一种晶圆清洗装置的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括承载组件以及喷淋组件，承载组件用于安装待清洗的晶圆，喷淋组件设于承载组件上方，用于喷出清洗液，承载组件具有至少一晶圆安装面，待清洗的晶圆适于沿晶圆安装面设置，晶圆安装面与喷淋组件的喷射方向不垂直，或者晶圆安装面适于转动到与喷淋组件的喷射方向不垂直的位置。

技术研发人员：傅强
受保护的技术使用者：宁波舜宇光电信息有限公司
技术研发日：2018.06.25
技术公布日：2019.04.12