1.一种载置面清扫方法,当在被加工物的一个面上形成由树脂构成的板状的保护部件时,对载置该被加工物或该保护部件的载置面进行清扫,其中,
该载置面清扫方法包含如下的工序:
片材载置工序,在该载置面上载置由树脂形成的片材;
正面溶解工序,对载置于该载置面上的该片材进行加温,并且将该片材朝向该载置面按压,由此使与该载置面接触的该片材的正面溶解,利用该片材的溶解的该正面取入该载置面的灰尘;以及
分离工序,使载置于该载置面上且通过该溶解的正面取入了灰尘的该片材从该载置面分离,将灰尘从该载置面去除。
2.根据权利要求1所述的载置面清扫方法,其中,
该载置面清扫方法还包含如下的冷却工序:在所述正面溶解工序与所述分离工序之间,对载置于所述载置面上的所述片材进行冷却。
3.根据权利要求1或2所述的载置面清扫方法,其中,
在所述片材载置工序中,按照在停止形成所述保护部件时使所述载置面不露出的方式载置所述片材。