湿式气体处理方法和湿式气体处理装置的制作方法

专利名称：湿式气体处理方法和湿式气体处理装置的制作方法
专利说明湿式气体处理方法和湿式气体处理装置 本发明涉及利用碱处理液对酸性气体进行处理的湿式气体处理方法和湿式气体处理装置。本发明的优选实施形式涉及串联连接多个填料塔的多塔结构的处理方法。还有，本发明优选适用于处理对聚硅烷进行气体净化后产生的酸性气体的情况下的析出物的处理方法和处理装置。过去，作为可适用于大风量的湿式洗涤器的方式，已知有喷淋塔、填料塔或多孔板塔等。在这些的方式中，从塔下部导入排放气体，利用塔外部的风扇形成排放气体的气流。另一方面，处理液从塔上部下落形成液流，结果，排放气体流和处理液流形成对流。即，该方式为，从塔上部呈淋浴状喷雾的处理液和排放气体发生气液反应，或者排放气体潜入多孔板上的处理液层中并被分散，产生气液反应(参照《半导体工场环境清净化》编者小野员正、发行所(株)サイエンスフオ-ラム、发行日1980年12月10日)。
填料塔的内部结构如下所述。
在塔下部具有气体导入口，在略靠其上的部位设置筛网(金属网)。该筛网形成排放气体的滞留空间，还有在其上承载着填充料。而且，填充料叠层在筛网上，在填充料的上端部之上设置喷洒处理液的雾化喷嘴。进而，塔上部出口经由配管与吸风扇连接。(也有在排放气体导入口设置吹入的风扇的情况。)该填料塔的设计方法记载于《化学机械的理论和计算》(亀井三郎编、产业图书)气体吸收、第7章吸收问题、p177～p202中。在该文献中记载了，当气体质量速度大时，降低填料塔的高度、增大塔的内径以减小压力损失的方式。还有，作为吸收问题，公开了当排放气体的回收率和填料的种类确定时，计算被填料填满的填充塔的高度和塔的内径的方法。
USP Re.35,234公开了作为串联连接多个这种填料塔的多塔式的例子。其中，将空气中的硫化氢吸收到处理液中，形成所需的浓度。还有，分别设置在各塔下部的处理液槽，形成处理液从形成空气出口的第n塔溢流到作为空气入口的第1塔中的结构。即，空气流和处理液流对向流动。
酸性气体的湿式洗涤器的用途为，可以用作在对作为CVD装置的附属生成物堆积起来的聚硅烷进行气体净化时产生的排放气体的处理装置。作为该用途的析出对策，在前述文献中代替通常的雾化喷嘴采用旋转喷嘴。还有，在下述各公报中，公开了机械地汲出析出物、使清洗液呈螺旋状流动以溶解析出物、为了防止在排放气体处理装置和生产装置之间的排气管堵塞而在该管内部设置喷洒溶解媒质的喷嘴等技术。
首先，在特开平9-186093号公报中，为了防止由于氯化物排放气体和水的反应生成堆积物所造成的堵塞，设置配管内部的析出物汲出装置和药液的自动更换装置(例1)。
还有，在特公平6-77669号公报中，在从顶板部高速喷射碱性清洗液的喷射洗涤装置侧面部上，设置含有卤素的硅化合物气体、氟化氢或盐酸等酸性气体等未处理的排放气体导入口，清洗液呈螺旋状向下流向该排放气体导入口，防止由于粉尘或粘稠度高的析出物造成的堵塞(例2)。
进而，在特开2000-334409号公报中公开了防止前述排气管堵塞的方案。在本公报所记载的例子中，在集合从多个生产装置排出的排放气体的排气管中，进行酸碱反应，产生反应生成物(盐)。在本公报中，利用从多个喷嘴喷洒的溶剂溶解该反应生成物，以防止堵塞(例3)。本发明的目的是，在具有氟化氢气体或氯气等酸性气体的除害功能的湿式洗涤器中，防止SiO2等硅化合物的析出物造成配管堵塞。即，本发明同时控制氟化氢气体或氯气等的“除害”和“析出”。在下述的本发明中，利用处理液的“除害”和“气液反应”具有相同的含义。还有，“处理塔”和“处理室”以相同的含义使用。
作为应对现有的湿式洗涤器的堵塞对策，如前面所述，存在汲出方式或药液更换、挤压流动、防止干燥或使雾化喷嘴旋转等方式，但是这些均不能被认为是从根本上抑制析出的技术。
特别地，在应处理的酸性气体的排出量大的情况下，在雾化喷嘴附近或雾化喷嘴的背面、多孔板端部或与酸性气体流相对的喷嘴·多孔板的下游(以下简称称“下游侧”)的配管内部，产生大量的凝胶状的析出物。易于堵塞该下游侧的配管内部，当该配管堵塞时，不得不使装置停止以分解清理配管内部。这时，产生未处理的酸性气体扩散、污染大气的环境问题。还有，由于酸性气体是对人体有害的气体，所以需要一边局部排气一边由分解清理人员穿着化学防护服和防毒面具等进行作业。即，必须对安全问题作充分的准备。
另外，在通过旋转雾化喷嘴来抑制析出物的情况下，在喷嘴的非喷雾部产生析出物，不能避免在前述下游侧的连接配管内的堵塞。
若采用容量非常大的处理塔，则可以缓解上述问题，但是增大了装置的成本，也增大了装置设置场所的面积。
本发明的目的是以低成本提供控制上述析出物造成的配管堵塞和雾化喷嘴背面的析出物的产生，可以连续长时间运转的安全的湿式气体处理方法或湿式气体装置。
在此，本发明为湿式气体处理方法，在配有两个以上串联连接的处理塔的处理酸性气体的方法中，其特征在于，出口处酸性气体浓度Ce1相对于最初导入前述酸性气体的第1处理塔的入口处的酸性气体浓度Ci1的比R1＝Ce1/Ci1，大于第n个处理塔(n≥2)中的至少一个的出口处酸性气体浓度相对于入口处酸性气体浓度的比Rn＝Cen/Cin。
在上述湿式气体处理方法中，前述R1优选大于所有第n个处理塔(n≥2)的Rn(即，所有处理塔的Rn中R1最大)。还有，R1优选在0.4以上。
还有，本发明为湿式气体处理方法，在配有两个以上串联连接的处理塔的处理酸性气体的方法中，其特征在于，在第k个处理塔(k为自然数)内部设置的雾化喷嘴喷雾的碱处理液产生的流向第k+1个处理塔的雾流，在连接处理塔之间的配管中的任何空间内均保持碱性。
进而，本发明为湿式气体处理方法，在配有两个以上串联连接的处理塔的处理酸性气体的方法中，其特征在于，控制碱处理液的喷雾流量或浓度，以便使在对第1处理塔内喷雾的碱处理液的第1处理塔下部的处理液槽中测定的pH值在9以上。
在所述的处理方法中，优选在各处理塔中进行的处理是相同的。
还有，本发明为湿式气体处理装置，在配有两个以上用连接配管串联连接的处理塔、利用碱处理液对酸性气体进行处理的湿式气体处理装置中，其特征在于，填充到第1处理塔中的填充料的量比填充到第2处理塔以后的任何一级处理塔中的填充料的量都少。
在该处理装置中，优选填充到第1处理塔中的填充料的量比填充到第n个处理塔(n≥2)中的填充料的量中的任何一个都少(在填充到各处理塔中的填充料的量中，填充到第1处理塔中的填充料的量最少)。
进而，本发明为湿式气体处理装置，在配有两个以上用连接配管串联连接的处理塔、利用碱处理液对酸性气体进行处理的湿式气体处理装置中，其特征在于，在连接配管内部具有前述连接配管中的至少在第1处理塔和第2处理塔之间的连接配管的弯曲数+1个以上的雾化喷嘴，这些雾化喷嘴各自以从其它喷嘴被直接喷射碱处理液的方式配置。
上述本发明，在不相互矛盾的限度内，可以进行适当的组合。还有，采用上述装置的处理方法也包括在本发明的范围内。
还有，在上述本发明中，处理塔的串联数在3个以上，有利于提高处理能力。

图1是说明本发明的实施例1的图示。
图2是图1的第1处理塔和第2处理塔的局部放大图。
图3是参考例子的洗涤器的说明图。在说明本发明之前，先利用参考例对本发明的课题作原理性的说明。图3是串联配置五个作为处理塔的填料塔的排放气体处理装置。在图3中，301～305顺序为第1填料塔～第5填料塔，306是酸性气体导入口、307是连接配管、308是处理液槽、309是雾化喷嘴、310是填充料、311是筛网。
连接配管307从第1塔301的顶部连接到第2塔302的底部上。第2塔以后也一样。第5塔305的顶部连接到图中未示出的排放气体鼓风机上。
通过排放气体鼓风机的吸引形成排放气体流，从第1塔301向第5塔305的方向流动。还有，利用图中未示出的耐蚀性泵从处理液槽308抽吸处理液，利用分别配置在各塔顶附近的雾化喷嘴309进行喷雾，流到各塔内部的填充料310之间，并通过筛网返回到处理液槽308。
各塔的内部以及塔外部的风扇，与现有技术中所说明的一样，从第1塔至第5塔均放入相同量的同样形状的填充料310。
在本参考例中，处理液为25％的NaOH水溶液，酸性气体为CVD装置副产物的聚硅烷用三氟化氯(以下简称为ClF3)气体进行蚀刻(etching)时产生的气体。聚硅烷与ClF3反应并气化，生成SiH3Cl、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiH3F、SiH2F2、SiHF3、SiF4等。而且，这些气体与NaOH水溶液进行水解反应而被除害。
例如，对每分钟1000升的由氮稀释至1％的ClF3，也就是流过10小时(600分钟)的10升/分的ClF3和990升/分的氮的情况下，即通过流过6000升的ClF3可以清理规定量的聚硅烷的情况进行说明。这时，当塔的截面面积为1.5m2时，ClF3的流量(体积速度)为400升/小时·m2。当以该气体流量连续运转时，在该参考例中，已判明在3小时内第1处理塔和第2处理塔的连接配管(内径φ150mm)完全被SiO2的析出物堵塞。
本发明人通过对析出物的发生情况的确认结果，判明以下事实。
在第一处理塔内部的紧靠雾化喷嘴的下方的填充物中，几乎未发现析出物，在雾化喷嘴的背侧和作为气流下游侧的前述连接配管中发现大量析出物。还有，在填充料的最底部和筛网中，截面面积的一半以上被堵塞。进而，在第2处理塔以下，未发现堵塞。
本发明人从上述事实得出以下知识。作为处理液的NaOH水溶液为强碱性，刚从雾化喷嘴喷出的处理液的雾保持与处理液槽中的处理液相同的pH值。但是，与含有大量ClF3的酸性气体气液接触，其气液接触时间越长，pH值越低。具体而言，当从雾化喷嘴对NaOH处理液进行喷雾时，除了圆锥形的喷淋(由NaOH处理液形成的喷淋)之外，还产生由前述排气风机形成的雾的流动。喷淋相对于酸性气体流是对向流动，而雾的流动则是并行流动。因此，雾与酸性气体接触时间较长。还有，由于雾的颗粒小、表面积/体积的比大，所以接触效率高。即，随着从第1处理塔的雾化喷嘴至第1处理塔和第2处理塔之间的连接配管内部的下游侧，雾的pH值逐渐下降。而且，在pH＝2.5附近时，在配管内部大量产生SiO2的析出物，使配管堵塞。以同样的解释，筛网附近的堵塞也可以由pH值来说明。即，从第1处理塔的雾化喷嘴喷雾的碱处理液，与浓度最高的未处理的酸性气体通过填充料进行气液反应。在填充料上部的第1处理塔的顶部较近的部分也就距雾化喷嘴近。因此，从碱处理液喷雾、与酸性气体进行气液反应直到填充料的上部的时间缩短，碱处理液仍保持碱性。另一方面，在与填充料下部的筛网接触的部分中，远离雾化喷嘴。因而，由于从喷雾到一边与酸性气体进行气液反应一边到达填充料的下部的时间加长，所以碱处理液变成酸性。而且，当pH值接近2.5时，急剧地析出SiO2。在处理大量的酸性气体时，当第1处理塔中的处理量大于必要的处理量时，填充料中的孔堵塞、或配管的堵塞随着处理时间的推移而加剧。
当填充料的量大时，酸性气体和碱处理液的接触面积增大(反应量增加)，成为对碱处理液流动的阻力。因此，在存在大量的酸性气体的气氛下，在碱处理液到达填充料下方之前，pH值减小，处理能力下降，析出物开始析出。结果，引起填充料中的孔堵塞，进而阻碍了碱处理液的流动，最终造成配管堵塞。
作为其对策，若简单地增加碱处理液的流量，由于单位时间内可以流过填充料的间隙的碱处理液的量是一定的，所以处理液不能流入到填充料之间，将从处理塔中溢出。
即，第1处理塔中的酸性气体的处理量有必要控制在最佳的范围内。
下面，对本发明的实施形式进行说明。
首先，对本发明的第一个优选实施形式进行说明。
如前面所述，为了抑制SiO2的析出，使处理液的pH值应远离2.5而为碱性(pH＞7)。为了防止在第1处理塔中由于酸性气体而使处理液酸性化，有必要抑制气液反应、相对于导入的酸性气体的流量提供充分的处理液的喷淋流量和浓度。在实施例1中说明相关的流量。以下，对利用酸性气体的浓度抑制气液反应进行说明。
表1表示在参考例和本发明(本实施形式)的情况的各处理塔的入口处的酸性气体浓度和出口处的酸性气体浓度。为了简单起见，第1处理塔简称为第1塔。还有，在表1中，第3塔入口＝第2塔出口、第4塔入口＝第3塔出口、第5塔入口＝第4塔出口。
表2表示第k处理塔(k为自然数)的出口处的酸性气体浓度Cek和入口处的酸性气体浓度Cik的比Rk＝Cek/Cik。Rk的数字越小，则处理塔内部的反应越剧烈。
在参考例的气体处理装置的情况下，酸性气体的浓度以等比级数的方式下降，在本发明中，与参考例相比，浓度下降缓慢，在第5塔中不再下降。(表1)送入10000ppm的酸性气体时，各塔中的酸性气体浓度测定值ppm
(表2)各处理塔入口处的酸性气体浓度和出口处的酸性气体浓度的比Rk
还有，在表1的本发明一栏中，第1塔出口的酸性气体浓度与第2塔入口酸性气体浓度不同的原因为，在第1处理塔和第2处理塔的连接配管内部，设置有供给碱性喷淋的雾化喷嘴。
从表2可知，在本发明中，前述浓度比R1为0.4时不发生堵塞，而在参考例中浓度比R1为0.11时发生堵塞。因此，该浓度比R1只要在0.4以上就不会发生堵塞。
还有，在参考例中有酸性气体的浓度为1200ppm的第2处理塔入口以后不会发生堵塞的事实。由该事实可以判断，由于在本发明的第3处理塔入口处为700ppm，所以不需要在第3塔以后的连接配管内部设置的雾化喷嘴。
还有，优选在整个处理塔中以控制析出反应的方式将pH值保持在7以上。以下，将处理液槽的数目分类成①②，对pH值的控制方法进行说明。
① 在各个处理塔中单独设置处理液槽的情况(参照图1)② 正各处理塔共用一个处理液槽的情况(参照图3)对①的pH值控制的说明。
在图1的处理液槽111～115中，分别设置图中未示出的pH值计和NaOH处理液供应泵，根据各处理塔的酸性气体的浓度，以可以保持各塔中处理液的碱性的方式经由NaOH泵从外部供应NaOH处理液，以控制pH值。
对②的pH值控制的说明。
在这种情况下，由于不能对前述处理液的不同塔中的pH值进行控制，所以用填充料的量来进行调整。在对各个塔填入相同量的填充料的参考例中，在第1处理塔中酸性气体的浓度呈等比级数下降。酸性气体的浓度在10000ppm的第1处理塔中使NaOH处理液酸性化，易于析出SiO2。因而，本发明人认为，若减缓酸性气体的浓度变化，避免NaOH处理液的酸性化，便不会析出SiO2。
以下，进行更详细的说明。
为了抑制在酸性气体浓度高的第1处理塔中的析出反应，碱处理液的流量充分大于由于酸性气体而进行中和反应的量。在第1处理塔中碱处理液的流量大的情况下，优选构建喷淋塔(填充料的量为零或比其它处理塔中的任何一个塔的填充料都少)。在该喷淋塔中也产生气液反应，但是其反应量比不上在填料塔中的反应量。因此，处理塔的入口和出口的酸性气体浓度比与参考例的填料塔的情况相比，喷淋塔中的浓度比值较大，即反应受到抑制。在第2处理塔中，碱处理液的流量比[参考例]更多，同时，填充料的量投入比参考例的要相当于一个塔中的填充料的量少(参照表4)。在第3处理塔以后，以补充第1处理塔、第2处理塔中的比参考例中相当于一个塔的填充料所少的量的方式进行配置。这时，以压力损失不大于规定值的方式适当地设计处理塔的高度和内径。
在上述本发明中，由于第1处理塔对一定程度的酸性气体进行同样的处理，所以即使在第2处理塔以后采用比第1处理塔更多的量的填充料，也不会引起填充料的孔堵塞、或配管的堵塞，可以有效地进行处理。
另外，为了避免前述连接配管内部的堵塞，如知识1所述，前述雾流在第1处理塔和第2处理塔的连接配管中的任何空间中均保持碱性。具体的装置结构如后面所述。
还有，在本发明中，各处理塔中的处理优选是相同的(至少包含同样的处理)。在此，“处理相同”是指被处理气体经受的化学反应相同。利用该结构，将全部处理量最佳地分配到各处理塔中，可以有效地进行处理。
在本发明的第1个优选实施形式中，作为典型的例子，以第1处理塔的填充料的量为零的喷淋塔为例，但是，只要可以抑制第1塔的气液反应、在塔下部的处理液的pH值在7以上，填充料的量不为零也可以(第二个优选实施形式)。即，如(表2)所示，第1处理塔的入口和出口的酸性气体浓度比应大于其它至少一个处理塔的浓度比。当以填充料的量进行说明时，第1处理塔的填充料的量比第2塔以后的任何一个塔的填充料的量少。
另外，由知识2可知，为了避免第1处理塔内部的堵塞，优选以在塔内部处理液不变成酸性的方式进行控制。因此，优选以从第1处理塔上部喷雾的碱处理液使在该塔下部的处理液槽中的pH值在9以上的方式控制碱处理液的喷雾流量或pH值浓度。关于该流量和pH值浓度，在对于作为前述连接配管的堵塞原因的雾的酸性化，优选在该连接配管内部增设供给碱处理液喷淋的雾化喷嘴，使雾保持碱性。雾化喷嘴的个数为在该连接配管的每个弯曲处设置一个，雾化喷嘴的配置优选以直接将碱处理液喷到相邻的其它喷嘴使不会在相邻的喷嘴的背面产生析出物的方式进行。为了喷到连接配管内部的喷嘴整个背面上，所必需的雾化喷嘴个数为连接配管的弯曲数+1个。关于雾化喷嘴，在实施例1进行详细说明。
以下，利用实施例对本发明作更为详细的说明。本实施例的湿式洗涤器(气体处理装置)，为5塔式，填充料的总量、配管连接方法和配管内径、风扇位置均与参考例的装置相同。与参考例不同之处为，雾化喷嘴数目和位置、以及各塔的填充料的分配率、第5塔的高度和处理液槽的分割。图1中表示其原理图。图1按照后面所述的(表4)的填充料的分配率进行说明。
在图1中，101～105顺次为第1处理塔～第5处理塔，106为酸性气体导入口、107为连接配管、108～110为雾化喷嘴、111～115为处理液槽、116为填充料。
图2是图1的第1处理塔和第2处理塔的局部放大图。在图2中，201～212为雾化喷嘴，213、214为处理液槽。还有，酸性气体流由虚线箭头表示，喷淋由实线箭头表示。以下，对(1)喷淋和(2)各塔的填充料的量进行说明。
(1)关于喷淋的说明喷淋是由各雾化喷嘴供给。
雾化喷嘴204位于雾化喷嘴203的上方且设置在连接配管的上端部上，以便喷洒处理液(喷淋)到雾化喷嘴203的背面上。进而，雾化喷嘴205沿雾化喷嘴204的横向方向设置，对雾化喷嘴204的非喷雾部分进行喷洒处理液。即，对前一个雾化喷嘴喷洒处理液。例如，如图2所示，在从第1塔至第2塔的连接配管具有三个弯曲部和四个直管部的情况下，可以增设四个雾化喷嘴。结果，使喷嘴背面和连接配管的内部的雾流保持碱性(pH＞7)，可以抑制SiO2的析出。
更具体地说，在前述ClF3的质量速度为400升/小时·m2的情况下，利用pH计测定前述处理液槽111～115中的处理液的浓度，以pH＝10的方式供应处理液。在这种情况下，从上述雾化喷嘴喷雾的NaOH处理液的流量如表3所述。另外，实际上，处理液槽111、112、即处理液槽213、214内部的NaOH处理液的pH被控制在9.4至11.6的范围内。还有，在三个月的观察期内未发现由于析出而导致的堵塞。还有，pH＝9时也可以获得与pH＝10相同的效果。因此，为了抑制SiO2的析出，在处理液槽中以pH在9以上(9或比9碱性更强)的方式进行设定。
(表3)从雾化喷嘴而来的NaOH处理液的流量单位升/分
通常，在pH＝2.5时，易于产生SiO2粒子的凝聚，因而，在pH＝9以上时，不易引起凝聚。还有，通过在连接配管内部增设雾化喷嘴，可以在一定程度上促进该空间中的气液反应，抑制析出反应。
以上，对SiO2粒子的凝聚进行了说明，但是对于其它无机氧化物粒子也一样，当溶液的pH值变化时，易于析出的状态也发生变化。因而，对于在酸性条件下易于析出的粒子可以采用上述方法。
(2)对各塔的填充料的量(分配率)进行说明当将与参考例相同量的填充料投入到所有填充塔中时，在第1塔附近，集中地产生SiO2的析出反应。因而，在伴随有析出反应的湿式洗涤器中，使析出物质分散到碱处理液中，可以延长寿命。而且，使各处理塔的pH值为在7以上的规定值。而且，以可以保持该规定值的方式进行处理液的控制。还有，由于在各塔中进行中和所必需的NaOH处理液的量不同，如图1所示的处理液槽被分割为111～115。特别是由于浓度高的酸性气体进入到第1塔中，所以与其它处理室相比，需要增加第1塔的处理液槽111内部的NaOH处理液的更换频率或补充频率。
在ClF3的质量速度为400升/小时·m2的情况下，分配率如下(表4)所示。在(表4)中同时还记录了参考例。
(表4)填充料的分配率(％)
利用这样的填充料的分配率和增设雾化喷嘴，采用本实施例的方法的洗涤器在断续地运行200小时之后停止，对洗涤器内部进行观察。结果，在连接配管的弯曲部发现了微量的析出物，但是配管一点也没有堵塞。还有，在第1塔的筛网的一部分中发现了析出物，但是析出物的量极少，可以容易地去除。
在上述实施例中，大量使用雾化喷嘴，使处理室内部的pH值保持碱性，可以抑制配管等的析出反应并防止堵塞。特别是在目标pH为10的情况下，实际的pH测定值为9.4～11.6，即使进行三个月时间的运转，第1处理塔内部、从第1处理塔到第2处理塔之间的连接配管中也仅发现了微量的析出，根本没有堵塞。
权利要求
1.湿式气体处理方法，在配有两个以上串联连接的处理塔的处理酸性气体的方法中，其特征在于，出口处酸性气体浓度Ce1相对于最初导入前述酸性气体的第1处理塔的入口处的酸性气体浓度Ci1的比R1＝Ce1/Ci1，大于第n个处理塔(n≥2)中的至少一个的出口处酸性气体浓度相对于入口处酸性气体浓度的比Rn＝Cen/Cin。
2.权利要求1记载的湿式气体处理方法，其特征在于，前述R1大于所有第n个处理塔(n≥2)的Rn。
3.权利要求1记载的湿式气体处理方法，其特征在于，R1在0.4以上。
4.湿式气体处理方法，在配有两个以上串联连接的处理塔的处理酸性气体的方法中，其特征在于，由在第k个处理塔(k为自然数)内部设置的雾化喷嘴喷雾的碱处理液产生的流向第k+1个处理塔的雾流，在连接在处理塔之间的配管中的任何空间内均保持碱性。
5.湿式气体处理方法，在配有两个以上串联连接的处理塔的处理酸性气体的方法中，其特征在于，控制碱处理液的喷雾流量或浓度，以便使在对第1处理塔内喷雾的碱处理液的第1处理塔下部的处理液槽中测定的pH值在9以上。
6.湿式气体处理装置，在配有两个以上用连接配管串联连接的处理塔、利用碱处理液对酸性气体进行处理的湿式气体处理装置中，其特征在于，填充到第1处理塔中的填充料的量比填充到第2处理塔以后的任何一塔中的填充料的量都少。
7.权利要求6记载的湿式气体处理装置，其特征在于，填充到第1处理塔中的填充料的量比填充到第n个处理塔(n≥2)中的填充料的量中的任何一个都少。
8.湿式气体处理装置，在配有两个以上用连接配管串联连接的处理塔、利用碱处理液对酸性气体进行处理的湿式气体处理装置中，其特征在于，在连接配管内部具有前述连接配管中的至少在第1处理塔和第2处理塔之间的连接配管的弯曲数+1个以上的雾化喷嘴，这些雾化喷嘴各自以能被其它喷嘴直接喷射到碱处理液的方式配置。
全文摘要
以在第1塔中的处理液不变成酸性的方式减少填充料，减少的那部分填充料转到第5塔中以便同时控制除害和析出。还有，在第1塔和第2塔之间的连接配管内部，设置多个雾化喷嘴，控制析出反应。由此，在湿式气体处理装置中，可以防止处理塔之间的连接配管内部和处理塔内部产生析出物、堵塞连接配管。
文档编号B01D53/34GK1429654SQ0215880
公开日2003年7月16日 申请日期2002年12月25日 优先权日2001年12月25日
发明者越前裕, 伊泽博司 申请人:佳能株式会社