技术特征：
1.一种声波清洁插入件，包括：转盘，所述转盘被配置为围绕中心轴旋转，所述转盘进一步包括：平台，所述平台具有外周边，所述平台围绕所述中心轴径向地设置；内环和包围所述内环的外环；多个隔板，所述多个隔板将所述内环和所述外环耦接至所述平台，所述多个隔板围绕所述中心轴以预定角度布置；和多个保持器，每个保持器由所述平台的一部分、所述内环和外环的每一者的一部分以及由所述多个隔板形成的第一侧壁和第二侧壁形成，其中所述转盘被配置为浸入超声波振动流体中。2.如权利要求1所述的声波清洁插入件，包括：耦接至所述平台的可旋转轴，所述可旋转轴被配置为围绕所述中心轴旋转所述平台。3.如权利要求2所述的声波清洁插入件，进一步包括：围绕所述中心轴径向设置的多个支撑特征，所述多个支撑特征从所述可旋转轴延伸并且耦接至所述平台。4.如权利要求1所述的声波清洁插入件，其中所述平台进一步包括：上表面；和下表面，所述下表面与所述上表面相对，所述多个隔板从所述下表面延伸，并且其中可旋转轴耦接至所述上表面，并且围绕所述中心轴旋转。5.如权利要求1所述的声波清洁插入件，其中所述多个保持器的每一保持器被配置为在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间接收工件。6.如权利要求5所述的声波清洁插入件，其中所述多个保持器的每一保持器进一步包括：槽，所述槽被配置为在每一保持器之内保持所述工件的一部分。7.如权利要求1所述的声波清洁插入件，其中所述多个保持器中的保持器进一步包括：槽，所述槽设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间，所述槽被配置为将工件保持在每个保持器之内，所述工件的一部分被配置为延伸超过所述第一侧壁的长度或所述第二侧壁的长度。8.如权利要求7所述的声波清洁插入件，其中所述平台进一步包括：上表面；和下表面，所述下表面与所述上表面相对，所述多个隔板从所述下表面延伸，并且所述第一侧壁和所述第二侧壁从所述平台的所述下表面延伸。9.如权利要求1所述的声波清洁插入件，其中所述多个保持器中的每个保持器以预定角度围绕所述中心轴设置，所述预定角度与所述多个隔板中的隔板数量成比例。10.如权利要求1所述的声波清洁插入件，进一步包括：围绕所述中心轴径向设置的多个支撑特征，所述多个支撑特征从耦接至所述平台表面的可旋转轴延伸，所述多个支撑特征以支撑角度延伸，所述支撑角度小于或等于所述预定角度。11.一种声波清洁系统，包括：罐，所述罐具有内表面和外表面，所述内表面被配置为包括能够传播声波的液体；
多个声波换能器，所述多个声波换能器围绕所述罐的所述内表面径向设置；和声波清洁插入件，所述声波清洁插入件被定位用于插入到罐中，所述声波清洁插入件包括：转盘，所述转盘被配置为围绕中心轴旋转，所述转盘进一步包括：平台，所述平台具有外周边，所述平台围绕所述中心轴径向地设置；内环和包围所述内环的外环；多个隔板，所述多个隔板将所述内环和所述外环耦接至所述平台，所述多个隔板围绕所述中心轴以预定角度布置；和多个保持器，每个保持器由所述平台的一部分、所述内环和外环的每一者的一部分、以及由所述多个隔板形成的第一侧壁和第二侧壁形成，其中所述转盘被配置为浸入超声波振动流体中。12.如权利要求11所述的声波清洁系统，包括：耦接至所述平台表面的可旋转轴，所述可旋转轴被配置为围绕所述中心轴旋转所述平台。13.如权利要求12所述的声波清洁系统，进一步包括：围绕所述中心轴径向设置的多个支撑特征，所述多个支撑特征从所述可旋转轴延伸并且耦接至所述平台。14.如权利要求11所述的声波清洁系统，其中所述罐包括底部并且其中所述多个声波换能器位于距所述底部一定距离的位置。15.如权利要求11所述的声波清洁系统，其中所述多个保持器中的保持器进一步包括：槽，所述槽设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间，所述槽被配置为将工件保持在每个保持器之内，所述工件的一部分被配置为延伸超过所述第一侧壁的长度或所述第二侧壁的长度。16.如权利要求11所述的声波清洁系统，其中所述多个隔板是由反射超声波和兆频超声波中的至少一种的材料制成。17.如权利要求11所述的声波清洁系统，其中所述平台进一步包括：上表面；和下表面，所述下表面与所述上表面相对，所述多个隔板从所述下表面延伸，并且所述第一侧壁和所述第二侧壁从所述平台的所述下表面延伸。18.一种用于声波清洁的方法，包括：围绕中心轴旋转转盘，所述转盘设置在罐中，所述转盘保持多个工件；启动距中心轴一定距离的多个声波换能器，用于超声振动设置在所述罐内的流体。19.如权利要求18所述的用于声波清洁的方法，进一步包括：提供功率以使所述多个声波换能器在约50khz和约100khz之间的频率振动。20.如权利要求18所述的用于声波清洁的方法，进一步包括：以所述流体的共振频率振动所述流体，其中所述多个声波换能器的每一声波换能器位于与所述转盘的所述中心轴等距的距离处。
技术总结
本文披露了一种声波清洁插入件。在一个实例中，声波清洁插入件包括被配置为围绕中心轴旋转的转盘。转盘还包括具有外周边的平台。平台围绕中心轴径向地设置。转盘具有内环和包围内环的外环。多个隔板将内环和外环耦接至平台。多个隔板围绕中心轴以预定角度布置。转盘进一步包括多个保持器。每个保持器由平台的一部分、内环和外环的每一者的一部分、以及由多个隔板形成的第一侧壁和第二侧壁形成。转盘被配置为浸入超声波振动流体中。配置为浸入超声波振动流体中。配置为浸入超声波振动流体中。
技术研发人员：迈克尔
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2021.11.19
技术公布日：2022/5/20