一种晶圆片的清洗装置的制作方法

[0001]
本发明涉及晶圆片技术领域，尤其涉及一种晶圆片的清洗装置。


背景技术：

[0002]
晶圆片作为led的主要原材料，其表面残留的脏物颗粒过多，会严重影响到下道芯片制作的合格率。所以在晶圆片进行抛光工艺之前，首先必须保证晶圆片表面保持一定的清洁度，不至于有过多的垃圾物；所以必须事前对晶圆片进行清洗，为此提供一种晶圆片的清洗装置以保证晶圆片表面保持一定的清洁度。


技术实现要素：

[0003]
本发明的目的在于提供一种晶圆片的清洗装置，以减少晶圆片表面不至于有过多的垃圾物，已保持晶圆片表面清洁度的技术方案。
[0004]
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种晶圆片的清洗装置，包括底座，所述底座上一侧设有支柱，所述支柱顶端固定连接固定板，所述固定板底端设有固定箱，所述固定箱远离支柱一侧，所述固定板上一侧固定连接竖管，所述竖管一侧设有孔眼，所述竖管顶端设有出水管，所述出水管顶端活动连接喷头。
[0005]
进一步地，所述底座、支柱、固定板和固定箱组成一个水箱，所述水箱内设有导流板，所述水箱一侧设有泄水管，所述泄水管在所述支柱一侧，导流板能够给污水向进行倒流，使得污水能够更好从泄水管泄出。
[0006]
进一步地，所述固定板由固定板本体和橡胶层组成，所述固定板本体顶端固定连接橡胶层，所述固定板上设有泄水孔，能够将喷淋到晶圆片上的水泄进水箱中。
[0007]
进一步地，所所述固定箱内设有电动伸缩装置，所述电动伸缩装置伸缩端固定连接挡板，所述挡板穿过固定箱延伸至外，所述挡板在所述固定板一侧，所述挡板外侧设有橡胶层。
[0008]
进一步地，所述竖管靠近孔眼侧设有橡胶层，橡胶层具有缓冲效果，保证晶圆片不被磕碰。
[0009]
进一步地，所述竖管一侧设有进水管，使得外接水源能够进入装置内，实现对晶圆片的清洗。
[0010]
进一步地，所述喷头末端为弧形，因喷头末端具有弧形能够保证晶圆片多个角度的清洗。
[0011]
本发明具有如下有益效果：1.通过竖管一侧设有孔眼，使得水能够从孔眼喷出，并对晶圆片侧表面进行冲洗，有效的去除晶圆片表面的垃圾。
[0012]
2.通过出水管顶端活动连接喷头，能够有效的对晶圆片上端面进行冲洗，且喷头的末端设有弧度，能够对晶圆片的远离竖管一侧进行冲洗，实现晶圆片多方位的冲洗。
[0013]
3.底座、支柱、固定板和固定箱组成一个水箱，通过固定板上设有泄水孔能够对晶
圆片冲洗的污水进行收集。
[0014]
4.固定箱内设有电动伸缩装置，电动伸缩装置伸缩端固定连接挡板，挡板穿过固定箱延伸至外，且挡板在所述固定板一侧，使得竖管，固定板和挡板形成一个冲洗腔，能够有效地对晶圆片进行清洗。
附图说明
[0015]
图1为本发明结构示意图。
[0016]
图2为本发明作业时结构示意图。
[0017]
图3为本发明a处结构放大图。
[0018]
图中：1.底座、2.支柱、3.固定板、4.固定箱、5.竖管、6.孔眼、7.出水管、8.喷头、9.水箱、10.导流板、11.泄水管、12.泄水孔、13.电动伸缩装置、14.挡板、15.进水管、16.晶圆片。
具体实施方式
[0019]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0020]
如图1-3所示，一种晶圆片的清洗装置，包括底座1，所述底座1上一侧设有支柱2，所述支柱2顶端固定连接固定板3，所述固定板3由固定板本体和橡胶层组成，所述固定板本体顶端固定连接橡胶层，所述固定板3上设有泄水孔12，通过固定板3上设有泄水孔12能够对晶圆片16冲洗的污水进行收集，所述固定板3底端设有固定箱4，所述固定箱4远离支柱2一侧，所述固定箱4内设有电动伸缩装置13，所述电动伸缩装置13伸缩端固定连接挡板14，所述挡板14穿过固定箱4延伸至外且在所述固定板3一侧，使得竖管5，固定板3和挡板14形成一个冲洗腔，能够有效地对晶圆片16进行清洗，所述挡板14外侧设有橡胶层能够保护晶圆片16不受撞击，所述底座1、支柱2、固定板3和固定箱4组成一个水箱9，所述水箱9内设有导流板10，所述水箱9一侧设有泄水管11，所述泄水管11在所述支柱2一侧，导流板10能够给污水进行导流，使得污水能够更好从泄水管11泄出，所述固定板3上一侧固定连接竖管5，所述竖管5一侧设有孔眼6，且所述竖管5靠近孔眼6侧设有橡胶层，使得水能够从孔眼6喷出，并对晶圆片16侧表面进行冲洗，有效的去除晶圆片16表面的垃圾，所述竖管5一侧设有进水管15，能够将外界水源接入竖管5中，所述竖管5顶端设有出水管7，所述出水管7顶端活动连接喷头8，所述喷头8末端为弧形，能够对晶圆片16的远离竖管5一侧进行冲洗，实现晶圆片16多方位的冲洗。
[0021]
本发明的工作原理是：启动电动伸缩装置13，挡板14向上移动，至合适位置后停止，将晶圆片16放入竖管5，固定板3和挡板14形成的冲洗腔内如图2所示，因喷头8与出水管7之间活动连接，转动喷头8，使喷头8处于晶圆片16上方，从进水管15引入水源，水从孔眼6喷出，对晶圆片16一侧进行清洗，水从出水管7进入喷头8，使其对晶圆片16上端面进行清洗，因喷头8末端为弧形，使得晶圆片16另一侧能够进行清洗，清洗的水从泄水孔12进入水箱9内，并从泄水管11排出。
[0022]
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。