技术总结
压电微机械超声换能器PMUT包含被安置在衬底上的多层堆叠。所述多层堆叠可包含被安置在所述衬底上面的锚定结构、被安置在所述锚定结构上面的压电层堆叠和被安置成接近所述压电层堆叠的机械层。所述压电层堆叠可被安置在空腔上面。所述机械层可密封所述空腔，并且连同所述压电层堆叠受所述锚定结构支撑并在所述空腔上面形成膜片，所述膜片被配置成在所述PMUT接收或发射超声波信号时，进行挠曲运动和振动中的一或两者。
技术研发人员：乔恩·布拉德利·拉斯特;拉温德拉·瓦曼·谢诺伊;艾弗杰尼·佩托维奇·高瑟夫;赫瑞什科士·班差瓦加;戴维·威廉·伯恩斯;郭乃贵;乔纳森·查尔斯·格里菲思;苏耶普拉卡什·甘蒂
受保护的技术使用者：高通股份有限公司
文档号码：201580035279
技术研发日：2015.06.08
技术公布日：2017.05.10