一种自动摇酸设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种自动摇酸设备。
【背景技术】
[0002]半导体晶片在生产制造过程中需要多次使用化学品进行清洗、腐蚀等工序，通过化学试剂与晶片表面进行反应，对晶片表面的杂质和损伤层面进行去除，或者根据工艺需求制作某一特定的腐蚀形状。摇酸/泡酸/腐蚀过程需要将晶片晃动起来，一般采用人工摇晃的方式。如在反应中停止晃动，化学试剂与晶片会反应不够均匀，对产品品质造成影响，并且人工操作受人为因素影响较多，晃动的力度、频率等均会影响产品品质的一致性。
【实用新型内容】
[0003]为解决半导体晶片在摇酸/泡酸过程中反应不均匀的问题，本实用新型提供了一种自动摇酸设备，通过使用改良后的机械推拉原理，使晶片在化学试剂中做平行往复运动，达到晃动晶片反应均匀一致的效果。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案。
[0005]—种自动摇酸设备，包括电源、控制继电器、光电开关、压缩气调节旋钮、压缩气电磁阀、推拉臂、平行运动导轨、支架、晶片托盘和槽体；电源连接控制继电器，控制继电器分别连接光电开关和压缩气电磁阀，压缩气电磁阀通过气管路连接气缸，气缸上设有压缩气调节旋钮，气缸包括推拉臂，推拉臂连接能够在平行运动导轨上滑动的支架，支架连接位于槽体内的晶片托盘。对光电开关位置的调节，可以控制晶片在酸液中的运动行程；通过对压缩气调节旋钮大小的调节，可以控制晶片在酸液中的晃动频率。
[0006]本实用新型通过压缩气推动气缸中的推拉臂做平行往复运动，带动平行运动导轨作等距往复，进而联动支架和晶片托盘在酸槽内晃动。
[0007]本实用新型的实现步骤流程为:控制继电器根据光电开关传递的信息，控制压缩气电磁阀进行动作，压缩气体进入气缸，推动推拉臂做运动，进而连动支架在平行运动导轨上滑行，带动晶片托盘平行运动；运行至另一侧时，另一端的光电开关和压缩气电磁阀动作，按相反的方向运动，完成一个往复，连贯动作即达到预期自动晃动晶片的目的。
[0008]本实用新型通过压缩气推动气缸中的推拉臂做平行往复运动，带动平行运动导轨做等距往复，进而联动支架和晶片托盘在酸槽体内晃动，达到自动均匀晃动的目的；通过对压缩气调节旋钮大小的调节可以控制晶片在酸液中的晃动频率；对光电开关位置的调节，可以控制晶片在酸液中的运动行程，可根据工艺和产品类型的不同作对应调整。
[0009]本实用新型的有益效果是，通过对摇酸/泡酸自动推拉晃动的改进，减少人为作业导致的质量不稳定，对于提高产品的电性能一致性有很大帮助；可以对自动晃动频率以及行程调节，可以满足不同工艺和产品类型对于摇酸/泡酸的要求。
[0010]当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型整体结构示意图。
[0012]图2是图1中酸槽(槽体)的俯视图。
[0013]图3是图1中酸槽的右视图。
[0014]其中，1、电源；2、控制继电器；3、光电开关；4、压缩气调节旋钮；5、压缩气电磁阀；6、推拉臂；7、平行运动导轨；8、支架；9、晶片托盘；10、槽体。
【具体实施方式】
[0015]下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0016]在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0018]如图1-3所不，一种自动摇酸设备，包括电源1、控制继电器2、光电开关3、压缩气调节旋钮4、压缩气电磁阀5、推拉臂6、平行运动导轨7、支架8、晶片托盘9和槽体10 ;电源I连接控制继电器2，控制继电器2分别连接光电开关3和压缩气电磁阀5，压缩气电磁阀5通过气管路连接气缸，气缸上设有压缩气调节旋钮4，气缸包括推拉臂6，推拉臂6连接能够在平行运动导轨7上滑动的支架8，支架8连接位于槽体10内的晶片托盘9。对光电开关3位置的调节，可以控制晶片在酸液中的运动行程；通过对压缩气调节旋钮4大小的调节，可以控制晶片在酸液中的晃动频率。
[0019]上述虽然结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。
【主权项】
1.一种自动摇酸设备，其特征是，包括电源(I)、控制继电器(2)、光电开关(3)、压缩气调节旋钮(4)、压缩气电磁阀(5)、推拉臂(6)、平行运动导轨(7)、支架(8)、晶片托盘(9)和槽体(10);电源(I)连接控制继电器(2)，控制继电器(2)分别连接光电开关(3)和压缩气电磁阀(5)，压缩气电磁阀(5)通过气管路连接气缸，气缸上设有压缩气调节旋钮(4)，气缸包括推拉臂(6 )，推拉臂(6 )连接能够在平行运动导轨(7 )上滑动的支架(8 )，支架(8 )连接位于槽体(10 )内的晶片托盘(9 )。
【专利摘要】本实用新型公开了一种自动摇酸设备，包括电源（1）、控制继电器（2）、光电开关（3）、压缩气调节旋钮（4）、压缩气电磁阀（5）、推拉臂（6）、平行运动导轨（7）、支架（8）、晶片托盘（9）和槽体（10）；电源（1）连接控制继电器（2），控制继电器（2）分别连接光电开关（3）和压缩气电磁阀（5），压缩气电磁阀（5）通过气管路连接气缸，气缸上设有压缩气调节旋钮（4），气缸包括推拉臂（6），推拉臂（6）连接能够在平行运动导轨（7）上滑动的支架（8），支架（8）连接位于槽体（10）内的晶片托盘（9）。本实用新型减少质量不稳定，提高产品的电性能一致性；对自动晃动频率以及行程调节，满足不同工艺和产品的要求。
【IPC分类】B08B3/10, B08B3/08
【公开号】CN204842330
【申请号】CN201520617279
【发明人】郭城, 吕明, 赵海玲, 郭英云, 卢国香
【申请人】山东科芯电子有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年8月17日