一种空气过滤装置的制作方法

本实用新型属于半导体湿制程设备领域，具体是一种空气过滤装置。

背景技术：

空气过滤器是指空气过滤装置，一般用于洁净车间、洁净厂房、实验室、洁净室、或者用于半导体湿式制程的产品风干，随着社会的不断发展，空气过滤装置的功能得到拓展，应用较为广泛，但现有的空气过滤装置还存在一定的不足，竖向排气的效果不佳，相信未来将会得到进一步改善，以满足使用时的不同需求；

目前在半导体湿式制程中，风干工序是必不可少的，一般是使用上下两支风刀对晶圆两侧进行风干，但会在风干区域形成涡流，增加气体阻力，导致无法完全风干，且对产品污染较为严重，为了解决上述缺陷，现提供一种解决方案。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种空气过滤装置。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种空气过滤装置，包括装置主体，所述装置主体的上端外表面中间位置开设有进风口，所述装置主体的底端外表面中间位置开设有出风口，所述装置主体的两侧外表面中间位置均固定安装有安装柱，所述安装柱与装置主体的两侧衔接位置安装有橡胶垫圈，所述装置主体的前端外表面活动安装有检修门，所述装置主体的内部靠近上端两侧内壁上分别安装有一号抽风机与二号抽风机，所述装置主体的内部中间位置安装有粗过滤板，所述粗过滤板的下方两侧分别安装有细过滤板与活性炭过滤器，且活性炭过滤器位于二号抽风机的正下方，所述细过滤板远离活性炭过滤器的一侧开设有通风口，所述装置主体的内部底端且位于出风口的上端表面安装有引风板，所述细过滤板与活性炭过滤器之间分布有四组集尘板，所述集尘板的一侧安装有集尘盒，所述引风板的上端外表面中间位置均匀分布有若干组通孔，所述引风板的底端外表面中间位置等距离安装有若干组集风管，所述引风板的两侧面中间位置均开设有安装槽。

进一步地，所述若干组通孔贯穿引风板的内部且与若干组集风管相互连通。

进一步地，所述检修门与装置主体的衔接位置活动安装有两组铰链，且检修门通过两组铰链与装置主体连接，所述检修门的前端外表面边缘位置安装有门把手。

进一步地，所述安装柱的外表面均匀分布有安装螺纹。

进一步地，所述四组集尘板等距离平行设置，且集尘板的侧面开有滑槽。

进一步地，所述一号抽风机与二号抽风机的内部中间位置均安装有转轴，转轴的四周表面均匀分布有扇叶。

本实用新型的有益效果：通过在风干区上方区域安装空气过滤装置，向下吹过滤空气，能够有效的避免产生涡流现象，使风刀吹出的空气更佳有效的吹到产品表面，使风干效果更佳明显，同时能够对空气进行处理，有效的防止空气中的杂质物附着于晶体表面，影响产品质量；通过在空气过滤装置内安装有集风管、一号抽风机以及二号抽风机，能够大大的提高空气进入装置的速率，同时通过将装置过滤后的空气集中于集风管进行排出，能够增加空气排出时的气流，使得竖向排气效果更佳。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的内部结构示意图；

图3是本实用新型的内部局部爆炸图；

图4是本实用新型引风板的结构示意图。

图中1、装置主体；2、进风口；3、出风口；4、橡胶垫圈；5、安装柱；6、一号抽风机；7、二号抽风机；8、粗过滤板；9、细过滤板；10、活性炭过滤器；11、通风口；12、引风板；13、集尘板；14、集尘盒；15、通孔；16、集风管；17、安装槽；18、检修门。

具体实施方式

如图1-4所示，一种空气过滤装置，包括装置主体1，所述装置主体1的上端外表面中间位置开设有进风口2，所述装置主体1的底端外表面中间位置开设有出风口3，所述装置主体1的两侧外表面中间位置均固定安装有安装柱5，所述安装柱5与装置主体1的两侧衔接位置安装有橡胶垫圈4，所述装置主体1的前端外表面活动安装有检修门18，所述装置主体1的内部靠近上端两侧内壁上分别安装有一号抽风机6与二号抽风机7，所述装置主体1的内部中间位置安装有粗过滤板8，所述粗过滤板8的下方两侧分别安装有细过滤板9与活性炭过滤器10，且活性炭过滤器10位于二号抽风机7的正下方，所述细过滤板9远离活性炭过滤器10的一侧开设有通风口11，所述装置主体1的内部底端且位于出风口3的上端表面安装有引风板12，所述细过滤板9与活性炭过滤器10之间分布有四组集尘板13，所述集尘板13的一侧安装有集尘盒14，所述引风板12的上端外表面中间位置均匀分布有若干组通孔15，所述引风板12的底端外表面中间位置等距离安装有若干组集风管16，所述引风板12的两侧面中间位置均开设有安装槽17。

进一步地，所述若干组通孔15贯穿引风板12的内部且与若干组集风管16相互连通。

进一步地，所述检修门18与装置主体1的衔接位置活动安装有两组铰链，且检修门18通过两组铰链与装置主体1连接，所述检修门18的前端外表面边缘位置安装有门把手。

进一步地，所述安装柱5的外表面均匀分布有安装螺纹。

进一步地，所述四组集尘板13等距离平行设置，且集尘板13的侧面开有滑槽。

进一步地，所述一号抽风机6与二号抽风机7的内部中间位置均安装有转轴，转轴的四周表面均匀分布有扇叶。

一种空气过滤装置，在工作时，首先，通过安装柱将该空气过滤装置安装到风干区上方区域，其中通过在安装柱与装置的衔接位置设置有橡胶垫圈，能够有效的防止安装柱由于摩擦而受到损坏，其次，在一号抽风机与二号抽风机的作用下，能够很好的将装置外的气体抽入到装置内，有效的加快空气进入装置的速率，其中通过设置有粗过滤板能够对空气进行初步过滤处理，接着通过通风孔进入到细过滤板，配合活性炭过滤器能够很好的对空气进行有效的过滤，且过滤后的灰尘可沿着集尘板上开有的滑槽落入到集尘盒内，便于后期进行清灰处理，最后，过滤后的空气集中于集风管通过出风口进行排出，能够增加空气排出时的气流，使得竖向排气效果更佳，从而有效的避免产生涡流现象，使风刀吹出的空气更佳有效的吹到产品表面，使风干效果更佳明显，同时能够对空气进行处理，有效的防止空气中的杂质物附着于晶体表面，影响产品质量，其中引风板通过安装槽安装于装置内部底端，且可根据需要进行安装或拆卸，适用性强，检修门的设置便于工作人员对该空气过滤装置进行后期的检修维护，较为便捷。

本实用新型通过在风干区上方区域安装空气过滤装置，向下吹过滤空气，能够有效的避免产生涡流现象，使风刀吹出的空气更佳有效的吹到产品表面，使风干效果更佳明显，同时能够对空气进行处理，有效的防止空气中的杂质物附着于晶体表面，影响产品质量；通过在空气过滤装置内安装有集风管、一号抽风机以及二号抽风机，能够大大的提高空气进入装置的速率，同时通过将装置过滤后的空气集中于集风管进行排出，能够增加空气排出时的气流，使得竖向排气效果更佳。

以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。