一种半导体晶盘片量测机防尘罩的制作方法

文档序号:21419625发布日期:2020-07-10 15:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体晶盘片量测机防尘罩,包括固定板(1),其特征在于:所述固定板(1)上设有方形通孔(11),所述方形通孔(11)贯穿所述固定板(1),所述固定板(1)的前表面位于所述方形通孔(11)的位置处紧密粘接有置物盒(12),所述置物盒(12)顶端的两侧均设有第一滑槽(121),所述固定板(1)的前表面位于所述置物盒(12)的上方紧密粘接有顶板(2),所述顶板(2)的下表面两侧均设有第二滑槽(21),所述顶板(2)和所述置物盒(12)之间设有盖板(3),所述盖板(3)的两侧均紧密粘接有限位块(31),所述盖板(3)靠近所述固定板(1)一端的两侧紧密粘接有插销(32),所述固定板(1)的前表面位于所述置物盒(12)顶端的两侧均紧密粘接有定位块(33),所述定位块(33)上设有卡接口(331)。

2.根据权利要求1所述的半导体晶盘片量测机防尘罩,其特征在于:所述置物盒(12)的前表面设有可视窗(122)。

3.根据权利要求1所述的半导体晶盘片量测机防尘罩,其特征在于:所述限位块(31)位于所述盖板(3)上表面的一端通过所述第二滑槽(21)与所述顶板(2)滑动连接,所述限位块(31)位于所述盖板(3)下表面的一端通过所述第一滑槽(121)与所述置物盒(12)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的半导体晶盘片量测机防尘罩,其特征在于:所述固定板(1)的四角均设有圆孔(13),所述圆孔(13)上设有螺栓(131)。

5.根据权利要求1所述的半导体晶盘片量测机防尘罩,其特征在于:所述盖板(3)的前端设有提手(34),所述提手(34)的两端均与所述盖板(3)紧密粘接。

6.根据权利要求1所述的半导体晶盘片量测机防尘罩,其特征在于:所述插销(32)通过所述卡接口(331)与所述定位块(33)卡接配合。


技术总结
本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种半导体晶盘片量测机防尘罩,包括固定板,固定板的前表面设有置物盒,固定板的前表面位于置物盒的上方紧密粘接有顶板,顶板和置物盒之间设有盖板,盖板的两侧均紧密粘接有限位块,盖板靠近固定板一端的两侧紧密粘接有插销,固定板的前表面位于置物盒顶端的两侧均紧密粘接有定位块,定位块上设有卡接口。该半导体晶盘片量测机防尘罩,盖板的两侧均设有限位块,限位块通过第一滑槽和第二滑槽滑入顶板和置物盒之间,同时,盖板抽出第一滑槽和第二滑槽外后,盖板将置物盒的顶端开口开启,且顶板和置物盒之间的开口位于朝置物盒的外表面,避免灰尘落入置物盒内,解决量测机的罩体防尘效果差的问题。

技术研发人员:凌永康;张勇;杜良辉
受保护的技术使用者:江苏壹度科技股份有限公司
技术研发日:2019.07.28
技术公布日:2020.07.10
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1