连续涂布装置和连续涂布方法与流程

本发明涉及对以卷对卷(rolltoroll)的方式输送的长薄膜连续地涂布涂布液并高精度地形成电路图案的连续涂布装置和连续涂布方法。

背景技术

以往，为了形成电路图案，公知有溅射、cvd、光刻等技术，但近年来，为了实现低成本、节能、节省资源，越来越关注使用了各种印刷技术的电路图案的形成技术(印刷电子技术)。其中，开发出如下技术：在从喷墨喷嘴向基材滴下金属墨液而形成了电路图案之后，从喷墨喷嘴向基材滴下绝缘层，然后接着从喷墨喷嘴向基材滴下金属墨液而形成电路图案，从而形成多层的电路图案。

并且，为了在长薄膜上涂布涂布液，从生产效率的观点出发，经常以卷对卷的方式输送长薄膜并连续地进行涂布。但是，在以卷对卷的方式输送长薄膜而进行涂布的情况下，需要进行解决了长薄膜上所产生的变形或伸缩的涂布。

在专利文献1中，记载了如下结构：在将长薄膜吸附于吸附载台的状态下进行定位，从而不使长薄膜发生变形，能够高精度地进行涂布。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-9951号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

但是，当将以卷对卷的方式输送来的长薄膜暂时吸附在吸附载台上并涂布涂布液的情况下，不是连续输送而是变成间歇输送，为了实现与干燥工序等后序工序的节拍平衡，需要设置储液器等缓冲器，存在制造工序大型化的问题。

为了解决上述问题，本发明的课题在于一边以卷对卷的方式进行连续输送一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明提供连续涂布装置，其连续输送长薄膜并涂布规定的图案，其特征在于，该连续涂布装置具有：涂布辊，其对所述长薄膜进行卷绕；摄像装置，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜上的标记或图案进行拍摄；以及涂布头，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜涂布所述规定的图案，

所述涂布头设置在比所述摄像装置靠所述长薄膜的输送方向下游侧的位置。

通过该结构，能够一边以卷对卷的方式进行连续输送，一边对长薄膜高精度地涂布涂布液。

也可以是所述摄像装置的拍摄位置与来自所述涂布头的涂布液的着落位置之间的所述涂布辊上的长度大于等于所述长薄膜的所述规定的图案的长度。

通过该结构，能够准确地计测长薄膜的变形和伸缩，从而能够高精度地涂布出规定的图案。

也可以是在所述长薄膜的输送方向上具有多个所述涂布头，该多个涂布头分别沿着所述涂布辊的曲率设置，以便对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜垂直地喷出涂布液。

通过该结构，多个涂布头能够分别高精度地涂布涂布液。

也可以设置喷出循环调节部，该喷出循环调节部对所述涂布头所喷出的涂布液着落在所述长薄膜上的着落位置进行调节，所述喷出循环调节部根据所述摄像装置的拍摄结果来计算所述长薄膜的伸缩，从而对涂布液的喷出循环进行调节。

通过该结构，能够与长薄膜的伸缩对应地进行涂布。

也可以设置涂布数据调节部，该涂布数据调节部对所述涂布头所喷出的涂布液着落在所述长薄膜上的着落位置进行调节，所述涂布数据调节部根据所述摄像装置的拍摄结果来计算所述长薄膜的伸缩，从而对涂布液的涂布数据进行调节。

通过该结构，能够与长薄膜的伸缩对应地进行涂布。

并且，为了解决上述课题，本发明提供连续涂布方法，连续输送长薄膜并涂布规定的图案，其特征在于，对所述长薄膜施加张力而卷绕在涂布辊上，利用摄像装置对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜上的标记或图案进行拍摄，按照根据所述摄像装置的拍摄结果而计算出的所述长薄膜的伸缩，对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜涂布所述规定的图案。

通过该结构，能够一边以卷对卷的方式进行连续输送，一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

发明效果

通过简单的结构，能够一边以卷对卷的方式进行连续输送，一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

附图说明

图1是对本发明的连续涂布装置和连续涂布方法进行说明的图。

图2是对层叠了第1绝缘层、第1层电路图案以及第2绝缘层而得的长薄膜的一例进行说明的图。

图3是对将第2层电路图案层叠在第2绝缘层上而得的长薄膜的一例进行说明的图。

图4是对本发明的实施例1的涂布头进行说明的俯视图。

图5是对本发明的实施例1的喷出循环调节部的处理流程进行说明的图。

图6是对本发明的实施例2的涂布数据调节部的处理流程进行说明的图。

图7是对本发明的实施例4的涂布头进行说明的俯视图。

图8是对本发明的实施例5的涂布头进行说明的俯视图。

具体实施方式

实施例1

参照图1～图5对本发明的实施例1进行说明。图1是对本发明的连续涂布装置以及连续涂布方法进行说明的图。图2是对层叠了第1绝缘层、第1层电路图案以及第2绝缘层而得的长薄膜的一例进行说明的图。图3是对将第2层电路图案层叠在第2绝缘层上而得的长薄膜的一例进行说明的图。图4是对本发明的实施例1的涂布头进行说明的俯视图。图5是对本发明的实施例1的喷出循环调节部的处理流程进行说明的图。

如图1所示，将长薄膜2的输送方向设为x方向，将与该x方向垂直的长薄膜2的宽度方向设为y方向，将与由x方向和y方向构成的x-y面垂直的方向设为z方向。长薄膜2按照从未图示的卷出辊被卷出而卷绕在未图示的卷取辊上的卷对卷方式来输送，在位于从卷出辊到卷取辊之间的连续涂布装置10上，长薄膜2被从大致+x方向向大致-x方向(参照图1)引导。被输送至连续涂布装置10的长薄膜2以施加了适度的张力但无挠曲的状态被卷绕在涂布辊1上。在被卷绕于涂布辊1之后，长薄膜2在+x方向上被连续输送。

涂布辊1具有圆筒形状，其中心轴沿着与长薄膜2的输送方向垂直的y轴方向配置从而顺畅地进行卷绕。并且，涂布辊1以其中心轴为旋转轴进行旋转。并且，该旋转轴与未图示的伺服马达连接，能够通过对该伺服马达进行驱动控制而使涂布辊1旋转和停止。并且，构成为长薄膜2从大致+x方向卷绕在涂布辊1上并在+x方向上进行输送，以便长薄膜2的包角θ具有足够的大小。由于长薄膜2的包角θ越大越不会打滑，越能够稳定进行地输送，所以包角θ被设定为120°～180°左右。关于涂布辊1的截面直径，按照长薄膜2的卷绕长度较长的方式具有较大的尺寸(例如，300mm～400mm)，y方向的长度是与长薄膜2的宽度对应的长度。

另外，实施例1的长薄膜2构成为从大致+x方向向大致-x方向被引导而卷绕在涂布辊1上，之后在+x方向上进行连续输送，但输送方向未必限定于此，只要以施加适度的张力但不使长薄膜2挠曲并且具有足够大的包角θ的方式卷绕在涂布辊1上即可，能够根据制造工序的情况来适当选择。例如，可以构成为将长薄膜2从大致-x方向卷绕在涂布辊1上，在-x方向上进行连续输送，也可以构成为从大致-z方向卷绕在涂布辊1上，在大致-z方向上进行连续输送。

对输送至该连续涂布装置10的长薄膜2进行说明。在长薄膜2上首先形成有第1绝缘层。在该第1绝缘层上形成有包含定位用的标记的第1层电路图案，在第1层电路图案上形成第2绝缘层，在第2绝缘层上形成第2层电路图案，接着形成第3绝缘层，在第3绝缘层上形成第3层电路图案，接着在第3层电路图案上形成第4绝缘层，在第4绝缘层上形成第4层电路图案，由此，按照多层的方式形成电路图案。此时，关于与第1层电路图案同时形成的定位用的标记，按照不会被之后的绝缘层或电路图案封住、在形成各层图案时与下层的电路图案对应的方式，使用该标记来进行定位并高精度地进行涂布。

关于各层的电路图案和绝缘层的形成，可以是以卷对卷的方式从卷出辊连续输送长薄膜2并像连续涂布装置、干燥炉、连续涂布装置、干燥炉、连续涂布装置、干燥炉那样经由多台连续涂布装置之后卷绕在卷取辊上的方式，也可以在1台连续涂布装置的前序工序中配置卷出辊、在后续工序中配置干燥炉和卷取辊从而以分批方式形成各层。

具体来说，以形成第2层电路图案的情况为例来进行说明。在该情况下，如图2所示，在未图示的第1绝缘层上形成有第1层电路图案，但由于在该第1层电路图案上形成有第2绝缘层，所以第1层电路图案未露出于表面。不过，由于第1层电路图案使标记21和标记23的部分从第2绝缘层露出，所以只要据此来形成第2层电路图案即可。并且，如果还存在第1层电路图案从第2绝缘层露出的部分，则也可以使用该部分作为定位用的标记。此外，在第2绝缘层为透明的情况下，由于可透视看到下层的第1层电路图案，所以也可以使用任意的第1层电路图案作为定位用的标记。

参照图3对形成于长薄膜2的第2层电路图案的一例进行说明。如图3所示，在4个标记21所夹的a×b的区域中形成有一个规定图案25，在这一个规定图案25的区域中形成有6个单独图案22。在各单独图案22内分别形成有电路图案24。并且，在长薄膜2的长度方向(x方向)上隔开规定的间隔而连续地形成有规定图案25。这里，规定图案是指希望不受变形或伸缩的影响而高精度地涂布涂布液的单位的图案。

在实施例1中，规定图案25包含6个单独图案22，但未必限定于此，可以根据电路的情况来适当选择规定图案25的构成。例如，规定图案25可以包含4个单独图案22，规定图案25也可以包含7个以上的单独图案22，还可以是只包含1个单独图案22的规定图案25。

并且，在实施例1中，在第1层电路图案的规定图案25的四个角处各具有1个标记21，在每个单独图案22中具有4个标记23，但未必限定于此。能够根据长薄膜伸缩的程度或有无输送造成的波纹等来适当选择。例如，可以分别是两个，也可以是4个以上。此外，标记21和标记23不是必须的，在未形成标记21和标记23而第1层电路图案露出的情况下，在后述的位置识别中能够识别露出的任意的电路图案。

回到图1继续进行说明。输送至连续涂布装置10的长薄膜2卷绕在涂布辊1上。在比该长薄膜2开始卷绕在涂布辊1上的部位靠输送方向下游的位置，设置有对长薄膜2的规定图案25进行拍摄的摄像装置3。摄像装置3是沿着y方向设置的线传感器，能够对长薄膜2的宽度方向(y方向)的标记或图案进行拍摄，长薄膜2被输送从而长度方向(x方向)的标记或图案被依次拍摄，最终对规定图案25的区域整体进行拍摄。

另外，在实施例1中，摄像装置3由线传感器构成，但未必限定于此，能够根据装置构成的情况来适当选择。例如，也可以由面阵照相机构成而使用闪光灯光或cmos传感器的电子快门对输送中的长薄膜进行拍摄。并且，在使用面阵照相机的情况下，可以利用多台面阵照相机对多处进行拍摄，也可以构成为使1台面阵照相机能够移动而对多处进行移动拍摄。

在比摄像装置3靠长薄膜2的输送方向下游侧的位置，设置有涂布模块4，涂布模块4对卷绕在涂布辊1上的长薄膜2涂布涂布液。涂布模块4具有喷墨方式的涂布头5，从涂布头5的多个喷嘴6(参照图4)喷出涂布液而在长薄膜2上涂布出规定图案25。实施例1的涂布模块4沿着长薄膜2的输送方向由3个涂布头5构成，各个涂布头5的多个喷嘴6沿着y方向排列。并且，各涂布头5沿着涂布辊1的曲率设置以便各个涂布头5对卷绕在涂布辊1上的长薄膜2垂直地喷出涂布液。并且，从涂布头5的喷出面到长薄膜2的表面的距离被设定为500μm～1mm左右。

另外，在实施例1中，使涂布头5的多个喷嘴6沿着y方向排列，但未必限定于此，能够根据装置构成的情况来适当选择配置方向。例如，涂布头5的喷嘴6可以配置成交错状排列，涂布头5的多个喷嘴6也可以配置成沿着x方向(长薄膜2的输送方向)排列，还可以将涂布头5的多个喷嘴6相对于x方向或y方向稍微倾斜地配置。在这些情况下，各涂布头也沿着涂布辊1的曲率设置以便涂布头对卷绕在涂布辊1上的长薄膜2垂直地喷出涂布液。

由于各个涂布头5沿着涂布辊1的曲率设置以便对卷绕在涂布辊1上的长薄膜2垂直地喷出涂布液，所以能够准确地将涂布液喷出到涂布位置。并且，由于从涂布头5的喷出面到长薄膜2的表面按照适当的距离设置涂布头5，所以从涂布头5喷出的涂布液不会发生飞行弯曲，而是笔直地飞行并着落在准确的位置。

如图4所示，涂布模块4的3个涂布头5沿着y方向设置，各涂布头5的多个喷嘴6按照恒定的间距配置。并且，将涂布头5设置成各涂布头5的各个喷嘴6按照a的量沿y方向错开，其中，该a的量相当于一个涂布头5的喷嘴间的间距的1/3。由此，能够按照比一个涂布头5的分辨率大的分辨率来涂布涂布液。

另外，在实施例1中，使3个涂布头5按照喷嘴间间距的1/3错开设置，但未必限定于此，可根据所要求的涂布精度或长薄膜2的宽度尺寸等情况来适当选择。例如，可以具有两个涂布头5并按照喷嘴间的间距的1/2来错开设置，也可以具有4个涂布头5并按照喷嘴间的间距的1/4来错开设置。

涂布头5的涂布液的着落位置被设置在从摄像装置3的拍摄位置按照涂布辊1上的长度c的量离开的长薄膜2的输送方向下游位置。长度c大于等于1个规定图案25在长薄膜2的输送方向(x方向)上的长度a(c≥a)。在实施例1中，3个涂布头5中的最靠长薄膜2的输送方向上游侧的涂布头5的涂布液着落位置被设置在从摄像装置3的拍摄位置按照涂布辊1上的长度c的量离开的长薄膜2的输送方向下游位置。这是为了在从涂布头5开始涂布规定图案之前，利用摄像装置3对设置于规定图案25的区域的四个角处的标记21进行完全拍摄。即，摄像装置3的拍摄位置与来自涂布头5的涂布液的着落位置之间的涂布辊1上的长度c大于等于长薄膜2的规定图案25的长度a。另外，在未设置标记21的情况下，也可以将根据规定图案25的四个角导出的距离设为长度a。

摄像装置3所拍摄到的图像被输入到控制部9而进行图像处理，从而对涂布模块4指示涂布时机。在实施例1中，在控制部9中设置有未图示的喷出循环调节部，该喷出循环调节部根据摄像装置3的拍摄结果来计算长薄膜2的伸缩，对涂布头5所喷出的涂布液在长薄膜2上着落的着落位置进行调节，从而对涂布模块4指示涂布时机。这里，喷出循环是指从一个喷嘴连续喷出涂布液的情况下的、从任意的喷出开始到下一喷出开始为止的时间差。例如，在涂布数据中，当在对某地点进行了喷出之后到下一喷出为止设置了100次的喷出循环时，在喷出循环被设定为100μsec的情况下，两次喷出的时间差为10msec，在喷出循环被设定为110μsec的情况下，两次喷出的时间差为11msec。如果延长该喷出循环，则不用改变涂布数据便能够将规定图案25拉长而进行涂布，如果缩短该喷出循环，则不用改变涂布数据便能够将规定图案25缩短而进行涂布。

喷出循环的调节尤其对输送方向的伸缩有效。例如，在作为对长薄膜2上的4个标记21的位置进行了识别的结果，判断为长薄膜2沿输送方向(x方向)相对于300mm延长到303mm的情况下，只要将输送方向(x方向)的喷出循环调节成延长303/300即可。

参照图5对喷出循环调节部的喷出循环调节的详细的处理流程进行说明。首先，从摄像装置3输入拍摄图像(图5的(1))而进行4处标记21的位置识别(图5的(2))。然后，计算出通过位置识别得到的标记21之间的距离a和距离b，并求出与所设定的距离之间的差，计算长薄膜2的伸缩量(图5的(3))。根据计算出的伸缩量如上述那样计算涂布头5的喷出循环(图5的(4))，并向涂布头5指示所计算出的喷出循环(图5的(5))。

涂布头5根据所指示的喷出循环，从其喷嘴6依次喷出涂布液而涂布出规定图案25。此时，关于各涂布头5，由于将长薄膜2紧紧地卷绕在涂布辊1上而从涂布头5对长薄膜2垂直地喷出涂布液，所以不是以往那样的间歇输送，而是一边进行连续输送一边使涂布液准确地着落在长薄膜2上，能够涂布出规定图案25。由此，能够避免工程大型化。

并且，在充分确保了涂布辊1的摩擦系数以及涂布辊1的长薄膜2的包角的情况下，能够在不引起变形或弯折的情况下将长薄膜2在涂布辊1上输送到涂布头5，所以涂布头5能够根据摄像装置3所获得的信息准确地进行涂布。这里，假设当在摄像装置3与涂布头5之间进行长薄膜2从涂布辊1离开的输送时，有可能因此导致长薄膜2发生变形而使涂布头5无法准确地进行涂布。

这样，在本发明的实施例1中，连续涂布装置连续输送长薄膜并涂布规定的图案，其特征在于，连续涂布装置具有：涂布辊，其对所述长薄膜进行卷绕；摄像装置，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜上的标记或图案进行拍摄；以及涂布头，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜涂布所述规定的图案，所述涂布头设置在比所述摄像装置靠所述长薄膜的输送方向下游侧的位置，能够通过连续涂布装置一边以卷对卷的方式进行连续输送一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

并且，连续涂布方法连续输送长薄膜并涂布规定的图案，其特征在于，对所述长薄膜施加张力而卷绕在涂布辊上，利用摄像装置对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜上的标记或图案进行拍摄，按照根据所述摄像装置的拍摄结果而计算出的所述长薄膜的伸缩，对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜涂布所述规定的图案，能够通过连续涂布方法一边以卷对卷的方式进行连续输送一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

实施例2

对本发明的实施例2进行说明。实施例2仅在以下方面与实施例1不同：在控制部9中设置涂布数据调节部来替换喷出循环调节部。参照图6对实施例2进行说明。图6是对本发明的实施例2的涂布数据调节部的处理流程进行说明的图。

涂布数据是用于使涂布头5涂布涂布液的基本数据，包含将涂布液喷出在长薄膜2上的位置和喷出量等。通过对该涂布数据进行调节，能够变更喷出位置或喷出量。涂布数据调节部对涂布头5所喷出的涂布液在长薄膜2上着落的着落位置进行调节。对具体的涂布数据调节部的处理流程进行说明。首先，将摄像装置3所拍摄到的图像输入到设置于控制部9的未图示的涂布数据调节部中(图6的(1))。接着，进行4处标记21的位置识别(图6的(2))。然后，计算识别出的标记21间的距离a和距离b，并求出与所设定的距离之间的差，计算长薄膜2的伸缩量(图6的(3))。根据所计算出的伸缩量来计算涂布头5的新的涂布数据(图6的(4))，并向涂布头5指示新计算出的涂布数据(图6的(5))。

例如，在作为对处于规定图案区域25的4个标记21的位置进行了识别的结果，判断为长薄膜2沿长薄膜2的宽度方向(y方向)相对于300mm延长到308mm的情况下，将涂布数据中的宽度方向(y方向)的喷出的位置数据调节成变更308/300。

然后，涂布头5根据所指示的新的涂布数据，从喷嘴6依次喷出涂布液而涂布出规定图案25。此时，由于各涂布头5沿着涂布辊1的曲率设置以便对卷绕于涂布辊1的长薄膜2垂直地喷出涂布液，所以能够使涂布液准确地着落在长薄膜2上，涂布出与伸缩量对应的规定图案25。

实施例3

对本发明的实施例3进行说明。实施例3仅在以下方面与实施例1不同：除了喷出循环调节部之外，在控制部9中还设置有涂布数据调节部。

即，控制部9同时具有喷出循环调节部和涂布数据调节部，如果长薄膜2的伸缩量较大，则进行涂布数据调节，如果长薄膜2的伸缩量较小，则进行喷出循环调节。假设在进行了喷出循环调节的情况下，由于无论涂布区域的面积如何变化，涂布的液滴数都不发生变化，所以会产生涂布分辨率的降低或膜厚的变化。因此，在需要较高的涂布位置精度、膜厚精度的情况下进行涂布数据调节。与此相对，在伸缩量较小的情况下进行变更作业较轻松的喷出循环调节。并且，在长薄膜2不仅单纯伸缩还存在变形的情况下，进行涂布数据调节，或者实施喷出循环调节和涂布数据调节的双方。

然后，涂布头5通过所指示的新的涂布数据调节和/或喷出循环调节从喷嘴6依次喷出涂布液而形成规定图案。此时，由于各涂布头5沿着涂布辊1的曲率设置以便对卷绕于涂布辊1的长薄膜2垂直地喷出涂布液，所以能够使涂布液准确地着落在长薄膜2上，涂布出与伸缩量对应的规定图案。

另外，在实施例1～3中，通过涂布数据调节和/或喷出循环调节来调节涂布涂布液的位置，但未必限定于此，例如，也可以将涂布模块4搭载于xy机器人等从而构成为能够移动，从而对涂布位置进行调节。

实施例4

参照图7对本发明的实施例4进行说明。图7是对本发明的实施例4的涂布头进行说明的俯视图。实施例4仅在以下方面与实施例1不同：除了涂布模块4之外，还具有涂布模块104。

即，在实施例4中，如图7所示，除了具有3个涂布头5的涂布模块4之外，在与涂布模块4沿x方向和y方向错开的位置上配置有具有3个涂布头5的涂布模块104。这是因为长薄膜2的宽度(y方向的长度)较长，凭借1个涂布模块4无法应对。此时，按照不在涂布模块4与涂布模块104之间的边界处产生遗漏的方式，将涂布模块104在y方向上与涂布模块4稍微重叠配置。在实施例4中，将涂布模块104配置成涂布模块104的最靠-y方向的喷嘴6与涂布模块4的最靠+y方向的喷嘴6错开1/3间距。另外，并不限定于此，也可以是涂布模块4的最靠+y方向的喷嘴6配置在比涂布模块104的最靠-y方向的喷嘴6靠+y方向的位置。

涂布模块104也是喷墨方式的涂布模块，其涂布涂布液而在长薄膜2上形成规定图案25。实施例4的涂布模块104沿着长薄膜2的输送方向由3个涂布头5构成，分别沿着y方向设置。并且，各个涂布头5沿着涂布辊1的曲率设置以便对卷绕于涂布辊1的长薄膜2垂直地喷出涂布液。并且，从涂布头5的喷出面到长薄膜2的面的距离被设定为500μm～1mm左右。

实施例5

参照图8对本发明的实施例5进行说明。图8是对本发明的实施例5的涂布头进行说明的俯视图。实施例5与实施例1仅在涂布模块的构造和个数方面不同。

即，实施例1的涂布模块4在x方向上排列有3个涂布头5，在该涂布头5中多个喷嘴6排列成一列，但实施例5的涂布模块204具有使沿y方向排列的多个喷嘴206按照1/3间距错开而沿x方向排成3列的涂布头205。并且，涂布模块204由1个涂布头205构成，在x方向上排列有3个该涂布头205(即，涂布模块204)。

在各涂布头205中固定地排列有3列喷墨方式的喷嘴206，并且沿着涂布辊1的曲率设置x方向正中间的喷嘴列的喷出口。正中间以外的两端列的喷嘴列的喷出口没有准确地沿着涂布辊1的曲率，但由于3列喷嘴列的间隔短到1mm～2mm左右，所以能够无实质问题地对卷绕于涂布辊1的长薄膜2垂直喷出涂布液。由于各涂布头205的间隔为几十mm，所以各涂布头205以其正中间的喷嘴列的喷出口为基准沿着涂布辊1的曲率设置，以便对卷绕于涂布辊1的长薄膜2垂直地喷出涂布液。由此，能够将涂布液准确地喷出到各个涂布位置。并且，从各涂布头205的喷出面到长薄膜2的面的距离被设定为500μm～1mm左右。

另外，在实施例5中构成为：涂布头的喷嘴列为3列，涂布模块的涂布头为1列，并且，涂布模块排成3列，但未必限定于此，可以根据所需的分辨率和成本等情况来适当选择各自的排列数。例如，可以构成为：涂布头的喷嘴列为两列，涂布模块的涂布头为两列，并且涂布模块排成两列，也可以构成为：涂布头的喷嘴列为4列以上，涂布模块的涂布头为4列以上，并且涂布模块排成4列以上。此外，也可以加上或代替实施例5的结构而在y方向上排列多个涂布模块204。

并且，在本发明的实施例5中，连续涂布装置连续输送长薄膜并涂布规定的图案，其特征在于，连续涂布装置具有：涂布辊，其对所述长薄膜进行卷绕；摄像装置，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜上的标记或图案进行拍摄；以及涂布头，其对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜涂布所述规定的图案，所述涂布头设置在比所述摄像装置靠所述长薄膜的输送方向下游侧的位置，能够通过连续涂布装置一边以卷对卷的方式进行连续输送一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

并且，连续涂布方法连续输送长薄膜并涂布规定的图案，其特征在于，对所述长薄膜施加张力而卷绕在涂布辊上，利用摄像装置对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜上的标记或图案进行拍摄，按照根据所述摄像装置的拍摄结果而计算出的所述长薄膜的伸缩，对卷绕于所述涂布辊的所述长薄膜涂布所述规定的图案，能够通过连续涂布方法一边以卷对卷的方式进行连续输送一边高精度地对长薄膜涂布涂布液。

产业上的可利用性

本发明的连续涂布装置和连续涂布方法能够广泛地应用于在以卷对卷的方式进行连续输送的长薄膜上形成各种图案。

标号说明

1：涂布辊；2：长薄膜；3：摄像装置；4：涂布模块；5：涂布头；6：喷嘴；9：控制部；10：连续涂布装置；21：标记；22：单独图案；23：标记；24：电路图案；25：规定图案；104：涂布模块；204：涂布模块；205：涂布头；206：喷嘴。