087]在前面的示例为，酸蒸汽通路设置为一个，水/气通路设置为多个，不过此为优选示例，根据需要，酸蒸汽通路可以设置为多个，而水/气通路设置为一个，或者酸蒸汽通路和水/气通路均设置为一个，或者酸蒸汽通路酸蒸汽通路和水/气通路两者均设置为多个。
[0088]二、实施例2:酸蒸清洗器
[0089]图5示出了根据本发明另一实施例的酸蒸清洗器2000的结构示意图，图5所示的酸蒸清洗器2000与图1所示的酸蒸清洗器1000的不同在于多了水/空气花洒式喷管6，顾名思义，该水/空气花洒式喷管6顶部为花洒形式，分布有多个细孔，以供进入水/空气花洒式喷管从细孔喷出。
[0090]图6(a)示出了根据本发明一个实施例的水/空气花洒式喷管的立体图；图6(b)示出了水/空气花洒式喷管沿轴线方向的剖面图；图6((:)示出了水/空气花洒式喷管放大的局部剖面图，其中示出了水从细孔喷出的示意图，具体地，花洒以一定的角度分布了多列细孔，保证较广的喷洒面积。水或空气从底部进入管子中心孔到达顶部花洒喷射出去，冲洗或烘干器皿外表面。
[0091]三、实施例3:酸蒸清洗器
[0092]图7示出了根据本发明一个实施例的酸蒸清洗器3000的更具体结构的示意图。
[0093]如图7所示，酸蒸清洗器3000包括原始酸液容器1、加热器2、清洗腔3、多个酸蒸汽、水、气喷出部件4、底座5、水/空气花洒式喷管6，还包括温度传感器7、集成式原始酸液位控制部件8、上套管架9、下套管架11、进入口 12。
[0094]酸液温度传感器7被置于原始酸液的内部，用于测量原始酸液体的温度。控制器(图中未示出)设置温度阈值，接收酸液温度传感器7测量的温度，将该温度与温度阈值相比较，并相应地控制加热器，例如，当温度已经到达温度阈值时，控制加热器2停止工作。后续将详细介绍酸液温度传感器7的具体实现实施例。
[0095]集成式原始酸液位控制部件8配置为将液位管820、加液漏斗810 (具有漏斗盖子840)和排废液阀830 —体化，原始酸液通过加液漏斗810进入原始酸液容器1内部，液位管820的液位反映原始酸液容器1的液位，排废液阀830打开时能够排出原始酸液容器1中的酸液。后续将参考附图详细介绍。
[0096]加热器2可以是PTC加热器，后续将对加热器的形式进行详细介绍。
[0097]酸蒸清洗器3000还包括液位传感器13，液位传感器13例如为非接触式超声波液位传感器，安装在原始酸液容器的外表面，且不与原始酸液容器表面接触，用于自动测量原始酸液容器内的原始酸的液面，并且将测量的指示液面水平的信号传送到控制器。控制器接收该指示液位的信号，当该指示液位的信号低于预定阈值时，控制停止酸蒸清洗工艺。
[0098]酸蒸清洗器3000还包括套管支架，包括上支架9和下支架10，用于将套管固定于清洗腔中。固定螺丝11用于穿过支架上的螺丝孔，将支架固定在原始酸液容器1上。
[0099]图8(a)_(d)示出了根据本发明一个实施例的套管支架中的上支架的结构示意图，其中图8(a)是上支架的立体图；图8(b)是上支架的立体剖面图；图8(c)是上支架的左视图；图8(d)是上支架沿着废酸出口剖开的剖面图，其中其中的圆孔901为供清洗完器皿后的废酸、废水、废气流出的排废口，标号902指示供插入水/空气花洒式喷管的插孔，标号903指示供套管插入的插孔，标号904指示用于拧入螺丝(例如图7所示的螺丝11)的螺丝孔，在一个示例中，螺丝孔的一部分用于连接上支架和下支架的螺丝，另一部分用于将上支架连接到原始酸液容器的螺丝。
[0100]图9(a)-(d)示出了根据本发明一个实施例的套管支架中的下支架的结构示意图，其中图9(a)是下支架的立体图；图9(b)是下支架的立体剖面图；图9(c)是下支架的左视图；图9((1)是下支架沿着进水/气流路剖开的剖面图，其中其中的标号1001指示螺丝孔，螺丝孔的一部分用于连接上支架和下支架的螺丝，另一部分用于将上支架连接到原始酸液容器的螺丝；标号1002指示套管插入孔；标号1003指示供水/气进入的进水/气口，标号1004指示供水/气流入的进水/气流路，标号1003指示供水/气从下支架流入上下之间的密闭空间的竖直方向的孔，外管上的底部小孔310 (如图3所示)处于上下支架之间的密闭空间，水/空气花洒式喷管的底部也处于上下支架之间的密闭空间，由此水/气从进水/气口 1003经进水/气流路1004、竖孔1005进入上下之间的密闭空间，经外管上的水/气进入孔310进入内外管之间的水/气通路210 (如图2、图4所示)，从外管上的水/气排出孔320喷出到器皿表面；另外水/气还进入水/空气花洒式喷管，从细孔喷出，以花洒形式对各个器皿的外表面进行纯水冲淋和热空气干燥。
[0101]图10示出了将套管、水/空气花洒式喷管、上下支架组合到一起的剖面图，其中9指示上支架、10指示下支架、4指示套管、6指示水/空气花洒式喷管，11-1指示将上下支架一起固定到原始酸液容器的螺丝，11-2指示将下支架固定到原始酸液容器的螺丝，901指示供清洗完器皿后的废酸、废水、废气流出的排废口，1003指示指示供水/气进入的进水/气口。
[0102]上述实施例的酸蒸清洗器，自动完成一套完整的清洗、冲洗、干燥的流程。整个流程全自动，无需人工干预。
[0103]上述实施例的酸蒸清洗器所产生的废酸直接排出清洗腔，进入到废液瓶中，不回流到“干净酸”中继续参与蒸发，不污染干净酸，能够提高清洗效果。
[0104]上述实施例的酸蒸清洗器将温度传感器直接内置于原始酸液中，温度传感器测量的直接就是酸液实际温度，保证了温度测量值的准确性。
[0105]在一个示例中，酸蒸清洗器还可以包括废酸容器、废水容器和废气管，废酸液位监测器，废水液位监测器，纯水液位监测器(图中未示出)。其中废酸经排废口进入排废管，再由控制器控制的电磁三通阀自动导入到废酸容器；废水经排废口进入排废管，再由控制器控制的电磁三通阀自动导入到废水容器；废气经排废口进入排废管，再由控制器控制的电磁三通阀自动导入到废水容器，使其带出的水蒸气得到初步冷凝后，废气经废水容器顶部的排气口进入废气管，再从废气管的放置在通风柜内的另外一端安全排放。废酸液位监测器用于监测废液容器中的废液液位，并将废酸液位传送到控制器，当液位超过预定阈值时，控制器控制停止酸蒸清洗工艺，废水液位监测器用于监测废水容器中的废水液位，并将废水液位传送到控制器，当液位超过预定阈值时，控制器控制停止酸蒸清洗工艺，以及纯水液位监测器用于监测纯水容器中的纯水液位，并将纯水液位传送到控制器，当液位低于预定阈值时，控制器控制停止酸蒸清洗工艺。
[0106]利用废酸液位监测器，废水液位监测器，纯水液位监测器自动感应废酸液位、废水液位和纯水液位，并且传送给控制器，从而一旦不符合设定阈值，控制器即采取措施，例如进行报警、控制自动关机等，从而能够避免人员疏忽与重大化学腐蚀隐患。
[0107]四、实施例4:酸蒸清洗方法
[0108]下面结合【附图说明】根据本发明实施例的在酸蒸清洗器中对器皿进行酸蒸清洗的酸蒸清洗方法。酸蒸清洗器具有清洗腔和控制器，控制器用于控制酸蒸清洗工艺。
[0109]图11示出了根据本发明实施例的在控制器的控制下在清洗腔中自动对器皿进行清洗的酸蒸清洗方法4000的总体流程。
[0110]在步骤S4100中，进行酸蒸清洗，以酸蒸汽清洗器皿内外表面。
[0111]在一个示例中，具体子步骤如下:
[0112]a)将待清洗的器皿罩在酸汽/水/空气套管上。
[0113]b)从加液漏斗加入原始的酸液，并观察液位变化，至合适的液位即可。
[0114]c)开启电脑软件，设定加热温度(不高于沸点)与时间，点击“开始”键后，加热器(例如PTC加热器)开始加热。
[0115]d)温度传感器(例如内置于原始酸液中的温度传感器)不断采集酸液的温度信号，并传送给电脑，软件根据设定值与实际值，自动判断是否继续加热或停止，从而保持酸液温度稳定在设定值。
[0116]e)干净酸液在低于沸点的温度下，缓慢蒸发，酸蒸汽通过套管内管的酸蒸汽通路(例如，如图2和图4的标号220所指示的酸蒸汽通路)上升，并从四周和/或顶部的酸蒸汽排出孔(例如，如图4的标号230和330所指示的酸蒸汽排出孔)中喷出到器皿的内表面上，进行酸清洗，如图12的示意图所示。
[0117]f)清洗过的酸汽凝结为酸液，经排废口(例如，图8的标号901指示的排废口 )排出系统，如图13的示意图所示。
[0118]g)在程序运行过程中，原始酸液位传感器(例如如图7所示的非接触式液位传感器13)不断采集干净酸液即原始酸液的液位变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最低值时，自动终止程序，而无论加热时间是否到达。
[0119]h)在程序运行过程中，废酸液位控制器不断收集废酸容器，并传送给电脑，当达到预先设定的最高值时，会自动终止程序，无论加热时间是否到达。
[0120]i)当加热时间达到预设值时，系统停止加热，即停止酸清洗，步骤S4100的酸清洗步骤完成，即系统自动转入纯水冲洗阶段，即前进到步骤S4200。
[0121]在步骤S4200中，进行纯水喷淋，以纯水喷淋经酸蒸气清洗后的器皿内外表面。
[0122]具体地，例如，超纯水被水栗从超纯水瓶中抽出，进入酸蒸清洗系统，然后例如充满上下支架之间的密闭空间，然后在压力作用下，一部分经外管上的水/气进入孔(如图3的标号310所示)进入内外管之间的水/气通路(如图2、图4的210所示)，从外管上的水/气排出孔(如图2、图4所示的320所示)喷出到器皿表面，将残留在上面的酸液冲洗掉；一部分进入水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面残留的酸液冲洗掉，这些