技术特征：
技术总结
蒸汽清洗装置包括：蒸气生成器，用于生成饱和蒸气；过热器，通过对所述饱和蒸气进行过热而生成过热蒸气；第一阀，位于所述蒸气生成器与所述过热器之间，用于调节向所述过热器注入的所述饱和蒸气的量；喷嘴部，被连接到所述过热器；以及第二阀，位于所述蒸气生成器与所述喷嘴部之间，用于调节向所述喷嘴部供给的所述饱和蒸气的量，所述喷嘴部喷射所述饱和蒸气和所述过热蒸气中的至少一种蒸气。
技术研发人员：姜胜培;郑钟铉;梁熙星;申正植;李国焕;李祯彬
受保护的技术使用者：三星显示有限公司;新动力等离子体株式会社
技术研发日：2018.07.20
技术公布日：2019.05.21