1.一种精确配制和实时监控氧化物刻蚀缓冲液浓度的方法，其特征在于，包括以下步骤：
a)在中转槽中加入未稀释的氧化物刻蚀缓冲液，在清洗槽中加入适量等离子水；
b)打开中转槽与清洗槽之间的连通阀门，中转槽中未稀释的氧化物刻蚀缓冲液流入清洗槽中与去离子水混合稀释，同时清洗槽中的PH测试仪对稀释后的氧化物刻蚀缓冲液的PH值进行实时测量，当PH值达到设定范围值时，关闭阀门，清洗槽中形成配置好的氧化物刻蚀缓冲液；
c)在清洗槽中放入硅片进行清洗；
d)一段时间后，当PH测试仪检测到PH值超出其设定范围值时，则停止清洗硅片。
2.根据权利要求1所述的精确配制和实时监控氧化物刻蚀缓冲液浓度的方法，其特征在于，在步骤d)所述的停止清洗硅片后，排掉清洗槽中PH值有异常的氧化物刻蚀缓冲液，然后按照步骤a)和步骤b)重新配制氧化物刻蚀缓冲液。
3.根据权利要求1所述的精确配制和实时监控氧化物刻蚀缓冲液浓度的方法，其特征在于，所述中转槽内设置有低水位感应器和高水位感应器，当中转槽内的液位达到最低液位时，则低水位感应器将信号反馈给控制系统，并向中转槽内补充未稀释的氧化物刻蚀缓冲液，当中转槽内的液位达到最高液位时，则高水位传感器将信号反馈给控制系统，并停止向中转槽内补充未稀释的氧化物刻蚀缓冲液。
4.根据权利要求1所述的精确配制和实时监控氧化物刻蚀缓冲液浓度的方法，其特征在于，所述PH测试仪的设定范围值为5.84-5.98，当清洗槽中的氧化物刻蚀缓冲液的PH值超过该数值范围时，则触发报警系统。
5.根据权利要求1所述的精确配制和实时监控氧化物刻蚀缓冲液浓度的方法，其特征在于，所述PH测试仪的工作温度为0-60度。