一种硅片生产用除胶机构的制作方法

本实用新型涉及硅片加工领域，特别涉及一种硅片生产用除胶机构。

背景技术：

随着科研技术的进步，硅片在芯片、电子产品和电池等领域得到了广泛的应用，同时硅片的生产加工技术也有了很大的进步，硅片的加工一般需要经过粘棒、开方、去胶、滚磨、切片、清洗烘干、检测、包装等步骤，在现有技术中已经有很多步骤采用机械化操作，但是其中的去胶、检测和包装等步骤还以采用人工操作为主。

在硅片加工的除胶过程中，现有状态下的除胶步骤一般是先将晶棒放置到晶拖上，将晶棒放置到80摄氏度的热水中将胶融化，然后用隔热手套将边角料去除，接着将晶棒取出将晶拖取下，再将残留的胶擦拭干净，在这一系列步骤中存在一定的弊端，人工除胶工作效率较低、水的温度过高容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、胶水在水中无任何处理，去胶池清扫困难、人工去胶分多步进行工作流程繁琐。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种硅片生产用除胶机构，可以解决人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，可以实现对晶棒的高效快速除胶，具有操作简单、安全，工作效率高和去胶池清扫方便的优点。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案，一种硅片生产用除胶机构，包括除胶池、除料机构和清扫机构，所述的除胶池为内部中空的无盖结构，除胶池内部的下端安装有除料机构，除胶池的上端面安装有清扫机构。

所述的除料机构包括倾斜板，除胶池前后内侧面的下端安装有倾斜板，倾斜板的下方安装有沉淀盒，倾斜板的上端面从左往右均匀设有除料台，除料台的上端面安装有除料防水电动推杆，除料防水电动推杆的顶端安装有除料支撑板，除料支撑板的上端面设有通孔，除料支撑板的上端面从左往右均匀设有除料支链，除料支链包括放置台，通孔内通过轴承安装有放置台，放置台的下端面与防水转动电机的输出轴相连接，防水转动电机通过电机箱安装在放置台的下端面，放置台侧壁的中部安装有延伸板，延伸板上端面的边沿铰接有固定架，固定架右端面的上端安装有固定板，固定板为弧形结构，固定架的右端安装有限位板，限位板为l型，放置台侧壁的上端设有圆孔，圆孔内安装有限位弹簧，限位弹簧的左端与固定板的右端面相连接，工作时，除料防水电动推杆伸缩运动将放置台升起，将需要除胶的晶棒放置到放置台上固定，然后除料防水电动推杆伸缩运动将晶棒侵入到水中，防水转动电机转动带动放置台转动，晶棒能够受热均匀，当需要清洗除胶池时，待水冷却后，将除胶池中的水放出，胶沉淀到沉淀盒中，将沉淀盒取出清理即可，从而除胶池清理时简便快捷。

所述的清扫机构包括清扫支链，除胶池的上端面从左往右均匀设有清扫支链，清扫支链的中部安装有转动支链，转动支链的下端安装有去料支链，清扫支链包括清扫电动推杆，除胶池的上端面安装有清扫电动推杆，清扫电动推杆的顶端安装有清扫连接板，清扫连接板的中部设有凹槽，凹槽的下端安装有连接筒，连接筒的内部为中空结构，连接筒的下端面安装有圆板，圆板的中部设有圆槽，圆槽的直径与连接筒的内径相同，转动支链包括转动筒，连接筒内通过轴承安装有转动筒，转动筒的内部沿其周向方向均匀设有清扫刷，转动筒的上端穿过凹槽且转动筒的侧壁上安装有从动齿轮，从动齿轮的前端啮合有主动齿轮，主动齿轮的下端面与转动轴的上端面相连接，转动轴的下端面通过联轴器与清扫电机的输出轴相连接，清扫电机通过电机架安装在清扫连接板的下端面，去料支链包括去料电动滑块，圆板的下端面沿其周向方向均匀设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式安装有去料电动滑块，去料电动滑块的下端面安装有去料连接板，去料连接板的下端面安装有去料卡齿，转动筒的下端面与去料卡齿的下端在同一高度，工作时，当需要去除边角料时，清扫电动推杆伸缩运动带动去料支链向下运动，去料卡齿卡接到需要去除的边角料上，然后去料电动滑块与除胶防水电动推杆同时工作，去料电动滑块向左运动将边角料向左推动，同时除胶防水电动推杆伸缩运动将需要的晶棒向上推动，当需要对晶棒进行清扫时，清扫电机通过主动齿轮带动从动齿轮转动，可以带动转动筒转动，转动筒内的清扫刷能够对转动筒内的晶棒进行清扫，从而能够快速的将晶棒的边角料去除，同时能够对晶棒进行清扫，除胶步骤简单，工作效率高。

工作时，首先，除料防水电动推杆伸缩运动将放置台升起，将需要除胶的晶棒放置到放置台上固定，然后除料防水电动推杆伸缩运动将晶棒侵入到水中，防水转动电机转动带动放置台转动，晶棒能够受热均匀；然后，当需要去除边角料时，清扫电动推杆伸缩运动带动去料支链向下运动，去料卡齿卡接到需要去除的边角料上，然后去料电动滑块与除胶防水电动推杆同时工作，去料电动滑块向左运动将边角料向左推动，同时除胶防水电动推杆伸缩运动将需要的晶棒向上推动；接着，当需要对晶棒进行清扫时，清扫电机通过主动齿轮带动从动齿轮转动，可以带动转动筒转动，转动筒内的清扫刷能够对转动筒内的晶棒进行清扫；最后，当需要清洗除胶池时，待水冷却后，将除胶池中的水放出，胶沉淀到沉淀盒中，将沉淀盒取出清理即可，可以解决人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，可以实现对晶棒的高效快速除胶。

本实用新型的有益效果在于：

一、本实用新型可以解决人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，可以实现对晶棒的高效快速除胶，具有操作简单、安全，工作效率高和去胶池清扫方便的优点。

二、本实用新型设置有去料支链，去料支链能够快速的将晶棒四周的边角料去除，避免了被水烫伤；

三、本实用新型设置有除料机构和清扫机构，防水转动电机能够使晶棒受热均匀，在去料同时能够对晶棒进行清扫，简化了除胶步骤，工作效率高；

四、本实用新型的沉淀盒能够收集水冷却后的胶，使得除胶池清理简单方便。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型图1的剖面图；

图3是本实用新型的除胶池与除料机构之间的立体结构示意图；

图4是本实用新型图3的a向放大示意图；

图5是本实用新型的除胶池与清扫机构之间的立体结构示意图；

图6是本实用新型图5的b向放大示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1至图6所示，一种硅片生产用除胶机构，包括除胶池1、除料机构2和清扫机构3，所述的除胶池1为内部中空的无盖结构，除胶池1内部的下端安装有除料机构2，除胶池1的上端面安装有清扫机构3。

所述的除料机构2包括倾斜板21，除胶池1前后内侧面的下端安装有倾斜板21，倾斜板21的下方安装有沉淀盒22，倾斜板21的上端面从左往右均匀设有除料台23，除料台23的上端面安装有除料防水电动推杆24，除料防水电动推杆24的顶端安装有除料支撑板25，除料支撑板25的上端面设有通孔，除料支撑板25的上端面从左往右均匀设有除料支链26，除料支链26包括放置台261，通孔内通过轴承安装有放置台261，放置台261的下端面与防水转动电机262的输出轴相连接，防水转动电机262通过电机箱263安装在放置台261的下端面，放置台261侧壁的中部安装有延伸板264，延伸板264上端面的边沿铰接有固定架265，固定架265右端面的上端安装有固定板266，固定板266为弧形结构，固定架265的右端安装有限位板267，限位板267为l型，放置台261侧壁的上端设有圆孔，圆孔内安装有限位弹簧268，限位弹簧268的左端与固定板266的右端面相连接，工作时，除料防水电动推杆24伸缩运动将放置台261升起，将需要除胶的晶棒放置到放置台261上固定，然后除料防水电动推杆24伸缩运动将晶棒侵入到水中，防水转动电机262转动带动放置台261转动，晶棒能够受热均匀，当需要清洗除胶池1时，待水冷却后，将除胶池1中的水放出，胶沉淀到沉淀盒22中，将沉淀盒22取出清理即可，从而除胶池1清理时简便快捷。

所述的清扫机构3包括清扫支链31，除胶池1的上端面从左往右均匀设有清扫支链31，清扫支链31的中部安装有转动支链32，转动支链32的下端安装有去料支链33，清扫支链31包括清扫电动推杆311，除胶池1的上端面安装有清扫电动推杆311，清扫电动推杆311的顶端安装有清扫连接板312，清扫连接板312的中部设有凹槽，凹槽的下端安装有连接筒313，连接筒313的内部为中空结构，连接筒313的下端面安装有圆板314，圆板314的中部设有圆槽，圆槽的直径与连接筒313的内径相同，转动支链32包括转动筒321，连接筒313内通过轴承安装有转动筒321，转动筒321的内部沿其周向方向均匀设有清扫刷322，转动筒321的上端穿过凹槽且转动筒321的侧壁上安装有从动齿轮323，从动齿轮323的前端啮合有主动齿轮324，主动齿轮324的下端面与转动轴325的上端面相连接，转动轴325的下端面通过联轴器与清扫电机326的输出轴相连接，清扫电机326通过电机架327安装在清扫连接板312的下端面，去料支链33包括去料电动滑块331，圆板314的下端面沿其周向方向均匀设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式安装有去料电动滑块331，去料电动滑块331的下端面安装有去料连接板332，去料连接板332的下端面安装有去料卡齿333，转动筒321的下端面与去料卡齿333的下端在同一高度，工作时，当需要去除边角料时，清扫电动推杆311伸缩运动带动去料支链33向下运动，去料卡齿333卡接到需要去除的边角料上，然后去料电动滑块331与除胶防水电动推杆同时工作，去料电动滑块331向左运动将边角料向左推动，同时除胶防水电动推杆伸缩运动将需要的晶棒向上推动，当需要对晶棒进行清扫时，清扫电机326通过主动齿轮324带动从动齿轮323转动，可以带动转动筒321转动，转动筒321内的清扫刷322能够对转动筒321内的晶棒进行清扫，从而能够快速的将晶棒的边角料去除，同时能够对晶棒进行清扫，除胶步骤简单，工作效率高。

工作时，首先，除料防水电动推杆24伸缩运动将放置台261升起，将需要除胶的晶棒放置到放置台261上固定，然后除料防水电动推杆24伸缩运动将晶棒侵入到水中，防水转动电机262转动带动放置台261转动，晶棒能够受热均匀；然后，当需要去除边角料时，清扫电动推杆311伸缩运动带动去料支链33向下运动，去料卡齿333卡接到需要去除的边角料上，然后去料电动滑块331与除胶防水电动推杆同时工作，去料电动滑块331向左运动将边角料向左推动，同时除胶防水电动推杆伸缩运动将需要的晶棒向上推动；接着，当需要对晶棒进行清扫时，清扫电机326通过主动齿轮324带动从动齿轮323转动，可以带动转动筒321转动，转动筒321内的清扫刷322能够对转动筒321内的晶棒进行清扫；最后，当需要清洗除胶池1时，待水冷却后，将除胶池1中的水放出，胶沉淀到沉淀盒22中，将沉淀盒22取出清理即可，解决了人工除胶时容易被水烫伤、去除边角料时操作不便、去胶池清扫困难、人工除胶步骤繁琐和工作效率低等问题，达到了目的。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。