵30、除尘旋转装置31、旋转控制轴310、除尘黏盘311、除尘过滤网312、控制传动齿轮组32、齿轮组固定支架320、第一传动大齿轮321、第一齿轮传送带322、第一传动小齿轮323、送风控制装置40、送风真空泵400、总控制电源盒401、通风传送管道402、通电导线403、电路启动触发装置41、第一触发压杆410、第一复位弹簧411、第一通电小圆球412、第一控制电源盒413、第二触发压杆414、第二复位弹簧415、第二通电小圆球416、第二控制电源盒417、控制传动电机42。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-2，本发明提供一种具有清洁功能的模块装载装置技术方案：其结构包括晶片盒子外壳1、模块装载盒2、杂物抽吸清理盒3、吹扫送风机盒4，所述晶片盒子外壳1通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒3与吹扫送风机盒4外表面，所述模块装载盒2嵌设于杂物抽吸清理盒3与吹扫送风机盒4之间，所述杂物抽吸清理盒3嵌设于模块装载盒2一端，所述吹扫送风机盒4嵌设于模块装载盒2底部，所述模块装载盒2设有防尘保护盖20，所述防尘保护盖20通过螺栓铆合连接于模块装载盒2上方；所述杂物抽吸清理盒3设有抽吸真空泵30、除尘旋转装置31、控制传动齿轮组32，所述抽吸真空泵30通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒3内壁上，所述除尘旋转装置31通过螺纹啮合连接于控制传动齿轮组32侧面上，所述控制传动齿轮组32通过螺纹啮合连接于除尘旋转装置31与杂物抽吸清理盒3之间；所述吹扫送风机盒4设有送风控制装置40、电路启动触发装置41、控制传动电机42，所述送风控制装置40通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒4内壁上，所述电路启动触发装置41嵌设于模块装载盒2底部，所述电路启动触发装置41通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒4内部底面上，所述控制传动电机42通过螺栓与电路启动触发装置41铆合连接于同一水平面上，所述除尘旋转装置31设有旋转控制轴310、除尘黏盘311、除尘过滤网312，所述旋转控制轴310通过螺纹啮合连接于控制传动齿轮组32上，所述除尘黏盘311通过螺纹均匀等距啮合连接于旋转控制轴310上，所述除尘过滤网312嵌设于杂物抽吸清理盒3与吹扫送风机盒4之间，所述控制传动齿轮组32设有齿轮组固定支架320、第一传动大齿轮321、第一齿轮传送带322、第一传动小齿轮323，所述齿轮组固定支架320通过螺栓铆合连接于杂物抽吸清理盒3内壁上，所述第一传动大齿轮321通过螺纹啮合连接于齿轮组固定支架320侧面上，所述第一齿轮传送带322连接于第一传动大齿轮321与第一传动小齿轮323之间，所述第一传动小齿轮323通过螺纹啮合连接于齿轮组固定支架320侧面上，所述送风控制装置40设有送风真空泵400、总控制电源盒401、通风传送管道402、通电导线403，所述送风真空泵400通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒4内壁上，所述送风真空泵400通过螺栓铆合连接于总控制电源盒401上方，所述总控制电源盒401通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒4内部底面上，所述通风传送管道402通过螺栓铆合连接于送风真空泵400与杂物抽吸清理盒3之间，所述通电导线403连接于第一控制电源盒413、第二控制电源盒417与总控制电源盒401之间，所述电路启动触发装置41设有第一触发压杆410、第一复位弹簧411、第一通电小圆球412、第一控制电源盒413、第二触发压杆414、第二复位弹簧415、第二通电小圆球416、第二控制电源盒417，所述第一触发压杆410嵌设于模块装载盒2内部底面上，所述第一复位弹簧411连接于第一触发压杆410与第一通电小圆球412之间，所述第一触发压杆410和第二触发压杆414的上方还设有触发压板10，所述触发压板10的两端还均设有限位机构，所述限位机构包括第一连杆5、第二连杆6、第三复位弹簧7和限位块8，所述第一连杆5的上端铰接在晶片盒子外壳1上，并且下端与第二连杆6的一端铰接在一起，所述第二连杆6的另一端与限位块8固定连接，所述限位块8滑动连接在模块装载盒2的内壁上设有的滑槽11中，所述第三复位弹簧7一端固定连接在滑槽11壁上，另一端固定连接在限位块8上，所述限位块8上设有斜面9，所述触发压板10常态时放置在斜面9上，所述第一通电小圆球412通过第一复位弹簧411连接于第一触发压杆410下方，所述第一控制电源盒413通过螺栓铆合连接于第一通电小圆球412下方，所述第一控制电源盒413通过螺栓铆合连接于吹扫送风机盒4内部底面上，所述第二触发压杆414嵌设于模块装载盒2内部底面上，所述第二复位弹簧415连接于第二触发压杆414与第二通电小圆球416之间，所述第二通电小圆球416通过第二复位弹簧415连接于第二触发压杆414下方，所述第二控制电源盒417通过螺栓铆合连接于第二通电小圆球416下方，所述第二控制电源盒417通过螺栓与第一控制电源盒413铆合连接于同一水平面上。

在使用时，通过将触发压板10向下压，使得触发压板10卡在限位块8的底部从而使得触发第一触发压杆410与第二触发压杆414下压，从而连通电路启动触发装置41和控制传动齿轮组32的电路，使送风控制装置40与抽吸真空泵30进行工作，抽吸真空泵30将模块装载盒2中的杂物吸收，通过除尘旋转装置31将杂物粘连分离，净化空气，再通过送风控制装置40将净化过的空气吹送回模块装载盒2中，实现循环作用，由于触发压板10卡在限位块8的底部，如此当晶片盒子外壳1不小心放倒时也不会影响到模块装载盒2中空气的净化，提升了装置的实用性，当需要停止净化时，只需要扳动第一连杆5，通过第二连杆6拉动限位块8向滑槽11内移动，即可使得限位块8离开触发压板10，触发压板10回到初始位置，装置停止净化工作，操作简单。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。